專利名稱:劈刀固定結構的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及晶圓劈裂機構,尤其涉及晶圓劈裂的劈刀固定結構。
背景技術:
請參閱圖1與圖2所示,晶圓劈裂機用于將晶圓1劈裂為一粒粒的晶粒,以進行后續的封裝作業,晶圓1在進行劈裂之前,會先用激光切割出橫向與縱向的激光切割線2,晶圓1上的激光切割線2并未斷裂,其約略保留三分之二的厚度相連,接著將晶圓1貼附一藍膜3 (或白膜),再于晶圓1上方覆蓋一保護膜(圖未示)加以保護后,通過一固定夾具4送入一晶圓劈裂機進行劈裂作業。晶圓劈裂機10包含一工作臺5、一劈刀6、兩個劈裂臺7、一影像擷取系統8與一擊錘11,該工作臺5夾置該固定夾具4,并可作平面方向的移動與轉動,該劈刀6通過一連接片9固定于該晶圓劈裂機10上,且受該擊錘11的敲擊而產生沖擊力,該劈刀6與該兩個劈裂臺7分設于該晶圓1的上下兩側,并上下分別抵壓該晶圓1,以通過該擊錘11敲擊該劈刀 6產生的沖擊力來進行劈裂作業,該影像擷取系統8則用于截取該晶圓1的影像。據而該晶圓1可通過該劈刀6的沖擊力與該工作臺5的定量位移,對多個激光切割線2連續進行劈裂,而該影像擷取系統8則在連續劈裂過程中監控該晶圓1的定位是否偏移,以視偏移的程度重新進行定位,而當橫向與縱向的激光切割線2皆被劈裂之后即完成劈裂作業。請再參閱圖3所示,已知的該劈刀6為單邊固定于該連接片9上,因此該劈刀6在被該擊錘11敲擊時,沖擊力會導致該連接片9變形而讓該劈刀6微量偏移,因此為避免該劈刀6偏移,該連接片9必須采用較厚的材料,以抵抗變形。然而,此作法僅能降低變形量, 且需要加大該擊錘11的敲擊力以滿足該劈刀6所需的沖擊力,其無法真正有效解決該劈刀 6微量偏移的問題,顯然無法滿足使用上的需求。
實用新型內容因此,本實用新型的主要目的在于提供一種劈刀不會偏移的固定結構,以降低擊錘的敲擊力,滿足使用上的需求。經由以上可知,為實現上述目的,本實用新型為一種劈刀固定結構,供固定一劈刀于一晶圓劈裂機上,其包含至少兩個連接片,該至少兩個連接片各具有位于相對面的一第一固定端與一第二固定端,該至少兩個連接片為偶數且以該劈刀為對稱中心分設于該劈刀的兩側,并且該第一固定端固定于該劈刀上,該第二固定端固定于該晶圓劈裂機上。根據本實用新型進一步改進的技術方案,該劈刀固定結構具有四個連接片,該四個連接片兩兩一組分設于該劈刀的兩側,并且該劈刀的兩側被兩個劈刀夾具夾制,且該兩個劈刀夾具的上下兩邊分別與該四個連接片的該第一固定端固定。根據本實用新型進一步改進的技術方案,該四個連接片各具有位于中心處的一缺[0010]根據本實用新型進一步改進的技術方案,該劈刀固定結構具有四個連接片,該四個連接片兩兩一組分設于該劈刀的兩側,并且該劈刀兩側的上邊與側邊分別與該四個連接片的該第一固定端固定。根據本實用新型進一步改進的技術方案,固定于該劈刀側邊上的兩個連接片為L 形體。根據本實用新型進一步改進的技術方案,該劈刀固定結構具有四個連接片,該四個連接片兩兩一組分設于該劈刀的兩側,該四個連接片各具有兩個第二固定端和一個第一固定端,并且該第一固定端位于每個連接片的中間段,該兩個第二固定端位于每個連接片的兩側,而該劈刀的兩側各設置兩個固定元件,該固定元件各自固定該四個連接片的該第一固定端,且該四個連接片各自的該兩個第二固定端固定于該晶圓劈裂機上。據此,本實用新型的優點在于通過對稱式的固定方式,使該擊錘敲擊該劈刀時,使得側向的變形互相抵消,因而使該劈刀只會沿著敲擊方向位移,其可避免該劈刀微量偏移。 因此該兩個連接片可以薄型化,以使一擊錘輕輕敲擊即可達到該劈刀所需的沖擊力,增加該晶圓劈裂機的穩定性,滿足使用上的需求。
圖1為已知晶圓劈裂裝置的局部結構示意圖;圖2為已知待劈裂晶圓的結構示意圖;圖3為已知擊錘撞擊劈刀微量偏移示意圖;圖4為本實用新型劈刀固定結構圖;圖5A為本實用新型擊錘撞擊劈刀前示意圖;圖5B為本實用新型擊錘撞擊劈刀后示意圖;圖6為本實用新型另一劈刀固定結構圖;圖7為本實用新型又一劈刀固定結構圖;以及圖8為本實用新型又一劈刀固定俯視示意圖。
具體實施方式
為使貴審查員對本實用新型的特征、目的及功效,有著更加深入的了解與認同,茲列舉優選實施例并配合附圖說明如后請參閱圖4所示,為本實用新型的優選實施例,本實用新型為一種劈刀固定結構, 供固定一劈刀20于一晶圓劈裂機30上,該至少兩個連接片40A為偶數且以該劈刀20為對稱中心分設于該劈刀20的兩側,于本實施例中,該連接片40A為四個,且兩兩一組分設于該劈刀20的兩側,并且該劈刀20的兩側被兩個劈刀夾具21夾制,該四個連接片40A各具有位于相對面的一第一固定端41與一第二固定端42,并且該兩個劈刀夾具21的上下兩邊分別與該四個連接片40A的該第一固定端41固定,而該第二固定端42固定于該晶圓劈裂機 30上,且該四個連接片40A各具有位于中心處的一缺口 43,以降低重量、增加彈性。請參閱圖5A與圖5B所示,本實用新型的劈刀20在被擊錘50敲擊時,其側向的變形會互相抵消,因此該劈刀20只會沿著敲擊方向位移,而避免該劈刀20微量偏移。請參閱圖6所示,其為本實用新型另一劈刀固定結構圖,其中該連接片40B為四個,且兩兩一組分設于該劈刀20的兩側,但該劈刀20兩側的上邊與側邊分別與該四個連接片40B的該第一固定端41固定,且固定于該劈刀20側邊上的該連接片40B可為L形體,以增加固定面積。其結構在該劈刀20被擊錘50敲擊時,同樣可使側向的變形互相抵消,以避免該劈刀20微量偏移。請參閱圖7與圖8所示,其為本實用新型又一劈刀固定結構圖,其中該連接片40C 為四個,且兩兩一組分設于該劈刀20的兩側,該連接片40C的第二固定端42具有兩個,并且該第一固定端41位于該連接片40C的中間段,該兩個第二固定端42位于該連接片40C 的兩側,而該劈刀20的兩側各設置兩個固定元件60,該四個固定元件60各自固定該四個連接片40C的第一固定端41,且該四個連接片40C各自的該兩個第二固定端42固定于該晶圓劈裂機30上,其結構同樣可使側向的變形互相抵消,以避免該劈刀20微量偏移。如上所述,本實用新型通過對稱式固定結構,在擊錘50敲擊劈刀20時,可使得側向的變形互相抵消,其使劈刀20只沿著敲擊方向位移,而避免劈刀20微量偏移,因此該連接片40A、40B、40C的厚度可以縮減而薄型化,使擊錘50輕輕敲擊即可達到劈刀20所需的沖擊力。其可增加晶圓劈裂機30的穩定性,滿足使用上的需求。
權利要求1.一種劈刀固定結構,用于將一劈刀(20)固定于一晶圓劈裂機(30)上,其特征在于, 包含至少兩個連接片,所述至少兩個連接片各具有位于相對面的一第一固定端(41)與一第二固定端(42),所述至少兩個連接片為偶數且以所述劈刀(20)為對稱中心分設于所述劈刀(20)的兩側,并且所述第一固定端(41)固定于所述劈刀(20)上,所述第二固定端 (42)固定于所述晶圓劈裂機(30)上。
2.根據權利要求1所述的劈刀固定結構,其特征在于,所述劈刀固定結構具有四個連接片,所述四個連接片兩兩一組分設于所述劈刀(20)的兩側,并且所述劈刀(20)的兩側被兩個劈刀夾具(21)夾制,且所述兩個劈刀夾具(21)的上下兩邊分別與所述四個連接片的所述第一固定端(41)固定。
3.根據權利要求2所述的劈刀固定結構,其特征在于,所述四個連接片各具有位于中心處的一缺口(43)。
4.根據權利要求1所述的劈刀固定結構,其特征在于,所述劈刀固定結構具有四個連接片,所述四個連接片兩兩一組分設于所述劈刀(20)的兩側,并且所述劈刀(20)兩側的上邊與側邊分別與所述四個連接片的所述第一固定端(41)固定。
5.根據權利要求4所述的劈刀固定結構,其特征在于,固定于所述劈刀(20)側邊上的兩個連接片為L形體。
6.根據權利要求1所述的劈刀固定結構,其特征在于,所述劈刀固定結構具有四個連接片,所述四個連接片兩兩一組分設于所述劈刀(20)的兩側,所述四個連接片各具有兩個第二固定端(42)和一個第一固定端(41),并且所述第一固定端(41)位于每個連接片的中間段,所述兩個第二固定端(42)位于每個連接片的兩側,而所述劈刀(20)的兩側各設置兩個固定元件(60),所述固定元件(60)各自固定所述四個連接片的所述第一固定端(41),且所述四個連接片各自的所述兩個第二固定端(42)固定于所述晶圓劈裂機(30)上。
專利摘要本實用新型為一種劈刀固定結構,用于將一劈刀固定于一晶圓劈裂機上,其包含至少兩個連接片,該至少兩個連接片各具有位于相對面的一第一固定端與一第二固定端,該至少兩個連接片為偶數且以該劈刀為對稱中心分設于該劈刀的兩側,并且該第一固定端固定于該劈刀上,該第二固定端固定于該晶圓劈裂機上;據此當一擊錘敲擊該劈刀時,由于該至少兩個連接片為對稱式固定,可使得側向的變形互相抵消,使該劈刀只沿著敲擊方向位移,避免該劈刀微量偏移,因此該至少兩個連接片可以薄型化,使該擊錘輕輕敲擊即可達到該劈刀所需的沖擊力。
文檔編號B28D5/04GK202037743SQ20112007927
公開日2011年11月16日 申請日期2011年3月23日 優先權日2011年3月23日
發明者陳孟端 申請人:正恩科技有限公司