一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法及其酸液配置方法
【專利摘要】本發明揭示了一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，在液晶基板玻璃減薄工藝前依次進行前清洗、預處理和后清洗，所述的預處理是利用含有氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑、活性劑和水的酸液浸泡。本系統是在減薄之前增加一道預處理系統，以減小或消除此放大作用對產品品質的影響。簡單地講，就是采用特殊配比的前處理液先行填補減薄前產品表面的固有缺陷，然后再進行減薄，以減少HF酸減薄過程中放大效應的影響。彌補了現有減薄技術無法減小或修復減薄前玻璃表面不良的缺點。
【專利說明】一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法及其酸液配置方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及液晶基板玻璃制作工藝，尤其涉及一種TFT-LCD液晶基板玻璃減薄預
處理工藝。
【背景技術】
[0002]近兩年來，隨著便攜式電子產品“輕薄”化趨勢的迅猛發展，TFT-1XD液晶基板減薄行業得到了長足發展，但由于減薄前基板存在的隱形缺陷，如pit (凹點)、scrach (劃傷)、stain (臟污)等，那么在之后的產品在HF酸減薄過程中會對缺陷進行放大，造成產品表觀特性不良，此類不良產品只能進行拋光處理，勢必增加生產成本。因此提出此改善技術。
【發明內容】
[0003]本發明所要解決的技術問題是實現一種在TFT-LCD進行減薄制程時避免產品缺陷放大的工藝。
[0004]為了實現上述目的，本發明采用的技術方案為:一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，在液晶基板玻璃減薄工藝前依次進行前清洗、預處理和后清洗，所述的預處理是利用含有氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑和水的酸液浸泡。
[0005]所述的預處理過程 減薄液晶基板玻璃80-120微米。
[0006]所述前清洗時間為100-180S。
[0007]所述的后清洗米用堿液成分洗劑清洗300_420s。
[0008]所述前清洗以及后清洗采用的洗劑是由質量百分比5.5-6.4% KOH和質量百分比
0.06%的陰離子表面活性劑構成的水溶液。
[0009]所述的酸液中氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑占酸液質量百分比分別為
2.0-2.6%、1.8-2.4%、5.5-6.5%、40%_44%、8.5-9.5%、0.012-0.018%。
[0010]一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的酸液配置方法，包括:
[0011]步驟1、將氫氟酸、鹽酸、硝酸無順序混合；
[0012]步驟2、步驟I混合液產生鼓泡并逐漸變大后，緩慢加入硫酸；
[0013]步驟3、一同加入活性劑和水；
[0014]步驟4、產生鼓泡關閉后加入活性劑。
[0015]本系統是在減薄之前增加一道預處理系統，以減小或消除此放大作用對產品品質的影響。簡單地講，就是采用特殊配比的前處理液先行填補減薄前產品表面的固有缺陷，然后再進行減薄，以減少HF酸減薄過程中放大效應的影響。彌補了現有減薄技術無法減小或修復減薄前玻璃表面不良的缺點。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]下面對本發明說明書中每幅附圖表達的內容及圖中的標記作簡要說明:[0017]圖1為避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法流程圖。
【具體實施方式】
[0018]參見圖1可知，一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法是在液晶基板玻璃減薄工藝前依次進行前清洗、預處理和后清洗，其中預處理是利用含有氫氟酸(HF)、鹽酸(HCL)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2S04)、磷酸(H3P04)、活性劑、活性劑和水的酸液浸泡，氫氟酸是為了進行酸刻處理，鹽酸和硝酸是為了融玻璃粉，硫酸是為了改善凹陷問題、避免劃傷，磷酸是為了改善污跡、避免凸點，活性劑與硝酸作用類似。
[0019]上述酸液中氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑占酸液質量百分比分別為2.0-2.6%、1.8-2.4%、5.5-6.5%、40%_44%、8.5-9.5%、0.012-0.018%,優選方案百分比分別為2.3%、2.1%、6%、42%、9%、0.015%。此配比能夠最有效的完成預處理工藝，避免減薄工藝帶來的缺陷。優選配比，依次為 1.3%-2.3%、1.1%-2.3%、6%-6.3%、42%_43%、6.2%_7%0.010%-0.014。
[0020]活性劑可采用十二醇聚氧乙烯醚硫酸鈉，(簡稱AES)或者十二烷基硫酸鈉(C12H25NaO4S).
[0021]需要注意的是，前清洗時間為100-180S，預處理過程減薄液晶基板玻璃80-120微米，此步驟是為了消除基板表面污跡；通過厚度測定計算出預處理量；后清洗采用堿液成分洗劑清洗300-420S，此步驟是為了去除玻璃表面的預處理酸液，此堿液與前清洗堿液成份及含量一致，PH范圍為9.5~12。其中前、后清洗采用的洗劑相同，是由質量百分比5.5-6.4% KOH和質量百分比0.06%的陰離子表面活性劑構成的水溶液，水位高純水。這樣的溶液能夠提高前清洗效果，提升產品質量。
[0022]預處理工藝中的酸液需要按照以下步驟配置:
[0023]步驟1、將氫氟酸、鹽酸、硝酸無順序混合；
[0024]步驟2、步驟I混合液產生鼓泡并逐漸變大后，緩慢加入硫酸；
[0025]步驟3、一同加入活性劑和水；
[0026]步驟4、產生鼓泡關閉后加入活性劑。
[0027]加入各個成分的量，按照酸液質量百分比。
[0028]綜上所述，經預處理后的產品因表面凹點及劃傷造成的拋光率下降83%，大大降低了拋光產品的數量，使產品的生產成本降低8%，具有較高的實際價值。
【權利要求】
1.一種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:在液晶基板玻璃減薄工藝前依次進行前清洗、預處理和后清洗， 所述的預處理是利用含有氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑和水的酸液浸泡。
2.根據權利要求1所述的避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:所述的預處理過程減薄液晶基板玻璃80-120微米。
3.根據權利要求1所述的避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:所述前清洗時間為100-180S。
4.根據權利要求1所述的避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:所述的后清洗米用堿液成分洗劑清洗300_420s。
5.根據權利要求3或4所述的避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:所述前清洗以及后清 洗采用的洗劑是由質量百分比5.5-6.4% KOH和質量百分比0.06%的陰離子表面活性劑構成的水溶液。
6.根據權利要求5中任一項所述的避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的方法，其特征在于:所述的酸液中氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性劑占酸液質量百分比分別為2.0-2.6%、1.8-2.4%、5.5-6.5%、40%_44%、8.5-9.5%、0.012-0.018%。
7.—種避免液晶基板玻璃減薄工藝缺陷的酸液配置方法，其特征在于: 步驟1、將氫氟酸、鹽酸、硝酸無順序混合； 步驟2、步驟I混合液產生鼓泡并逐漸變大后，緩慢加入硫酸； 步驟3、一同加入活性劑和水； 步驟4、產生鼓泡關閉后加入活性劑。
【文檔編號】C03C15/00GK103508676SQ201310314183
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年7月24日 優先權日:2013年7月24日
【發明者】張兵, 劉明, 金林濤, 岳偉 申請人:蕪湖長信科技股份有限公司