專利名稱:一種硅棒粘結機構的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種加工硅棒的設備,尤其是一種硅棒粘結工序用的機構。
背景技術:
目前,在加工單晶硅棒過程中,通常將圓形的硅棒加工成方形,首先將圓 柱形的硅棒按規定截段,再將硅棒的一端粘接在粘結托上,從而進行開方工序。 單晶硅棒粘與粘結托的粘接精度直接影響硅棒開方的合格率。現有技術中所使
用的硅棒粘接工裝機構,采用v型夾具和頂桿對單晶硅棒進行粘接,這種方式
硅棒易發生偏移,粘接精度差,影響方棒單晶產量。
實用新型內容
本實用新型需要解決的技術問題是提供能對單晶硅棒精確定位,粘結精度 髙的機構。
為解決上述技術問題,本實用新型的硅棒粘結機構,包括床體、粘結托、v 型夾具,粘結托、v型夾具縱向配裝在床體上,在床體上設有硅棒定位裝置,硅
棒定位裝置的中心線與粘結托的中心線重合。
作為本實用新型的改進,所述硅棒定位裝置為兩個四爪夾具,分別設置在v
型夾具的兩側,其中一端的四爪夾具與粘結托的位置相同且兩者為可替換裝配。 所述硅棒定位裝置可為三爪夾具。
由于釆用了上述技術方案,本實用新型所取得的技術進步在于 由于粘結托的中心線與四爪夾具或三爪夾具的中心線重合,又因為四爪夾 具或三爪夾具有自動中心定位,使得四爪夾具或三爪夾具中心線與硅棒的中心 線重合,從而也就保證了粘結托的中心線與硅棒的中心線重合,提高了定位精 度,再用V型夾具對單晶硅棒夾緊,使單晶硅棒不會發生偏移,進一步保證了單晶硅棒的粘接精度。
圖i是本實用新型帶粘結托的硅棒粘結機構的主視圖; 圖2是本實用新型帶粘結托的硅棒粘結機構的俯視圖; 圖3是本實用新型兩個四爪夾具的硅棒粘結機構的示意圖。
其中1、床體2、粘結托3、 V型夾具4, 5、四爪夾具6、絲杠
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明
由
圖1、圖2可知,本實用新型硅棒粘結機構,包括床體1、粘結托2、 V 型夾具3,兩V型夾具3配裝于床體1的絲杠6上,在床體1裝配有粘結托2和 四爪夾具4,粘結托2和四爪夾具4分別設置在兩V型夾具3的兩側。粘結托2 的中心線與四爪夾具4的中心線重合。
圖3中,將
圖1和圖2中的粘結托2改換為四爪夾具5,粘結托2與四爪夾 具5的位置相同且兩者為可替換裝配,
在裝夾單晶硅棒時,調整絲杠,使兩個V型夾具3分離,把單晶硅棒放在 四爪夾具4和5之間,使四爪夾具4和5夾緊單晶硅棒,此時四爪夾具4和5 的中心線與單晶硅棒的中心線重合,再次調節絲杠6使兩V型夾具3夾緊并固 定單晶硅棒,然后將四爪夾具5去掉并替換為涂好粘結物的粘接托2,使粘接托 2與單晶硅棒粘接在一起,這時粘接托2的中心線與單晶硅棒的中心線也重合, 就達到了精確的粘接效果。
權利要求1、一種硅棒粘結機構,包括床體(1)、粘結托(2)、V型夾具(3),粘結托(2)、V型夾具(3)配裝在床體(1)上,其特征在于在床體(1)上設有硅棒定位裝置,硅棒定位裝置的中心線與粘結托(2)的中心線重合。
2、 根據權利要求l所述硅棒粘結機構,其特征在于所述硅棒定位裝置為 兩個四爪夾具(4, 5),分別設置在V型夾具(3)的兩側,四爪夾具(5)與粘 結托(2)的位置相同且兩者為可替換裝配。
3、 根據權利要求l所述硅棒粘結機構,其特征在于所述硅棒定位裝置為 三爪夾具。
專利摘要本實用新型公開了一種硅棒粘結機構,包括床體1、粘結托2、V型夾具3,粘結托2、V型夾具3配裝在床體1上,在床體1上還設有硅棒定位裝置,硅棒定位裝置的中心線與粘結托2的中心線重合,所述硅棒定位裝置為四爪夾具4和5或三爪夾具,本實用新型使單晶硅棒精確定位,粘結精度高。
文檔編號B28D7/00GK201361952SQ20092010183
公開日2009年12月16日 申請日期2009年3月10日 優先權日2009年3月10日
發明者馮立軍, 吳立濤 申請人:寧晉松宮電子材料有限公司