專利名稱：玻璃鍍膜用反應(yīng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種玻璃鍍膜用反應(yīng)器，具體涉及一種適用于大尺寸玻璃基板的玻璃鍍膜用反應(yīng)器。
背景技術(shù)：
玻璃鍍膜，尤其是在大尺寸玻璃基板上鍍膜，常用的工藝是化學(xué)氣相沉積，這一工藝的難點是對鍍膜均勻性的控制，膜層厚度的不均勻，或是薄膜化學(xué)性質(zhì)的不均勻，都會導(dǎo)致鍍膜玻璃光學(xué)、電學(xué)等性能指標(biāo)的降低。要得到均勻的鍍層，必須使鍍膜前驅(qū)物在整個基板寬度方向上進氣、排氣以及溫度分布都是均勻的。為了在大尺寸基板上均勻成膜，有很多的方法被采用，1.采取在氣體通道內(nèi)設(shè)置許多連續(xù)的擋板，增加氣體的行程和阻力來達到氣體在玻璃寬度方向上分布均勻，對鍍膜前驅(qū)氣體的混合和寬度方向上分布均勻都起到很好的作用，但是增加了氣體的行程，對于具有熱敏性的鍍膜前軀體無疑增加了發(fā)生預(yù)反應(yīng)的可能性。2.進氣管采取的是多級套管的形式，每級套管上開有一定數(shù)量不等距的小孔，通過這種等靜壓管設(shè)計基本能實現(xiàn)基板寬度方向上氣體的均勻性，但管上小孔的加工精度很難保證，更重要的是很容易造成小孔堵塞，難以清理。3.為了能夠達到玻璃基板寬度方向上氣體分布均勻，采用分段補氣的方式，但是這樣的鍍膜氣體分配裝置本身結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜而難以控制。4.采取的是單根管路單側(cè)進氣，通道內(nèi)設(shè)置有氣體分布裝置，這種裝置采取單根管的單側(cè)進氣，很難保證氣體在基板寬度方向上分布均勻。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有氣體在基板寬度方向上分布不均勻，結(jié)構(gòu)復(fù)雜的缺陷，而提供一種玻璃鍍膜用反應(yīng)器。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于包括一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的進氣腔，所述的進氣腔由上到下被分割成多個相通的小氣腔室，進氣腔的上端設(shè)有進氣管對進氣腔輸入氣體，進氣腔的底面設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的長條形噴氣口與鍍膜室相聯(lián)通，用于對玻璃鍍膜。鍍膜氣體由上而下經(jīng)過多個小氣腔室，混合均勻，在大尺寸基板上均勻成膜，且結(jié)構(gòu)簡單，并抑制預(yù)反應(yīng)及堵塞。在上述的主要技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以增加以下進一步完善的技術(shù)方案所述的進氣腔由氣體均布板分割成兩排十二個小氣腔室，上部的六個小氣腔室間的氣體均布板上設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的氣孔，下部的六個小氣腔室間的氣體均布板具有沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置長條形窄縫，上部的帶有六個氣孔的小氣腔室可以使鍍膜氣體均勻混合，下部的六個小氣腔室可以使鍍膜氣體按照長條形窄縫進行流通，便于對鍍膜氣體流通方向的控制；所述的小氣腔室的數(shù)量可以根據(jù)鍍膜線的跨度變化，以及氣孔、長條形窄縫設(shè)置位置都可以改變以保證鍍膜氣體均勻混合。[0009]所述的進氣腔兩外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔，溫度控制腔內(nèi)可以根據(jù)實際生產(chǎn)的需要通入不同的循環(huán)介質(zhì)，阻隔了鍍膜器外界溫度對鍍膜氣體溫度的影響，以抑制氣態(tài)原料之間的預(yù)反應(yīng)。所述的每個溫度控制腔的外側(cè)設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的排氣腔，每個排氣腔內(nèi)設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的圓形管，相鄰的圓形管間具有一個沿圓形管通長方向設(shè)置的窄通道相連通，相連的一組圓形管的一端的一個圓形管與排氣腔底部接觸，在接觸處具有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的吸入口，將圓形管與鍍膜室相聯(lián)通，另一端的一個圓形管上設(shè)有相聯(lián)通的排氣管與外界相通，排氣腔為了保證是鍍膜后的廢氣從鍍膜室內(nèi)排出，保持鍍膜室內(nèi)處于良好的鍍膜環(huán)境，這種圓管設(shè)計能減小排氣阻力，防止通道堵塞； 所述的進一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的圓形管在排氣腔內(nèi)相連成蛇形狀結(jié)構(gòu)，這種蛇形設(shè)計能夠保證反應(yīng)器排氣的均勻性。所述的每個排氣腔的外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔，溫度控制腔內(nèi)可以根據(jù)實際生產(chǎn)的需要通入不同的循環(huán)介質(zhì)，阻隔了鍍膜器外界溫度對鍍膜氣體溫度的影響，以抑制氣態(tài)原料之間的預(yù)反應(yīng)。本實用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單、拆卸方便、更換靈活，易于實現(xiàn)均勻鍍膜，并抑制預(yù)反應(yīng)及堵塞。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1為本實用新型的主視圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型玻璃鍍膜用反應(yīng)器，包括一個進氣腔1、進氣腔1沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置，進氣腔1由氣體均布板6分割成兩列十二個小氣腔室，由上到下具有六層小氣腔室，每層具有兩個小氣腔室，上部的六個小氣腔室間的氣體均布板6上設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的氣孔，使相鄰的兩個小氣腔室由上到下相聯(lián)通，下部的六個小氣腔室間的氣體均布板6具有沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置長條形窄縫7，使相鄰的兩個小氣腔室由上到下相聯(lián)通，上部的帶有氣孔的六個小氣腔室可以使鍍膜氣體均勻混合，下部的六個小氣腔室可以使鍍膜氣體按照長條形窄縫進行流通，便于對鍍膜氣體流通方向的控制，進氣腔的上端設(shè)有進氣管4對進氣腔1輸入氣體，可采用從鍍膜線的兩側(cè)分別設(shè)置一根進氣管對進氣腔1輸入氣體，進氣腔1的底面設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的長條形噴氣口 8與鍍膜室相聯(lián)通；所述的進氣腔兩外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔3，所述的溫度控制腔3與進氣腔1的高度相等，每個溫度控制腔3與進氣腔1間間隔一個進氣腔 1的一個側(cè)壁，每個溫度控制腔3的外側(cè)設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的排氣腔2，每個排氣腔2內(nèi)設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的圓形管，相鄰的圓形管間具有一個沿圓形管通長方向設(shè)置的窄通道10相連通，相連的一組圓形管的一端的一個圓形管與排氣腔2底部接觸，在接觸處具有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的吸入口 9，將圓形管與鍍膜室相聯(lián)通，另一端的一個圓形管上設(shè)有相聯(lián)通的排氣管5與外界相通，排氣腔2用于鍍膜后的廢氣從鍍膜室內(nèi)排出，所述的一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的圓形管在排氣腔內(nèi)相連成蛇形狀結(jié)構(gòu)，所述的每個排氣腔的外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔3，溫度控制腔3內(nèi)可以根據(jù)實際生產(chǎn)的需要通入不同的循環(huán)介質(zhì)，阻隔了鍍膜器外界溫度對鍍膜氣體溫度的影響，以抑制氣態(tài)原料之間的預(yù)反應(yīng)。反應(yīng)性氣體由進氣管4從反應(yīng)器的兩端通入進氣腔1，進氣腔1分為十二個小進氣腔，沿氣流方向，前六個進氣腔之間由經(jīng)過特殊設(shè)計的氣體均布板6相連，后六個氣體腔由一定寬度的窄縫7相通，氣體經(jīng)過這十二個特殊設(shè)計的小進氣腔后能得到很好的均相分布，從而能保證反應(yīng)器進氣的均勻性；兩個排氣腔2是對稱的，內(nèi)部結(jié)構(gòu)一樣，排氣腔2兩端各有一根排氣管5，排氣腔2由七級類似于蛇形管的圓形通道組成，每級圓管之間由一定寬度的窄通道10相連，這種圓管設(shè)計一方面能減小排氣阻力，防止通道堵塞，另一方面這種蛇形設(shè)計能夠保證反應(yīng)器排氣的均勻性；排氣腔、進氣腔的外層設(shè)置有溫度控制腔3，溫度控制腔3內(nèi)可以根據(jù)實際生產(chǎn)的需要通入不同的循環(huán)介質(zhì)，阻隔了鍍膜器外界溫度對鍍膜氣體溫度的影響，以抑制氣態(tài)原料之間的預(yù)反應(yīng)。進氣通道里的每個氣體均布板6上分布孔的總面積與進氣腔氣體噴出口 8面積相對應(yīng)，基本保持一致，后六個小進氣腔之間的窄縫7寬度與進氣腔氣體噴出口 8寬度相同；排氣腔2中連接各級圓管的窄通道10尺寸與排氣腔吸入口 9的尺寸保持一致；鍍膜反應(yīng)器的材質(zhì)可以是石墨、熔融石英、剛玉、不銹鋼等中任何一種。本實用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單、拆卸方便、更換靈活，易于實現(xiàn)均勻鍍膜，并抑制預(yù)反應(yīng)及堵塞。
權(quán)利要求1.玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于包括一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的進氣腔(1)， 所述的進氣腔(1)由上到下被分割成一組相通的小氣腔室，進氣腔(1)的上端設(shè)有進氣管 (4)對進氣腔輸入氣體，進氣腔(1)的底面設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的長條形噴氣口 (8)與鍍膜室相聯(lián)通，用于對玻璃鍍膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于所述的進氣腔(1)由氣體均布板(6)分割成兩列十二個小氣腔室，上部的六個小氣腔室間的氣體均布板(6)上設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的氣孔，下部的六個小氣腔室間的氣體均布板(6)具有沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置長條形窄縫(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于所述的進氣腔(1)兩外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于所述的每個溫度控制腔 (3)的外側(cè)設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的排氣腔(2)，每個排氣腔(2)內(nèi)設(shè)有一組沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的圓形管，相鄰的兩圓形管間具有一個沿圓形管通長方向設(shè)置的窄通道 (10)相連通，相連的一組圓形管的一端的一個圓形管與排氣腔底部接觸，在接觸處具有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的吸入口(9)，將圓形管與鍍膜室相聯(lián)通，另一端的一個圓形管上設(shè)有相聯(lián)通的排氣管(5)與外界相通。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于所述的每個排氣腔(2)的外側(cè)分別設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的溫度控制腔(3)。
專利摘要本實用新型涉及玻璃鍍膜用反應(yīng)器，其特征在于包括一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的進氣腔(1)，所述的進氣腔(1)由上到下被分割成一組相通的小氣腔室，進氣腔(1)的上端設(shè)有進氣管(4)對進氣腔輸入氣體，進氣腔(1)的底面設(shè)有一個沿鍍膜生產(chǎn)線寬度設(shè)置的長條形噴氣口(8)與鍍膜室相聯(lián)通，用于對玻璃鍍膜。本實用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單、拆卸方便、更換靈活，易于實現(xiàn)均勻鍍膜，并抑制預(yù)反應(yīng)及堵塞。
文檔編號C03C17/00GK202337730SQ201120460790
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月19日
發(fā)明者單傳麗, 張家林, 王東, 甘治平, 石麗芬, 鄒上榮, 金良茂, 陳凱 申請人:中國建材國際工程集團有限公司, 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計研究院