超薄玻璃的制造方法
【專利摘要】一種超薄玻璃的制造方法，包括：提供至少一玻璃；將所述玻璃固定為垂直站立狀態；對一蝕刻液進行霧化以得到一霧化的蝕刻液；以及通過至少一導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的至少一噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面。通過本發明所述方法能制造出平坦的超薄玻璃。
【專利說明】超薄玻璃的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及玻璃【技術領域】，尤其涉及一種超薄玻璃的制造方法。
【背景技術】 [0002]隨著電子產品輕薄短小的要求下，例如手持式裝置，對超薄玻璃的需求越來越高。
[0003]由于超薄玻璃的厚度非常小，因此在制造上并不容易，目前制造超薄玻璃的制造方法是針對一厚度較大的玻璃進行薄化制程以使其厚度變小，而薄化制程主要以蝕刻的方式來蝕刻玻璃的厚度。
[0004]然而在蝕刻制程中太多因素會影響超薄玻璃的制造良率，光是蝕刻液就有許多條件不易控制，例如蝕刻液的擾動、蝕刻液的噴淋壓力、蝕刻液流量以及蝕刻液溫度等等。
[0005]舉例來說，當上述蝕刻液的條件控制不精確時，制造出的超薄玻璃其表面平坦度差，一旦表面平坦度差，也會使后續在超薄玻璃上制造電子組件的良率不佳，甚至導致超薄玻璃變形或容易破裂的問題。
[0006]是以，確有需要對上述超薄玻璃的制造良率不佳的問題提出解決方法。
【發明內容】
[0007]本發明的目的在于提供一種薄玻璃的制造方法，其能制造出表面平坦的超薄玻璃并提高超薄玻璃的制造良率。
[0008]為達成上述目的，本發明提供了一種超薄玻璃的制造方法，包括:提供至少一玻璃；將所述玻璃固定為垂直站立狀態；對一蝕刻液進行霧化以得到一霧化的蝕刻液；以及通過至少一導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的至少一噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面。
[0009]在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的所述噴嘴的步驟中，進一步包括:控制所述霧化的蝕刻液的一噴灑范圍、一噴灑壓力以及一噴灑均勻性中至少一項。
[0010]在控制所述霧化的蝕刻液的步驟中，進一步包括:將所述噴嘴設置于所述導液管表面且平行于所述導液管的軸心的一條線上，并且與所述導液管的內部相通，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
[0011]在將所述噴嘴設置于所述導液管表面的步驟中，進一步包括:使所述導液管的內部具有一漸變的管徑，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
[0012]進一步，在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的所述噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面的步驟中，使所述玻璃的表面被蝕刻至厚度為0.1毫米至1.5毫米。
[0013]進一步，對所述蝕刻液進行霧化的方法為超音速霧化、加壓式霧化或渦流式霧化。
[0014]進一步，所述蝕刻液至少包含氫氟酸。[0015]為達成上述目的，本發明還提供了一種超薄玻璃的制造方法，包括:提供至少一玻璃；將所述玻璃固定為垂直站立狀態；對一蝕刻液進行霧化以得到一霧化的蝕刻液；將至少一噴嘴設置于一導液管表面且平行于所述導液管的軸心的一條在線，并且與所述導液管的內部相通；以及通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面。
[0016]在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述噴嘴的步驟中，進一步包括:控制所述霧化的蝕刻液的一噴灑范圍、一噴灑壓力以及一噴灑均勻性中至少一項。
[0017]在控制所述霧化的蝕刻液的步驟中，進一步包括:使所述導液管的內部具有一漸變的管徑，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
[0018]本發明的超薄玻璃的制造方法以霧化的蝕刻液蝕刻玻璃，制造出的超薄玻璃具有平坦的表面，因此能提高超薄玻璃的制造良率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]附圖1是本發明所述的超薄玻璃的制造方法流程圖；
附圖2以及附圖3是本發明所述的超薄玻璃的制造方法示意圖。
[0020]【主要組件符號說明】
10、玻璃；20、霧化的蝕刻液；
30、導液管；300、噴嘴；
S100-S140、步驟。
【具體實施方式】
[0021]下面結合附圖對本發明提供的超薄玻璃的制造方法的【具體實施方式】做詳細說明。
[0022]請參閱附圖1至附圖3，其中，附圖1是本發明所述的超薄玻璃的制造方法流程圖，附圖2-3是本發明所述的超薄玻璃的制造方法示意圖。
[0023]首先，在步驟SlOO中，提供至少一玻璃10。一般來說，玻璃10的厚度約為大于1.5毫米(millimeter; mm)。
[0024]在步驟SllO中，將所述玻璃10固定為如附圖2所示的垂直站立狀態。舉例來說，以一治具(未圖示)夾持所述玻璃10，以使其固定為垂直站立狀態。
[0025]在步驟S120中，對一蝕刻液(未圖示)進行霧化以得到一霧化的蝕刻液20。霧化的方法可以為超音速霧化、加壓式霧化或渦流式霧化。
[0026]超音速霧化是將蝕刻液經超音速噴射后形成噴霧狀。加壓式霧化是將蝕刻液加壓后形成噴霧狀。渦流式霧化則是利用擾流葉片使蝕刻液產生高速旋轉，再經由一渦流室將蝕刻液形成噴霧狀。
[0027]蝕刻液至少包含氫氟酸(HF)，也可以使用氫氟酸并調配適量的硫酸(H2S04)、鹽酸(HCL)或硝酸(HNO3)等酸液或具有表面活性劑特質的化學液體作為氧化硅材料溶解反應的緩沖劑，各成分依適當濃度比例調配作為所述蝕刻液。添加上述除HF以外的其它物質所組成的蝕刻液可改善因玻璃(氧化硅)與HF發生溶解反應時因蝕刻液濃度無法達成完全理想均勻，或是有局部濃度集中現象發生時所造成玻璃基板表面的微小缺陷，進而達成較佳的表面均一性與完整性。[0028]在隨著薄化需求以及厚度都增大的狀況下，不論是噴灑式或是浸泡式玻璃薄化，其蝕刻液配比方式將會是良率及成本的一主要關鍵。本發明中除了 HF本身會與氧化硅玻璃材質反應外，其它所添加的物質是為了通過其本身較大的分子體積來緩和HF與氧化硅在接觸接口因濃度(溶液本身即有理想濃度均勻性的實際困難)與溫度(蝕刻為放熱反應，該反應越劇烈、單位時間溫度上升越快，而溫度越高亦會加速蝕刻速率)所產生的蝕刻反應差異。另外主要蝕刻反應=SiO2 (S)+4HF (L)-> SiF4 (S)+2H20 (L)中所產生的氟化硅(SiF4)固體也會造成玻璃蝕刻反應后的缺陷，因為會有反應產生物附著在原有玻璃材質表面(HF無法接觸玻璃將其反應)造成蝕刻反應不均而形成微小缺陷。因此，適當的添加其它物質所形成的蝕刻液本身可以形成良好的潤滑特性(例如硫酸還有表面活性劑等本身的特性)，以避免氟化硅顆粒附著的現象，也能改善蝕刻后的質量，同時也能改善因氟化硅固體在管路中凝結所造成的堵塞現象。
[0029]在步驟S130中，通過至少一導液管30傳送霧化的蝕刻液20至其具有的至少一噴嘴300，經由所述噴嘴300噴灑霧化的蝕刻液20于所述玻璃10表面，以使所述玻璃10被薄化至厚度為0.1毫米至1.5毫米，也就是說，薄化至超薄玻璃的厚度。
[0030]在一實施例中，本步驟可以進一步包括控制霧化的蝕刻液20的噴灑范圍、噴灑壓力以及噴灑均勻性中至少一項的步驟。
[0031]在另一實施例中，本步驟可以進一步包括將噴嘴300設置于導液管30表面且平行于導液管30的軸心的一條線上，并且與導液管30的內部相通，用以控制噴灑范圍、噴灑壓力以及噴灑均勻性中至少一項的步驟。
[0032]在另一實施例中，本步驟可以進一步包括使導液管30的內部具有一漸變的管徑(如附圖3所示)，用以控制噴灑范圍、噴灑壓力以及噴灑均勻性中至少一項的步驟。更明確地說，導液管30的內部為漸變的管徑具有加壓的功能，使霧化的蝕刻液20的噴灑范圍、噴灑壓力以及噴灑均勻性更容易控制。由于導液管30的內部為漸變的管徑，因此可以節省霧化的蝕刻液20的使用量，達到降低超薄玻璃的制造成本。
[0033]要注意的是，將霧化的蝕刻液20噴灑于所述玻璃10表面除了能達成薄化玻璃10的目的之外，還能進一步移除玻璃10表面上的微塵粒子，達到清潔玻璃10表面的目的。
[0034]在步驟S140中，清洗玻璃10的表面，完成超薄玻璃的制造。
[0035]本發明所述的超薄玻璃的制造方法以霧化的蝕刻液蝕刻玻璃，制造出的超薄玻璃具有平坦的表面；再者，通過噴嘴設置于導液管表面且平行于導液管的軸心的一條線上能更容易控制霧化的蝕刻液的噴灑范圍、噴灑壓力以及噴灑均勻性，提高超薄玻璃的制造良率。
[0036]以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員，在不脫離本發明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種超薄玻璃的制造方法，其特征在于，包括:提供至少一玻璃；將所述玻璃固定為垂直站立狀態；對一蝕刻液進行霧化以得到一霧化的蝕刻液；以及通過至少一導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的至少一噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面。
2.根據權利要求1所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的所述噴嘴的步驟中，進一步包括:控制所述霧化的蝕刻液的一噴灑范圍、一噴灑壓力以及一噴灑均勻性中至少一項。
3.根據權利要求2所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在控制所述霧化的蝕刻液的步驟中，進一步包括:將所述噴嘴設置于所述導液管表面且平行于所述導液管的軸心的一條線上，并且與所述導液管的內部相通，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
4.根據權利要求3所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在將所述噴嘴設置于所述導液管表面的步驟中，進一步包括:使所述導液管的內部具有一漸變的管徑，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
5.根據權利要求1所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述導液管具有的所述噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面的步驟中，使所述玻璃的表面被蝕刻至厚度為0.1毫米至1.5毫米。
6.根據權利要求1所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，對所述蝕刻液進行霧化的方法為超音速霧化、加壓式霧化或渦流式霧化。
7.根據權利要求1所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，所述蝕刻液至少包含氫氟酸。
8.—種超薄玻璃的制造方法 ，其特征在于，包括:提供至少一玻璃；將所述玻璃固定為垂直站立狀態；對一蝕刻液進行霧化以得到一霧化的蝕刻液；將至少一噴嘴設置于一導液管表面且平行于所述導液管的軸心的一條線上，并且與所述導液管的內部相通；以及通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述噴嘴，經由所述噴嘴噴灑所述霧化的蝕刻液于所述玻璃表面。
9.根據權利要求8所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在通過所述導液管傳送所述霧化的蝕刻液至所述噴嘴的步驟中，進一步包括:控制所述霧化的蝕刻液的一噴灑范圍、一噴灑壓力以及一噴灑均勻性中至少一項。
10.根據權利要求9所述的超薄玻璃的制造方法，其特征在于，在控制所述霧化的蝕刻液的步驟中，進一步包括:使所述導液管的內部具有一漸變的管徑，用以控制所述噴灑范圍、所述噴灑壓力以及所述噴灑均勻性中至少一項。
【文檔編號】C03C15/00GK103539363SQ201210497757
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2012年11月29日 優先權日:2012年7月9日
【發明者】蘇金種, 古智揚, 樸炳俊 申請人:技迪科技股份有限公司