專利名稱:可調式切棒機冷卻系統的制作方法
技術領域:
本實用新型屬于單晶硅棒切割裝置,涉及一種可調式切棒機冷卻系統。
背景技術:
在單晶硅片的制作工藝中,需要先用多晶硅制成單晶硅圓棒,而制成的單晶硅圓棒兩端呈錐狀,為后續單晶硅片的切割工藝需要,要將單晶硅圓棒兩端的錐尖切除。傳統技術是通過切棒機切除錐尖,傳統切棒機主要包括主動輪和從動輪,所述主動輪和從動輪經傳動刀帶連接,主動輪通過傳動刀帶帶動從動輪轉動,利用高速運轉的傳動刀帶切割單晶硅圓棒。單晶硅圓棒被固定在送料機構上,傳動刀帶的切割段靠近送料機構,送料機構帶動單晶硅圓棒通過傳動刀帶,實現單晶硅圓棒的切割。同時,在傳動刀帶切割段的上方設置有冷卻水管,冷卻水管不斷向傳動刀帶和單晶硅圓棒灌注冷卻水。但其缺點是冷卻水的灌注量長期不變,不能根據傳動刀帶和單晶硅圓棒的溫度進行自動調節,即使傳動刀帶和單晶硅圓棒溫度過高,也無法滿足快速降溫的要求,或者傳動刀帶和單晶硅圓棒溫度偏低,造成水資源的浪費。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種可調式切棒機冷卻系統,能夠根據溫度傳動刀帶和單晶硅圓棒溫度調節供水量,達到最經濟有效的冷水降溫效果。為達到上述目的,本實用新型提供一種可調式切棒機冷卻系統,包括主動輪和從動輪,所述主動輪和從動輪經傳動刀帶連接,所述傳動刀帶的切割段靠近送料機構,所述切割段的上方設置有冷卻水管,其關鍵在于所述切割段的下方安裝有引水槽,該引水槽中安裝有溫度傳感器,所述溫度傳感器的輸出端連接有控制電路,所述控制電路的第一輸出端連接有第一電控閥的控制線圈、第二輸出端連接有第二電控閥的控制線圈、第三輸出端連接有第三電控閥的控制線圈;電機帶動主動輪旋轉。傳動刀帶切割固定在送料機構上的硅棒,冷卻水將傳動刀帶和硅棒的溫度帶走,冷卻水溫度升高。所述第一電控閥的執行機構安裝在第一冷水管上;所述第二電控閥的執行機構安裝在第二冷水管上;所述第三電控閥的執行機構安裝在第三冷水管上;所述第一冷水管、第二冷水管和第三冷水管的進水端都與所述冷卻水管相通,所述第一冷水管、第二冷水管和第三冷水管的出水端都朝向所述傳動刀帶的切割段。當冷卻水流過引水槽時,溫度傳感器檢測冷卻水的溫度,當冷卻水高于設定溫度上限時,控制電路控制三個電控閥全部打開,三個冷水管同時供水降溫。當冷卻水低于設定溫度下限時,控制電路控制某一個電控閥打開,只用一根冷水管供水降溫。 當冷卻水溫度處于溫度上、下限之間時,控制電路控制某兩個電控閥打開,用兩根冷水管供水降溫。所述送料機構包括送料滑臺,該送料滑臺上安裝有硅棒夾具和刀帶限位器,其中刀帶限位器中開有通槽,所述傳動刀帶穿過該通槽。硅棒夾具將硅棒固定在送料滑臺上,送料滑臺橫向移動,使硅棒通過傳動刀帶。刀帶限位器中的通槽能夠限制住傳動刀帶,避免傳動刀帶出現過大的振動。所述引水槽安裝在所述刀帶限位器上。引水槽就近安裝在硅棒切割處的下方,可以第一時間檢測到水溫,此處的水溫最接近切割點的溫度。所述控制電路設置有A/D轉換器,該A/D轉換器的輸入端接所述溫度傳感器,A/D 轉換器的輸出端連接在處理器上,該處理器上設置有所述第一輸出端、第二輸出端、第三輸出端;所述第一輸出端連接在第一三級管的基極上,該第一三級管的發射極接地,集電極串所述第一電控閥后接正電源;所述第二輸出端連接在第二三級管的基極上,該第二三級管的發射極接地,集電極串所述第二電控閥后接正電源;所述第三輸出端連接在第三三級管的基極上,該第三三級管的發射極接地,集電極串所述第三電控閥后接正電源。本實用新型的顯著效果是提供了一種可調式切棒機冷卻系統,能夠根據溫度傳動刀帶和單晶硅圓棒溫度調節供水量,達到最經濟有效的冷水降溫效果。
圖1可調式切棒機冷卻系的結構示意圖;圖2引水槽的裝配示意圖;圖3控制電路的連接關系圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。如圖1、2、3所示,一種可調式切棒機冷卻系統,包括主動輪1和從動輪2,所述主動輪1和從動輪2經傳動刀帶3連接,所述傳動刀帶3的切割段靠近送料機構,所述切割段的上方設置有冷卻水管4,所述切割段的下方安裝有引水槽10,該引水槽10中安裝有溫度傳感器11,所述溫度傳感器11的輸出端連接有控制電路,所述控制電路的第一輸出端連接有第一電控閥6a的控制線圈、第二輸出端連接有第二電控閥6b的控制線圈、第三輸出端連接有第三電控閥6c的控制線圈;所述第一電控閥6a的執行機構安裝在第一冷水管5a上;所述第二電控閥6b的執行機構安裝在第二冷水管5b上;所述第三電控閥6c的執行機構安裝在第三冷水管5c上;所述第一冷水管5a、第二冷水管5b和第三冷水管5c的進水端都與所述冷卻水管4相通,所述第一冷水管5a、第二冷水管5b和第三冷水管5c的出水端都朝向所述傳動刀帶 3的切割段。 如圖1、2所示,所述送料機構包括送料滑臺7,該送料滑臺7上安裝有硅棒夾具8 和刀帶限位器9,其中刀帶限位器9中開有通槽,所述傳動刀帶3穿過該通槽。如圖1、2所示,所述引水槽10安裝在所述刀帶限位器9上。如圖3所示,所述控制電路設置有A/D轉換器Ul,該A/D轉換器Ul的輸入端接所述溫度傳感器11,A/D轉換器Ul的輸出端連接在處理器U2上,該處理器U2上設置有所述第一輸出端、第二輸出端、第三輸出端;所述第一輸出端連接在第一三級管Ql的基極上,該第一三級管Ql的發射極接地, 集電極串所述第一電控閥6a后接正電源;所述第二輸出端連接在第二三級管Q2的基極上,該第二三級管Q2的發射極接地, 集電極串所述第二電控閥6b后接正電源;所述第三輸出端連接在第三三級管Q3的基極上,該第三三級管Q3的發射極接地, 集電極串所述第三電控閥6c后接正電源。
權利要求1.一種可調式切棒機冷卻系統,包括主動輪(1)和從動輪O),所述主動輪(1)和從動輪(2)經傳動刀帶(3)連接,所述傳動刀帶(3)的切割段靠近送料機構,所述切割段的上方設置有冷卻水管G),其特征在于所述切割段的下方安裝有引水槽(10),該引水槽(10)中安裝有溫度傳感器(11),所述溫度傳感器(11)的輸出端連接有控制電路,所述控制電路的第一輸出端連接有第一電控閥(6a)的控制線圈、第二輸出端連接有第二電控閥(6b)的控制線圈、第三輸出端連接有第三電控閥(6c)的控制線圈;所述第一電控閥(6a)的執行機構安裝在第一冷水管(5a)上; 所述第二電控閥(6b)的執行機構安裝在第二冷水管(5b)上; 所述第三電控閥(6c)的執行機構安裝在第三冷水管(5c)上; 所述第一冷水管( )、第二冷水管(5b)和第三冷水管(5c)的進水端都與所述冷卻水管(4)相通,所述第一冷水管( )、第二冷水管(5b)和第三冷水管(5c)的出水端都朝向所述傳動刀帶(3)的切割段。
2.根據權利要求1所述的可調式切棒機冷卻系統,其特征在于所述送料機構包括送料滑臺(7),該送料滑臺(7)上安裝有硅棒夾具(8)和刀帶限位器(9),其中刀帶限位器(9) 中開有通槽,所述傳動刀帶C3)穿過該通槽。
3.根據權利要求2所述的可調式切棒機冷卻系統,其特征在于所述引水槽(10)安裝在所述刀帶限位器(9)上。
4.根據權利要求1所述的可調式切棒機冷卻系統,其特征在于所述控制電路設置有 A/D轉換器(U1),該A/D轉換器(Ul)的輸入端接所述溫度傳感器(11),A/D轉換器(Ul)的輸出端連接在處理器(似)上,該處理器(似)上設置有所述第一輸出端、第二輸出端、第三輸出端;所述第一輸出端連接在第一三級管Oil)的基極上,該第一三級管Oil)的發射極接地, 集電極串所述第一電控閥O^a)后接正電源;所述第二輸出端連接在第二三級管的基極上,該第二三級管的發射極接地, 集電極串所述第二電控閥(6b)后接正電源;所述第三輸出端連接在第三三級管O )的基極上,該第三三級管O )的發射極接地, 集電極串所述第三電控閥(6c)后接正電源。
專利摘要一種可調式切棒機冷卻系統,包括主動輪和從動輪,所述主動輪和從動輪經傳動刀帶連接,所述傳動刀帶的切割段靠近送料機構,所述切割段的上方設置有冷卻水管,其特征在于所述切割段的下方安裝有引水槽,該引水槽中安裝有溫度傳感器,所述溫度傳感器的輸出端連接有控制電路。本實用新型的顯著效果是能夠根據溫度傳動刀帶和單晶硅圓棒溫度調節供水量,達到最經濟有效的冷水降溫效果。
文檔編號B28D7/02GK201989256SQ20112007034
公開日2011年9月28日 申請日期2011年3月17日 優先權日2011年3月17日
發明者張保林, 陳錫良 申請人:重慶蘭花太陽能電力股份有限公司