專利名稱：玻璃母材制造裝置及玻璃母材制造方法
技術領域：
本發明有關光纖(optical fiber)原材料的玻璃母材的制造裝置及玻 璃母材的制造方法，本權利要求與下述的日本申請專利有所關連；對 于認可將參照文獻加以編入有所指定的國家，參照下述的權利要求所 述內容編進本權利要求，視為本權利要求所述的一部分。 日本專利特愿2000-230508申請日2000年7月31日 日本專利特愿2000-234108申請日2000年8月02日 日本專利特愿2000-238502申請日2000年8月07日
背景技術：
圖1表示公知玻璃母材制造裝置的構造，玻璃制造裝置有夾盤 (chuck)12和噴燃器(burner)22A 22D;夾盤(chuck)12，把持出發母材 2的兩端，并以出發母材2的軸為中心可將出發母材旋轉，噴燃器 22A 22D沿出發母材的長軸方向，以等間隔配置成一列；原料瓦斯、 燃料瓦斯及助燃瓦斯等供給噴燃器22A 22D;噴燃器22A 22D沿開 始母材2的長軸方向往復移動將供給的原料互斯加水分解對開始母
17材2噴出玻璃微粒子；如此由噴燃器22A 22D，在出發母材2的周 圍堆積玻璃微粒子以形成堆積體10。
將在出發母材2周圍堆積的玻璃微粒子，以熱處理使透明玻璃 化，以制造作為光纖原料的玻璃母材；再將玻璃母材以適于拉成長線 的形狀延伸及縮徑而得光纖的預制件(pre-form)，又再將此預制件 (pre-form)拉伸以制造光纖。
圖2表示由全域橫斷(traverse)法的噴燃器(burner)22A 22D的玻 璃微粒子的堆積量；全域橫斷法時，全部噴燃器(bumer)22A 22D越 過能有效使用的玻璃母材制品的有效部，由玻璃微粒子堆積區域的一 端至另一端往復移動，而且在有效部的范圍內，各噴燃器 (burner)22A 22D，以固有的堆積量堆積為均一的厚度，因此雖各噴 燃器(burner) 22A 22D的玻璃微粒子的堆積量各相異情形下堆積的玻 璃微粒子的全厚，在沿噴燃器(bumer)22A 22D移動方向也可大概成 為均一。
圖3表示由部分橫斷(traverse)法的噴燃器(burner)22A 22F的玻 璃微粒子的堆積量；部分橫斷(tmverse)法時噴燃器(bumer)22A 22F 在出發母材2的全長的一部分區間往復移動而在出發母材2上堆積玻 璃微粒子；例如將噴燃器(burner)22A 22F往復移動的開始位置逐次 作部分移動以使在出發母材2上堆積玻璃微粒子(參照日本申請專利 特開平3-228845號公報)。
部分橫斷(traverse)法與圖2所示的全域橫斷(traverse)法比較時， 在不增加不能使用的玻璃母材制品的不需要部分，可增設噴燃器(burner)的數目的關系可迅速增加玻璃微粒子的堆積速度。
但對部分橫斷(traverse)法，其各噴燃器(bumer)22A 22F在有效全 長的一部分區間往復移動，因此如圖3所示各噴燃器(burner)的玻璃 微粒子的堆積量相異時，其堆積玻璃微粒子的全體厚度沿有效部的長 軸方向成為不均一形狀。
在出發母材2的長軸方向的玻璃微粒子的堆積量不均一時，將堆 積體IO透明玻璃化所生成的玻璃母材，其纖核(core)周圍積層的纖覆 (clad)厚度有所變動；因此將纖覆(dad)厚不灼一的玻璃母材延伸縮徑 制造成為預制件(pre-form)，再將此預制件(pre-form)拉伸制造最后產 品的光纖時，該光纖的纖核(core)徑也會變動，光是在此纖核(core)內 傳播，如纖核(core)徑變動時，該光纖不具需要的所定特性；因此如 沿有效部分的長軸方向，玻璃微粒子的堆積量不均一時，需要增加削 減堆積厚度大的部分以成為同樣厚度的程序，如此將增加制造成本。 本發明提供能解決以上所述課題的玻璃母材制造裝置及玻璃母 材制造方法為目的，此目的可由組合申請專利范圍的獨立項所述之特 征達成，又依附項規定發明的更有利的具體例。
發明內容
本發明的第一形態是玻璃母材制造裝置，所述玻璃母材是用來制 造光纖材料，其中所述裝置包括多個噴燃器、多個流量調節器及多個 控制部。噴燃器沿玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔配成 一列，所述玻璃母材制造裝置的多個噴燃器沿出發母材的長軸方向，在出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在出發母材堆積玻璃微 粒子，以形成所述玻璃母材的母材堆積體。多個噴燃器各別至少連結 一個流量調節器，以調節供給噴燃器的所述玻璃微粒子的原料瓦斯的 流量。控制部則各別連結在流量調節器，以個別控制多個流量調節器。 所述控制部具有第一及第二控制手段，第一控制手段控制多個流量調
節器，以供給多個噴燃器所述原料瓦斯的基本的流量；第二控制手段 對基本的流量并按照多個噴燃器各算出的供給噴燃器的原料瓦斯的 流量的補償值，以控制多個流量調節器。所述第二控制手段是按照多 個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃母材的堆積比，算出 的多個流量調節器各別的所述補償值。而且，所述第一控制手段以供 給噴燃器的所述原料瓦斯的流量隨時間的經過而變化的方式，加以控 制所述流量調節器。
本發明的第二形態是玻璃母材制造裝置，所述玻璃母材是用來制 造光纖材料，其中所述裝置包括多個噴燃器、多個流量調節器及多個 控制部。噴燃器沿玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔配成 一列，所述玻璃母材制造裝置的多個噴燃器沿出發母材的長軸方向， 在出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在出發母材堆積玻璃微 粒子，以形成所述玻璃母材的母材堆積體。多個噴燃器各別至少連結 一個流量調節器，以調節供給噴燃器的所述玻璃微粒子的原料瓦斯的 流量。控制部則各別連結在流量調節器，以個別控制多個流量調節器。 所述控制部具有第一及第二控制手段，第一控制手段控制多個流量調 節器，以供給多個噴燃器所述原料瓦斯的基本的流量；第二控制手對基本的流量并按照多個噴燃器各算出的供給噴燃器的原料瓦斯的 流量的補償值，以控制多個流量調節器。所述第二控制手段是按照多 個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃母材的堆積比，算出 的多個流量調節器各別的所述補償值。而且，以對一個噴燃器連接多 個流量調節器為特征。
本發明的第三形態是玻璃母材制造裝置，所述玻璃母材是用來制 造光纖材料，其中所述裝置包括多個噴燃器、多個流量調節器、多個 控制部、反應容器及變形低減機構。噴燃器沿玻璃母材的出發母材的 長軸方向以所定的間隔配成一列，所述玻璃母材制造裝置的多個噴燃 器沿出發母材的長軸方向，在出發母材全長度的一部分區間往返移 動，并在出發母材堆積玻璃微粒子，以形成所述玻璃母材的母材堆積 體。多個噴燃器各別至少連結一個流量調節器，以調節供給噴燃器的
所述玻璃微粒子的原料瓦斯的流量。所述反應容器收容所述噴燃器； 所述變形低減機構則減低在制造所述玻璃母材時發生的熱量所引起 的所述反應容器的變形。控制部則各別連結在流量調節器，以個別控 制多個流量調節器。所述控制部具有第一及第二控制手段，第一控制 手段控制多個流量調節器，以供給多個噴燃器所述原料瓦斯的基本的 流量；第二控制手段對基本的流量并按照多個噴燃器各算出的供給噴 燃器的原料瓦斯的流量的補償值，以控制多個流量調節器。所述第二 控制手段是按照多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃 母材的堆積比，算出的多個流量調節器各別的所述補償值。
本發明的第四形態是玻璃母材制造裝置，所述玻璃母材是用來制造光纖材料，其中所述裝置包括多個噴燃器、多個流量調節器、多個 控制部及把持具。噴燃器沿玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的 間隔配成一列，所述玻璃母材制造裝置的多個噴燃器沿出發母材的長 軸方向，在出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在出發母材堆 積玻璃微粒子，以形成所述玻璃母材的母材堆積體。多個噴燃器各別 至少連結一個流量調節器，以調節供給噴燃器的所述玻璃微粒子的原 料瓦斯的流量。所述把持具把持所述堆積體從所述玻璃母材制造裝置 向外面移送。控制部則各別連結在流量調節器，以個別控制多個流量 調節器。所述控制部具有第一及第二控制手段，第一控制手段控制多
個流量調節器，以供給多個噴燃器所述原料瓦斯的基本的流量；第二 控制手段對基本的流量并按照多個噴燃器各算出的供給噴燃器的原 料瓦斯的流量的補償值，以控制多個流量調節器。所述第二控制手段 是按照多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃母材的堆 積比，算出的多個流量調節器各別的所述補償值。而且，所述把持具 有把持所述堆積體兩端圓錐部的裝置。
本發明的第五形態是制造光纖原料的玻璃母材的方法，所述方法 包括堆積階段及流量控制階段。所述堆積階段沿所述玻璃母材的出發 母材的長軸方向，多個噴燃器在對所述出發母材的全體長度的一部分 區間往返移動，由所述噴燃器向出發母材噴出玻璃微粒子而在所述出 發母材堆積玻璃微粒子。所述流量控制階段則是對所述噴燃器以個別 控制供給所述噴燃器的玻璃微粒子的原料瓦斯流量。在所述堆積階段 并具備玻璃化階段，所述玻璃化階段將在所述堆積階段所堆積的所述玻璃微粒子堆積體透明玻璃化，以生成玻璃母材。所述流量控制階段 需按照所述玻璃化階段所生成的所述玻璃母材的堆積比，以個別控制 所述噴燃器的所述原料瓦斯流量。還有第一批次的堆積階段、第一批 次的玻璃化階段及補償值算出階段，其中所述第一批次的堆積階段在 所述堆積階段，由供基本流量的所述原料瓦斯給所述噴燃器而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子所生成第一批次的堆積體的階段。所述 第一批次的玻璃化階段在所述玻璃化階段將所述第一批次的堆積體 透明玻璃化，以生成第一批次的玻璃母材。所述補償值算出階段是按 照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批次的玻璃母材的堆積比，對 各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流量的原料瓦斯流量的補償 值。所述補償值算出階段按照所述第一批次的玻璃化階段所生成的第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對所述噴燃器算出其補償值。第二批 次的堆積階段在堆積階段的補償值算出階段，按照所算出的所述補償 值對所述基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴燃器，而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體。所述流量 控制階段包括第一批次的控制階段及第二批次的控制階段。第一批次 的控制階段在所述第一批次的堆積階段，控制所述原料瓦斯流量，以 使將所述基本流量的原料瓦斯供給所述噴燃器。第二批次的控制階段 在所述第二批次的堆積階段，個別控制對所述基本流量的補償值加以 補償的所述原料瓦斯流量供給各噴燃器。
本發明的第六形態是制造光纖原料的玻璃母材的方法，所述方法 包括堆積階段及流量控制階段。所述堆積階段沿所述玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在對所述出發母材的全體長度的一部分 區間往返移動，由所述噴燃器向出發母材噴出玻璃微粒子而在所述出 發母材堆積玻璃微粒子。所述流量控制階段則是對所述噴燃器以個別 控制供給所述噴燃器的玻璃微粒子的原料瓦斯流量。在所述堆積階段 并具備玻璃化階段，所述玻璃化階段將在所述堆積階段所堆積的所述 玻璃微粒子堆積體透明玻璃化，以生成玻璃母材。所述流量控制階段 需按照所述玻璃化階段所生成的所述玻璃母材的堆積比，以個別控制 所述噴燃器的所述原料瓦斯流量。還有第一批次的堆積階段、第一批 次的玻璃化階段及補償值算出階段，其中所述第一批次的堆積階段在 所述堆積階段，由供基本流量的所述原料瓦斯給所述噴燃器而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子所生成第一批次的堆積體的階段。所述 第一批次的玻璃化階段在所述玻璃化階段將所述第一批次的堆積體 透明玻璃化，以生成第一批次的玻璃母材。所述補償值算出階段是按 照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批次的玻璃母材的堆積比，對 各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流量的原料瓦斯流量的補償 值。所述補償值算出階段按照所述第一批次的玻璃化階段所生成的第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對所述噴燃器算出其補償值。第二批 次的堆積階段在堆積階段的補償值算出階段，按照所算出的所述補償 值對所述基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴燃器，而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體。而第二批 次的玻璃化階段是在所述玻璃化階段將所述第二批次的堆積階段所 生成的所述第二批次的堆積體透明玻璃化，以生成第二批次的玻璃母材。所述補償值算出階段為對應所述噴燃器的各別位置，按照所述第 一批次的玻璃化階段所生成的所述第一批次的玻璃母材堆積比與所 述第二批次的玻璃化階段所生成的所述第二批次的玻璃母材堆積比 的比率，個別對所述噴燃器算出其補償值。
本發明的第七形態是制造光纖原料的玻璃母材的方法，所述方法 包括堆積階段及流量控制階段。所述堆積階段沿所述玻璃母材的出發 母材的長軸方向，多個噴燃器在對所述出發母材的全體長度的一部分 區間往返移動，由所述噴燃器向出發母材噴出玻璃微粒子而在所述出 發母材堆積玻璃微粒子。所述流量控制階段則是對所述噴燃器以個別 控制供給所述噴燃器的玻璃微粒子的原料瓦斯流量。在所述堆積階段 并具備玻璃化階段，所述玻璃化階段將在所述堆積階段所堆積的所述 玻璃微粒子堆積體透明玻璃化，以生成玻璃母材。所述流量控制階段 需按照所述玻璃化階段所生成的所述玻璃母材的堆積比，以個別控制 所述噴燃器的所述原料瓦斯流量。還有第一批次的堆積階段、第一批 次的玻璃化階段及補償值算出階段，其中所述第一批次的堆積階段在 所述堆積階段，由供基本流量的所述原料瓦斯給所述噴燃器而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子所生成第一批次的堆積體的階段。所述 第一批次的玻璃化階段在所述玻璃化階段將所述第一批次的堆積體 透明玻璃化，以生成第一批次的玻璃母材。所述補償值算出階段是按 照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批次的玻璃母材的堆積比，對 各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流量的原料瓦斯流量的補償 值。所述補償值算出階段按照所述第一批次的玻璃化階段所生成的第一批次的玻璃母材的堆積比個別對所述噴燃器算出其補償值。第二批 次的堆積階段在堆積階段的補償值算出階段，按照所算出的所述補償 值對所述基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴燃器，而在所述 出發母材堆積所述玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體。還有在所 述堆積階段的所述補償值算出階段以算出的所述補償值，對所述基本 流量加以補償調整的原料瓦斯個別供給所述噴燃器，而在所述出發母 材堆積所述玻璃微粒子，以生成第三批次的堆積體的第三批次的堆積 階段。還有個別控制在所述流量控制階段，按照所算出的所述補償值 對基本流量加以補償調整的所述原料瓦斯流量供給各噴燃器的第三 批次的控制階段。還有在所述玻璃化階段，將所述第三批次的堆積階 段生成的第三批次的堆積體透明玻璃化，以生成第三批次的玻璃母材 的第三批次的玻璃化階段。
本發明的第八形態是制造光纖原料的玻璃母材的方法，所述方法 包括堆積階段、流量控制階段及把持所述玻璃母材的把持階段。所述 堆積階段沿所述玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在對所 述出發母材的全體長度的一部分區間往返移動，由所述噴燃器向出發 母材噴出玻璃微粒子而在所述出發母材堆積玻璃微粒子。所述流量控 制階段則是對所述噴燃器以個別控制供給所述噴燃器的玻璃微粒子 的原料瓦斯流量。在所述堆積階段并具備玻璃化階段，所述玻璃化階 段將在所述堆積階段所堆積的所述玻璃微粒子堆積體透明玻璃化，以 生成玻璃母材。所述流量控制階段需按照所述玻璃化階段所生成的所 述玻璃母材的堆積比，以個別控制所述噴燃器的所述原料瓦斯流量。還有第一批次的堆積階段、第一批次的玻璃化階段及補償值算出階 段，其中所述第一批次的堆積階段在所述堆積階段，由供基本流量的 所述原料瓦斯給所述噴燃器而在所述出發母材堆積所述玻璃微粒子 所生成第一批次的堆積體的階段。所述第一批次的玻璃化階段在所述 玻璃化階段將所述第一批次的堆積體透明玻璃化，以生成第一批次的 玻璃母材。所述補償值算出階段是按照第一批次的玻璃化階段所生成 的第一批次的玻璃母材的堆積比，對各噴燃器個別算出供給各噴燃器 的基本流量的原料瓦斯流量的補償值。所述補償值算出階段按照所述 第一批次的玻璃化階段所生成的第一批次的玻璃母材的堆積比個別 對所述噴燃器算出其補償值。第二批次的堆積階段在堆積階段的補償 值算出階段，按照所算出的所述補償值對所述基本流量加以補償的原 料瓦斯流量供給各噴燃器，而在所述出發母材堆積所述玻璃微粒子， 以生成第二批次的堆積體。所述把持階段，把持所述玻璃母材兩端的 圓錐部。
圖1表示公知的玻璃制造裝置的構成。
圖2表示全域橫斷(traverse)法噴燃器(burner)22A 22D的玻璃微 粒子堆積量。
圖3表示部分橫斷(traverse)法，噴燃器(burner)22A 22F的玻璃微 粒子堆積量。
圖4表示本發明的玻璃母材制造裝置200的一實施形態。圖5表示噴燃器(burner)22A 22E的往返移動的軌跡。
圖6表示使用圖4所示玻璃母材制造裝置200制造玻璃母材的工藝。
圖7表示第一實施例及第二實施例的各堆積比的變化。
圖8表示第一實施例的堆積比及第二實施例的堆積比的變化率。
圖9表示第三實施例及第一實施例的各堆積比的變化。
圖10表示第三實施例的堆積比及第一實施例的堆積比的變化率。
圖11表示玻璃母材制造裝置200的變形低減機構的一實施形態。 圖11(A)表示玻璃母材制造裝置200的斜視圖。 圖ll(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖。 圖ll(C)從圖ll(A)的箭頭A方向所見彎曲結構部204的放大斷 面圖。
圖12表示變形低減機構的其它實施形態。 圖12(A)表示玻璃母材制造裝置200的斜視圖。 圖12(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖。 圖12(C)從圖12(A)的箭頭A方向所見變形限制部212的放大斷 面圖。
圖13表示變形低減機構的其它實施形態。
圖13(A)表示玻璃母材制造裝置200的斜視圖。
圖13(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖。
圖13(C)從圖13(A)的箭頭A方向所見曲面形狀壁面214的放大斷面圖。
圖14表示變形低減機構的其它實施形態。
圖14(A)表示玻璃母材制造裝置200的斜視圖。 圖14(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖。 圖14(C)從圖14(A)的箭頭A方向所見滑動(slide)板部216的放大
斷面圖。
圖15為玻璃母材制造裝置200的把持具的一實施形態斜視圖。
圖16表示圖15所示把持具310的一部分平面圖。
圖17表示把持具310的其它實施形態。
圖18表示把持具310的其它實施形態。
圖19表示把持具310的其它實施形態。
圖20表示把持具310的其它實施形態。
2 出發母材
10 堆積體
12 夾盤(chuck)
14、 20、 118 馬達
15 噴燃器(burner)臺
16 第一移動軸 18 第二移動軸
22 噴燃器(bumer) 48 第一移動機構 50 第二移動機構52瓦斯流量控制部
74、 76、78、 80、 82、 84、 86流量調節器
88原料瓦斯供給源
100預制件測定器(pre-form analyzer)
102控制部
200玻璃母材制造裝置
204彎曲結構部
210反應容器
212彎曲限制部
214曲面形狀壁面
216滑動板部
304堆積體10的圓柱部
306堆積體10的圓錐部
308反應容器210的開閉窗
310把持具
312夾鉗(clamp)凹部
314夾鉗(clamp)
316夾鉗(clamp)連結軸
318桿柄(arm)
320圓錐部306的傾斜部分
324把持具彈性體
326把持具柱狀體
30328 把持具先端部
330 螺合軸
332 導向(guide)軸
具體實施例方式
為讓本發明的上述和其它目的、特征和優點能更明了以下經由本 發明的較佳實施例并配合所附圖式作本發明的詳細說明，以下的較佳 實施例并非限定本發明的申請專利范圍，并且在較佳實施例中所說明 的全部特征組合也并非限定本發明的必須解決手段。
圖4表示本發明的玻璃母材制造裝置200的一實施形態；玻璃母 材制造裝置200有夾盤(chuck)12，馬達(motor)14、 20及118，噴燃器 (burner)22A 22K，瓦斯流量控制部52A 52K，原料瓦斯供給源 88A 88G，控制部102，第一移動機構48，第二移動機構50及反應 容器201等。
夾盤(chuck)12把持出發母材2，馬達14以出發母材2的軸為中 心由旋轉夾盤(chuck)12，就可旋轉出發母材2。
噴燃器22A 22K在臺15上沿出發母材2的長軸方向以所定間隔 配置；噴燃器(burner)22A 22K，沿出發母材的長軸方向往返移動位 置而在出發母材2全體長度的一部分區間往返移動；即本實施例的噴 燃器((bumer)22A 22K，以部分橫斷(traverse)往返移動；噴燃器 (bumer)22A 22K在出發母材2堆積玻璃微粒子以形成堆積體10。
第一移動機構48有與出發母材2的長軸方向平行配置的第一移動軸16，由馬達118旋轉第一移動軸，使第一移動機構48將臺15 在出發母材的長軸方向平行的方向以第一周期往返；在此所謂的周期 為噴燃器(bumer)22A 22K —往返所需的時間間隔；第二移動機構50， 設在第一移動機構48的下面，而在第一移動機構48往返移動；第二 移動機構50有與第一移動軸16的長軸方向平行配置的第二移動軸 18。
由馬達20旋轉第二移動軸18使第二移動機構50以比第一周期 較長的第二周期在第一移動機構48往返移動。
因此，第一移動機構較快的速度使噴燃器(bumer)22A 22E往返 移動，第二移動機構50則以比第一移動機構較慢的速度使第一移動 機構48往返移動。
瓦斯流量控制部52A 52K與各對應的噴燃器(bumer)22A 22K連 接，使燃料瓦斯各供給噴燃器(bumer)22A 22K;原料瓦斯系以玻璃 微粒子的原料瓦斯；燃燒瓦斯及助燃瓦斯供給噴燃器(bumer);原料 瓦斯供給源88A 88G將各不同的7種原料瓦斯供給各瓦斯流量控制 部52A 52K;如圖4所示原料瓦斯給源88A 88G連接所有的各個流 量控制部52A 52K，對所有的流量控部52A 52K各個供給7種不同 的原料瓦斯。
瓦斯流量控制部52A 52K，各個都有復收的流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86;例如瓦斯流量控部52A有流量調節器74A、 76A、 78A、 80A、 82A、 84A及86A;流量調節74A、 76A、 78A、 80A、 82A、 84A及86A與所對應的原料瓦斯供給源88A 88G連接；因此流量調節器74A、 76A、 78A、 80A、 82A、 84A及86A可控制所 對應原料瓦斯供給源88A 88G所供給的各個不同種類的原料瓦斯流
流量由各流量調節器74A、 76A、 78A、 80A、 82A、 84A及86A 所控制，從原料瓦斯供給源88A 88G所供給的原料瓦斯的一部分經 合流再供給噴燃器(burner)22A;不與燃料瓦斯及助燃瓦斯等合流的原 料瓦斯，供給噴燃器(bumer)22A所有的多個噴燃器(bumer)22A所有 的多個噴嘴(nozzle);圖4所示的例中，流量調節器82A、 84A及86A 所供給的原料瓦斯經過合流再供給噴燃器(burner)22A的噴嘴 (nozzle)，而流量調節器74A、 76A、 78A、及80A所供給的各原料瓦 斯，不經合流而供給所對應的噴燃器(bumer)22A的各噴嘴(nozzle); 原料瓦斯供給噴燃器(burner)22的形態并不限定于圖4所示例，也可 用其它形態。
瓦斯流量控制部52B 52K，均有與流量控制部52A同樣構造不 需再說明；又瓦斯流量控制部52B 52K的內部構造與圖4所示瓦斯 流量控制部52A相等而不另圖標。
另外供給各噴燃器(bumer)22A 22K的原料瓦斯，不像圖4所示 用流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86等，也可用其它手段加 以控制；例如在原料瓦斯的供給配管上配置分配器再經分配器在通各 噴燃器(burner)22A 22K的配管上配置可以調整的瓣閥(valve)或孔口 (orifice)以增減瓣閥(valve)或孔口 (orifice)的壓力損失調整原料瓦斯對 各噴燃器(burner)22A 22K的供給量。控制部102與瓦斯控制部52A 52K有的各流量調節器74、 76， 78， 80， 82、 84及86各別連接；例如在流量控制部52A內，控制部 102與流量調節器74A、 76A、 78A、 80A、 82A、 84A及86A各別連 接；控制部102個別控制流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86 的流量；控制部102不一定要控制所有的流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86，也可控制一部分的流量調節器。
控制部102，也可以供給噴燃器(burner)22A 22K的原料瓦斯量 隨時間變化的方式，加以控制流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84 及86等；例如配合玻璃微粒子堆積的成長也可在堆積初期、堆積中 期及堆積后期的各階段變化供給原料瓦斯的流量；控制部102并且與 馬達12、 14及118連接，控制夾盤(chuck)12，第一移動軸16及第二 移動軸18的旋轉速度。
反應容器210，收容夾盤(chuck)12及噴燃器(bumer)22A 22K; 反應容器210將第一移動機構48，第二移動裝置50，瓦斯流量控制 部52A 52K等的玻璃母材制造裝置200的構成要件與原料瓦斯反應 時所發生的熱量隔離，以保護玻璃母材制造裝置200的構成要件；反 應容器210并不需要收容上述全部的構成要件，也可收容上述構成要 件的一部分。
并且玻璃母材制造裝置200也可連接測定玻璃母材外徑及纖核 (core)徑的預制件測定器(pre-form analyzer)100;從玻璃母材制造裝置 200制造的堆積體10，在與玻璃母材制造裝置200成為別體的燒結裝 置燒結形成玻璃母材；而玻璃母材由與玻璃母材制造裝置200成為別體的預制件測定器(pre-form analyzer)100，測定外徑及纖核(core)徑； 如將預制件測定器(pre-form analyzer)100與控制部102連結時，可從 預制件測定器(pre-form analyzer)100，將玻璃母材的外徑及纖核(core) 徑輸入控制部102;控制部102可按照從預制件測定器(pre-form analyzer)100輸入的玻璃母材外徑及纖核(core)徑的資料，控制各流量 調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86的流量。
圖5表示噴燃器(bumer)22A往返移動的軌跡；圖4所示的玻璃 材制造裝置200，具有11支噴燃器(burner)22A 22K;但為簡化說明 起見，只表示1支噴燃器(bumer)22A的移動軌跡；縱軸表示時間的 經過，橫軸表示噴燃器(bumer)22A的移動距離。
第一移動機構48，噴燃器(burner)22A以實線所示的第一周期往 返，第一移動周期的移動寬度為出發母材2全體長度的一部分區間， 第一移動機構50，將第一移動機構48，以虛線所示的第二周期往返 之，第二移移動周期的移動寬度也為出發母材2全體長度的一部分區 間，第一移動機構48的移動寬度及第二移動機構50的移動寬度的只 少一邊，要為噴燃器(bumer)設置間隔的整數倍為宜；又第二移動周 期的移動寬度為噴燃器(burner)22A 22K等互相間隔的整數倍為宜； 例如也可為噴燃器(burner)22A 22K互相間隔的1~2倍，圖5中，第 一移動周期的移動寬度比第二移動周期的移動寬度為小，也可使第一 移動周期的移動寬度與第二移動周期的移動寬度為相同；噴燃器 (burner)22A的移動軌跡，以實線所示第一周期的軌跡，重疊在虛線 所示第二周期的軌跡上；因此本實施形態的玻璃母材制造裝置200具有第一移動機構48及第二移動機構50的關系，噴燃器 (bumer)22A 22K的住返移動可在折返位置移動。
圖6表示用圖4所示玻璃母材制造裝置200，制造玻璃母材的工 藝；首先對各噴燃器(burner)22A 22K供給基本流量的原料瓦斯，在 出發母材堆積玻璃微粒子以生成第一批次(batch)堆積體(S10);所謂基 本流量者為忽視各噴燃器(burner)22A 22K的不同壓力損失的同一供 給量；因此各噴燃器(bumer)壓力損失相異時，控制部102，也會對各 瓦斯流量控制部52A 52K傳出同一輸出信號，故從各瓦斯流量控制 部52A 52K對各噴燃器(burner)22A 22K供給同一流量的原料瓦斯。
其次，用與玻璃母材制造裝置200成為別體未圖標的燒結裝置， 將第一批次(batch)堆積(S 10)生成的第一批次(batch)堆積體，經熱處理 使透明玻璃化以生成第 一批次(batch)玻璃母材(SI2)。
堆積體10的厚度與透明玻璃化后的玻璃母材的厚度的關系，由 堆積體的嵩密度(容積密度)而變化；因此在堆積體10透明化前的階 段，很困難判定堆積體10的堆積量在出發母材2的長軸方向上的均 一性。
并且用與玻璃母材制造裝置成為別體的預制件測定器(pre-form analyzer)100，使雷射光(laser)等透過玻璃母材，再測定透過光線的偏 離位置，以求玻璃母材內部的折射率分布，再從折射率分布，可求玻 璃母材的外徑；因此，預制件測定器(pre-form analyzer)100，對尚未 透明玻璃化前階段的白色多孔質堆積體10，無法透過光線的關系， 而無法利用；故用預制件測定器(pre-form analyzer)100，來判定堆積體10的堆積量在出發母材2的長軸方向上的均一性時，必須將堆積 體10燒結成透明玻璃化。
再次為測定第 一 批次(batch)玻璃母材的外徑及纖核(core)徑 (S14);例如使用預制件測定器(pre-form analyzer)100，測定第一批次 (batch)玻璃母材的外徑和第一批次(batch)出發母材2的外徑或纖核 (core)徑的比的分布，即測定堆積比分布；將所測定的堆積比對應各 噴燃器(bumer)22A 22K的堆積范圍，可知各噴燃器22A 22K的玻璃 微粒子的堆積特性。
堆積比分布，可從下式算出；
纖核佴棒(corerod)率氣出發母材外徑)/(玻璃母材外徑) 堆積比=(1/測定位置的纖核餌棒率)/(1/基準位置的纖核 餌棒率)
在此纖核餌棒(core rod)為發母材2。
接下來，對個別噴燃器(bumer)22A 22K，按照從算出堆積比分 布所得的各噴燃器(bumer)22A 22K的堆積特性，算出各噴燃器 (bumer)22A 22K的原料瓦斯流量對基本流量的補償值(S16);原料瓦 斯流量的補償值算出要使沿出發母材2的長軸方向的玻璃微粒子的 堆積分布具有均一性；在補償值算出階段(step)(S16)，補償值的算出， 要使調整范圍在基本流量的50%以下；如 調整范圍超過50%，某噴燃 器(bumer)與鄰接噴燃器(bumer)間原料瓦斯供給量有差異之情形，玻
璃母材燒結時，容易產生缺陷。
再來，在補償值算出階段(step)(S16)，按照算出的補償值對基本流量加以補正的原料瓦斯流量供給各噴燃器(burner)22A 22K，使玻 璃微粒子在出發母材2堆積而生成第二批次(batch)堆積體(S18);在此 實施第二批次(batch)堆積體(S18);在此實施第二批次(batch)堆積(S18) 期間，基本流量可隨時間的經過而變化；但實施第二批次(batch)堆積 (S18)期間供給各噴燃器的原料瓦斯流量的補償值，不隨時間變化， 即一旦對各流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86設定補償值后 一直到第二批次(batch)堆積(S18)結束不加以變更補償值。
再下來，由第二批次(batch)堆積(S18)所形成的第二堆積體，用燒 結裝置透明玻璃化以生成第二批次玻璃母材(S20)，其次測定第二批 次(batch)玻璃母材的直徑及核(core)徑，計算堆積分布(S22)。
其次，按照對應各噴燃器(bumer)22A 22K的個別位置的第一批 次(batch)玻璃母材堆積比與第二批次(batch)的玻璃母材堆積比的比 率，對各噴燃器(bumer)22A 22K算出個別的補償值(S24);首先，算 出第一批次(batch)的玻璃母材堆積比和第二批次(batch)的玻璃母材堆 積比的比率，在噴燃器(bumer)22A 22K個別位置的變化率；此堆積 比的比率的變化率表示第一玻璃母材的玻璃微粒子堆積量和第二玻 璃母材的玻璃微粒子堆積量的比率，在噴燃器(bumer)22A 2K個別位 置的變化率；以下列式表示算出玻璃微粒子堆積量比率的變化率。
堆積比的變化率=(第二玻璃母材堆積比)/(第一玻璃母材堆積比) 再來，依照算出的堆積比的變化率，來調整供給噴燃器
(burner)22A 22K的原料瓦斯流量的補償值，以使沿出發母材2的長
軸方向的玻璃微粒子具有均一性的堆積分布。其次，在補償值算出階段(step)(S24)，按照算出的補償值對基本 流量加以補正的原料瓦斯流量供給多個各噴燃器(bumer)而在出發母 材堆積玻璃微粒子，生成第三批次(batch)堆積體(S26);在實施此第三 批次(batch)堆積(S26)期間，基本流量可隨時間的經過而變化；但在實 施第三批次(batch)堆積(S26)期間，各噴燃器的原料瓦斯供給量的補償 值，不隨時間變化；即一旦對各流量調節器74、 76、 78、 80、 82、 84及86設定補償值后， 一直到第三批次(batch)堆積(S26)結束，不加 以變更補償值。
再下來，由第三批次(batch)的堆積(S26)所制造的第三批次(batch) 堆積體，用燒結裝置透明玻璃化以生成第三批次(batch)的玻璃母材 (S28);在第三批次(batch)的堆積(S26)，第三批次(batch)的玻璃化 (S28)，及補償值算出(S24)所說明的堆積、燒結、補償值算出等的工 藝，重復多數批次(batch)，則可制造玻璃微粒子的堆積分布有均一性 的玻璃母材；另外不用第三批次(batch)堆積(S26),第三批次(batch) 玻璃化(S28)，補償值算出(S24)說明的堆積、燒結及補償值算出等的 工藝；也可重復第二批次(batch)的堆積(S18)，第二批次(batch)的玻璃 化(S20)，及補償值算出(S16)等所說明的堆積、燒結及補償值算出等 工藝。
如以上所述，每當實際制造多數批次(batch)玻璃母材時，需推測 及調整要使沿出發母材2的長軸方向的玻璃微粒子的堆積分布具有 均一性的條件，則可制造玻璃微粒子的堆積分布均一的玻璃母材。
第一實施例使用圖4所示玻璃母材制造裝置200，制造堆積體10;但采用的 噴燃器(burner)并非11支，而為10支噴燃器(burner)以150mm的間隔 配置；因此圖4所示噴燃器(burner)22A 22K中，用噴燃器 (burner)22A 22J;在外徑40mm的出發母材2,堆積玻璃微粒子，以 生成外徑平均180mm的堆積體10。
各噴燃器22A 22J的瓦斯供給量，配合堆積體外徑的增加而加以 變化；例如，在堆積初期控制瓦斯供給量為H2:50Nl/min， O2:30Nl/min， 原料瓦斯(SiCU):3.5Nl/min，在堆積終了時，控制瓦斯供給量為 H2:100Nl/min， O2:50Nl/min，原料瓦斯(SiCU) :23Nl/min。
噴燃器(burner)22A 22J的移動速度設定使第一移動機構48的移 動速度為1,000mm/min，第二移動機構50的移動速度20mm/min ; 又第一移動機構48及第二移動機構50的移動寬度均設定為150mm; 在出發母材2堆積玻璃微粒子期間，噴燃器(burner)22A 22J與堆積體 IO之距離設定成一定。
并且，對瓦斯流量控制部52A 52J所有的全部流量調節器74~86， 輸出同一信號，以使對全部噴燃器(bumer)22A 22J，供給同一流量的 原料瓦斯。
又，出發母材2的旋轉數，隨堆積體10的外徑增加而加以控制; 例如堆積開始時，旋轉數控制在110rpm，堆積終了時的旋轉數控制 為30rpm。
依上述的設定條件制造堆積體10，并將制造的堆體10加以透明 玻璃化，以制造玻璃母材。第二實施例
以預制件測定器(pre-form analyzer)100，測定第一實施例的堆積 比分布之結果，如圖7所示兩條箭頭所示從左算起，第三個噴燃器 (bumer)22c及第七個噴燃器(bumer)22G所對應位堆積比較其它位置 的堆積比為低；所以為使沿玻璃母材長軸方向的堆積比分布成為均 一，調整對噴燃器(burner)22C及22G的原料瓦斯供給條件如下所述。
即設定各流量調節器74 86使10個噴燃器(bumer)22A 22J中， 從左第三個噴燃器(bumer)22C及第七個噴燃器(burner)22G為其它噴 燃器(bumer)的1.20倍及1.10倍；在堆積玻微粒子期間，此流量比保 持一定；對噴燃器22C及22G的原料瓦斯供給條件以外的條件，均
設定為與第一實施例同樣的條件。
依上述的設定條件，在外徑40mm的出發母材2堆積玻璃微粒子， 以制造外徑平均為180mm的堆積體10;再將制造的堆積體10，加以 透明玻璃化以制造玻璃母材。
第三實施例
測定第二實施的堆積比分布的結果，如圖7所示可知兩條箭頭所 示從左第三個噴燃器(bumer)22C和第七個噴燃器(bumer)22G所對應 位置為中心的領域的堆積比，較其它位置的堆積比為低；所以為使沿 玻玻璃母材的長軸方向的堆積比分布成為均一，而調整噴燃器 (bumer)22A 22J的原料瓦斯供給條件如下所述。
即噴燃器(bumer)22A 22J的供給條件，以基本供給量為1時，調 整各噴燃器(burner)22A 22J所對應的流量調節器使各噴燃器(bumer)22A 22J的供應量，從頭依序為1.04、 1.04、 1.08、 0.97、 0.90、 0.97、 1.18、 1.00、 0.93及0.90倍;在堆積玻微粒子期間，此流量比 保持一定；原料瓦斯供給條件以外的條件，均設定與第二實施例的條 件相等。
依照上述的設定條件，在外徑40mm的出發母材2堆積玻璃微粒 子，以制造外徑平均180mm的堆積體10;再將此制造的堆積體10 透明玻璃化，以制造玻璃母材。
圖7表示第一實施例及第二實施例的各堆積比的變化情形；圖7 中以方形點表示的曲線表示第二實施例制造的玻璃母材，以預制件測 定器(pre-form analyzer)100測定所得的堆積分布；另外以三角點表示 的曲線表示第一實施例制造的玻璃母材，以預制件測定器(pre-form analyzer)100測定所得的堆積分布；圖中箭頭各對應從左第三個及第 七個噴燃器(burner)22C及22G的位置。
如圖7所示的第一實施例對應箭頭所示從左第三個噴燃器 (burner)22C及第七個噴然器(bumer)22G位置范圍的堆積較低的關 系，沿玻璃母材的長軸方向的玻璃微粒子堆積量變為不均一。
因此，在第二實施例，經由調整瓦斯控制部52C及52G所有的 流量調節器74C 86C及74G 86G，以增加對從左第三個噴燃器 (burner)22C及第七個噴燃器(burner)22G的原料瓦斯供給量；所以在 箭頭所示噴燃器(bumer)22C及22G的位置比較時，可知第二實施例 的堆積比較第一實施例的堆積比有所增加；即對應噴燃器(bumer)22C 及22G的位置范圍，可知第二實施例玻璃微粒子的堆積量比第一實施例玻璃微粒子的堆積量增加的關系，第二實施例的堆積比分布比第 一實施例的堆積比分布在玻璃母材的長軸方向較有均一性。
圖8表示第一實施例的堆積比與第二實施的堆積比的變化率；即 圖8表示第二實施的部分堆積比的增加對第一實施例的堆積比的增 加程度；為求堆積比的變化率，對應各噴燃器(burner)22A 22J個別位 置，以求第二實施例的堆積比對第一實施例的堆積比有所變化的比 率；如圖8所示，對應第三個噴燃器(bumer)22C及第七個噴燃器 (bumer)22G，如箭頭所示的位置的變化率較高。
圖9表示第三實施例及第一實施例的各堆積比的變化；圖9中方 形點所示曲線表示由第三實施例所制造的玻璃母材，以預件測定器 (pre-form analyzer)100測定所得的堆積比分布；另外以三角點表示的 曲線；表示由第一實施例所制造的玻璃母材，以預制件測定器 (pre-form analyzer)100測定所得堆積比分布；第三實施例系按照第二 實例的結果調整各噴燃器(bumer)22A 22G的原料瓦斯供給量；因此 如圖9所示，第三實施例的堆積比分布實質上在玻璃母材的長軸方向 具有均一性。
圖10表示第三實施例的堆積比與第一實施例的堆積比的變化 率；即圖IO表示第三實施的部分堆積比的增加對第一實施的堆積比 有所增加的程度；為求上述堆積比的變化率，對應各噴燃器 (burner)22A 22J個別位置以求第三實施例的堆積比對第一實施例的 堆積比有所變化的比率；如圖10所示，以噴燃器(burner)22C及噴燃 器(burner)22G為中心，可知第三實施例的各噴燃器(bumer)22A 22J的變化率增加的情形。
以上說明的第一實施例，第二實施例及第三實施例，對應圖6的 流程圖時，第一實施例對應于第一批次(batch)的堆積(S10)及第一批次 的(batch)玻璃化(S12)以制造第一批次(batch)的玻璃母材；再來，第二 實施例對應于第一批次(batch)的玻璃母材外徑及纖核(core)徑的測定 (S14)，補償值算出(S16)，第二批次(batch)的堆積(S18)，及第二批次 (batch)的玻璃化(S20)以制造第二批次(batch)的玻璃母材；接下來，第 三實施例對應于第二批次(batch)的玻璃母材外徑及纖核(core)徑測定 (S22),補償值算出(S24)，第三批次(batch)的堆積(S26)，及第三批次 的(batch)玻璃化(S28)以制造第三批次的(batch)的玻璃母材。
因此，第一實施例、第二實施例及第三實施例每當調整補償值， 可知如圖7及圖9所示，玻璃微粒子的堆積比分布更成為均一；因此 在圖4至圖6所示的本實施形態，可制造堆積分布均一的玻璃母材。
圖11表示玻璃母材制造裝置200的變形低減機構一實施形態， 圖ll(A)為玻璃母材制造裝置200的斜視圖，圖ll(B)表示玻璃母材 制造裝置200的平面圖，圖ll(C)表示從圖ll(A)的箭頭A方向所見 彎曲結構204的放大斷面圖；圖11的玻璃制造裝置200，在反應容 器210以外的部分，其構成與圖4所示玻璃母材制造裝置200相同； 在此圖11中玻璃母材制造裝置200的反應容器210，堆積體IO，噴 燃器22，變形低減機構以外的構成結構為簡化說明而加以省略又為 說明的簡化，也將噴燃器(bumer)22簡示。
使用玻璃母材制造裝置200制造堆積體10時，由噴燃器(burner)22生玻璃微粒子所發生的熱量，使玻璃母材制造裝置200的 內部高溫化；例如堆積玻璃微粒子時，裝置內面之溫度可達數百度， 而堆積微粒子后，裝置內的溫度恢復到室溫；如此在此裝置內重復溫 度的激裂上升和下降，即由熱循環(heat cycle)使構成裝置的構件材 料，尤其反應器210由熱應力起因，導致變形或龜裂；因此不但對制 造的堆積體10的特性有惡性影向，并且反應容器210破損時，會使
玻璃母材制造裝置無法操作。
茲在反應容器210設變形祗減機構，以吸收、分散或抑制反應容 器210的熱應力，并防止該裝置的變形或損傷。
圖11所示變形低減機構包含在反應容器210所形成的一彎曲的 彎曲結構部204;如圖11(C)所示的彎曲結構部204的斷面，具有從 反應容器的壁面向外側膨脹的彎曲結構；又彎曲結構部以繞反應容器 210—周的方式形成于反應容器210;即以彎曲結構部204為界，將 反應容器210斷面分割為二，并且彎曲結構部204也可在應容器210 的多個處形成，以將反應容器204，分割成多個斷面；此彎曲結構部 204可吸收反應容器210的熱膨脹，以防止裝置的變形或損傷。
彎曲結構部204以與反應容器210相同的材料所形成例如彎曲結 構部204所使用的材料，以使用鎳(Ni)材為宜，也可使用不銹鋼材， 而且彎曲結構部也可以與反應容器210相異的材料形成。
圖12表示變形低減機構的其它實施形態，圖12(A)為玻璃母材制 造裝置200的斜視圖，圖12(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖， 圖12(C)表示從圖12(A)的箭頭A所見變形限制部212的放大斷面圖;圖12的玻璃母材制造裝置200，在反應容器210以外之處，具有與 圖4所示的玻璃母材制造裝置200相同的構成，所以在圖12中玻璃 母材制造裝置200的反應容器210，堆積體IO，噴燃器(burner)22變
形低機構以外的構成結構為說明的簡化而加以省略，同樣為簡化說明 也將噴燃器(bumer)22簡示之。
圖12所示的變形低減機構，有限制反應容器210變形的變形限 制部212，如圖12(C)所示的變形限制部212使用中空的角型鋼管， 又只要能限制反應容器210的變形，也可使用角型鋼管以外的槽型 鋼，H鋼等的構件為變形限制部212。
兩變形限制部212，以繞反應容器210周圍一周的方式形成以限 制反應容器210的變形，兩變形限制部212，以互相垂直的方向繞反 應容器210的周圍一周，則可限制反應容器210在上下，左右及前后 方向的熱應力變形，并且變形限制部212，可抑制由反應容器210內 的熱循環(heat cycle)所發生的熱應力對反應容器210的損傷及變形。
變形限制部212的材料使用碳鋼或不銹鋼等也可使用線膨脹率 較低，例如1.2xlO力'C 1.8xlO力。C程度的碳鋼或不銹鋼以外的材料為 變形限制部212。
圖13表示變形低減機構的其它實施形態，圖13(A)為玻璃母材制 造裝置200的斜視圖，圖13(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖， 圖13(C)從箭頭A的方向所見曲面形狀壁面214的放大斷面；圖13 的玻璃母材制造裝置200，在反應容器210以外之處，其構成與圖4 所示的玻璃母材制造裝置200相等，所以在圖13中，玻璃母材制造裝置200的反應容器210，堆積體10，噴燃器(bumer)22，變形低減 機構以外的構成結構，為簡化說明而加以省略，同樣為簡化說明也將 噴燃器(burner)22加以簡示。
反應容器210的變形低減機構為連續彎曲形狀的曲線形狀壁面 214，圖13(C)所示的曲面形狀壁面214，是由多數連續的彎曲面所形 成，反應容器210因有曲面形狀壁面214，使在反應容器210內由熱 循環(heatcycle)發生的熱應力分散在構造的各曲面部分，而不集中在 一點，所以曲面形狀壁面214可抑制熱應力對反應容器210的損傷及 變形。
圖14表示變形低減機構的其它實施形態，圖14(A)為玻璃母材制 造裝置200的斜視圖，圖14(B)表示玻璃母材制造裝置200的平面圖， 圖14(C)表示圖14(A)從箭頭A的方向所見滑動(slide)板部216放大的 斷面；圖14的玻璃母材制造裝置200在反應容器210以外之處，其 構成與圖4所示的玻璃母材制裝置200相同，所以在圖14中，玻璃 母材制造裝置200的反應容器210，堆積體10，噴燃器(burner)22， 變形低減機構外的構成結構為簡化說明而加以省略，同樣為簡化說明 也將噴燃器(bumer)22加以簡示。
反應容器210，具有將反應容器210的一部分壁面重復成為可滑 動(slide)的滑動(slide)板部216的變形低減機構，反應容器210具有繞 反應容器210周圍一周的滑動板部216，滑動板部216可使反應容器 210的一部分壁面重復成可滑動，以使反應容器內由熱循環(heat cycle) 發生的熱應力由壁面的滑動加以分散而不集積，因此可抑制反應容器210的損傷及變形。 第一實施例
使用具有圖11所示的彎曲結構部的玻璃母材制造裝置200,制 造堆積體10;準備以軸向氣相沉積法VAD(vapor phase axial deposition) 法制造的長500mm，外徑25mm的出發母材2以夾盤(chuck)12把持 出發母材2;對噴燃器(bumer)22A 22k，供給Sicl4:10Liter/min， O2:100Liter/min， H2:200Liter/min的原料瓦斯，助燃瓦斯，及燃料瓦 斯；出發母材2以10rpm旋轉，而沿出發母材2的長軸方向，噴燃器 (burner)22A 22K以50mm/min往返移動，以使玻璃微粒子堆積在出 發母材2;由上述的玻璃微粒子堆積工藝而得外徑150mm的堆積體 10。
玻璃微粒子在出發母材2堆積期間，反應容器210內的溫度在 8(TC 31(TC間變化，堆積終了時，反應容器210內的溫度下降到30 °C，此堆積工藝重復100次；反應容器210內，由熱應力對反應容器 210的變形控制在lmm，反應容器210并未因熱應力發生龜裂；又制 造出來的堆積體10中，并無任何因反應容器210的損傷及龜裂而混 入的不純微粒子，因此所制造堆積體10中，也無因混入不純微粒子 而引起的空孔狀缺陷。
第二實施例
使用具有圖12所示的變形限制部212玻璃母材制造裝置200， 以制造堆積體10，變形低減機構用變形限制部212以外，以與第一 實施例相同的條件制造外徑150mm的堆積體10。玻璃微粒子在出發母材2堆積期間，反應容器210內的溫度在 8(TC 31(TC間變化，堆積終了時，反應容器210內的溫度下降到30 °C;此堆積工藝重復120次；反應容器210內，因熱應力對反應器 210的變形控制在lmm，反應容器210并未因熱應力發生龜裂，又制 造的堆積體10中，并無任何因反應容器210的捐傷及龜裂而混入不 純微粒子，因此所制造堆積體10中，也無因混入不純微粒子而引起 的空孔狀缺陷。
第三實施例
使用具有圖13所示的曲面形狀壁面214的玻璃母材制造裝置200 以制造堆積體10，變形低減機構用曲面形狀壁面214夕卜，與第一實 施例相同的條件制造外徑150mm的堆積體10。
玻璃微粒子在出發母材2堆積期間，反應容器210內的溫度在 8(TC 310。C間變化，堆積終了時，反應容器210內溫度下降到3(TC; 此堆積工藝重復120次；反應容器210內，由熱應力對反應容器210 的變形，控制在lmm，反應容器210并未因熱應力發生龜裂，又制 造的堆積體10中，并無任何因反應容器210的損傷及龜裂而混入不 純微粒子，因此所制造的堆積體10中，也無因混入不純微粒子而引 起空孔狀缺陷。
第四實施例
使用具有圖14所示的滑動板部126的玻璃母材制造裝置200， 以制造堆積體10;徐變形低減機構使用滑動板部126以外，以與第 一實施例相同的條件制造外徑150mm的堆積體10。在出發母材2堆積玻璃微粒子期間反應容器210內的溫度在80 X: 31(TC間變化，堆積終了時的反應容器210內溫度下降到30°C; 此堆積工藝重復130次；反應容器210內，由熱應力對反應容器210 的變形，控制在lmm，反應容器210并未因熱應力而發生龜裂，又 制造的堆積體10中，并無任何因反應容器210的損傷及龜裂而混入 不純微粒子，因此所制造的堆體10中，也無因混入不純微粒子而引 起的空孔狀缺陷。
第五實施例
使用具有圖13所示的曲面形狀壁面214的玻璃母材制造裝置 200，以制造堆積體10，除變形低減機構使用曲面形狀壁面214以外， 以與第一實施例相同條件制造外徑150mm的堆積體10。
在出發母材2堆積玻璃微粒子期間，反應容器210內的溫度在 8(TC 31(TC間變化，堆積終了時的反應容器210內的溫度下降到30 °C;此堆積工藝重復170次；反應容器210內的熱應力對反應容器 210的變形，控制在lmm;反應容器210并未因熱應力而發生龜裂， 又制造的堆積體10中，并無任何因反應容器210的損傷及龜裂而混 入不純微粒子，因此所制的堆積體10中，也無因混入不純微粒子而 引起的空孔狀缺點。
第一比較例
使用無如圖 11 圖14所示的變形低減機構的公知玻璃母材制造 裝置以制造堆積體10;除無變形低減機構以外，以與第一實施例相 等的條件制造外徑150mm的堆積餅10。在出發母材2堆積玻璃微粒子期間，反應容器210內的溫度在 80'C 31(TC間變化，堆積終了時的反應容器210內的溫度下降到30 °C，此堆積工藝重復40次；反應容器210內的熱應力對反應容器210 的變形達到25mm;又反應容器有五處因熱應力而發生龜裂，并且所 制造的堆積體10中，發生多數因反應容器210的損傷及龜裂而混入 不純微粒子所引起空孔狀陷，因此所制造的堆積體10，成為無法使 用的產品。
如以上說明，設變形低減機構，則可減少熱應力對反應容器210 變形、龜裂及損傷；因此可防止因反應容器210的變形，龜裂，及損 傷而不純微粒子混入堆積體所生的空孔狀缺陷；并且可延長玻璃母材 制造裝置200的維修或更新間隔，可以制造低成本及高品質的玻璃母 材。
圖15為玻璃母材制造裝置200的把持具的一實施形態的斜視圖， 圖16表示圖15所示把持具310的一部分平面；玻璃母材制造裝置具 有將堆積體10把持移送到反應容器210的外面的把持具310，把持 具要具有把持堆積體兩端的圖錐部306的裝置。
例如圖15所示實施例態，把持具310具備可從上下方向夾圓錐 部306以便保持著圓錐部306的三支夾鉗(clamp)314a 314c，該夾鉗 (clamp)314a 314c以互相的連結軸316為中心旋轉從圓錐部306的上 下方向加以夾持，例如夾鉗(clamp)314c，將圓錐部306從上向下壓著， 而夾鉗(clamp)314a 314b則將圓錐部306從下向上壓著。
又該夾鉗(clamp)314a 314c裝設在具有旋轉軸的桿柄(arm)318先端，桿柄(arm)的水平方向的移動，可帶動把持堆積體10的夾鉗 (clamp)314a 314c也在水平方向移動，因此可將堆積體10向反應容 器210的外面移送。
并且夾鉗(clamp)314a 314c實質上要具有如圖16所示圓錐部306 的一部分傾斜320的角度相同的凹部312a 312c;凹部312a 312c如 圖15所示為一種彎曲溝，又凹部312a 312c,在實質上也可為V字型 的溝；因夾鉗(clamp)314a 314c ，有凹部312a 312c可確實的把持圓 錐部306。
因把持具310有把持圓錐部306的裝置，用把持具310夾持堆積 體10移送時，可防止堆積體損傷或破損。
例如，公知的把持具移送堆積體10時，把持出發母材2的兩端， 當把持外徑細小的出發母材2舉起時，出發母材2因堆積體的重量而 龜裂，使堆積體10落下損壞； 一方面，如以把持具把持較大外徑及 強度的堆積體10的圓柱部304時，會使堆積體10內部的多孔毀壞及 堆積體10的表面損傷，此堆積體10的表面損傷及毀壞的多孔使在堆 積體10經透明玻璃化所形成的玻璃母材殘存凹凸或氣泡，此殘存在 玻璃母材的凹凸或氣泡需要加以去除，而因去除凹凸或氣泡的工藝使
制造玻璃母材的材料利用率低降。<formula>formula see original document page 52</formula>
因此本實施態的把持具310具備把持堆積體10的圓錐部306的 裝置，把持具310由于把持堆積體10的圓錐部306，所以在不損傷堆積體10的圓柱部304之下可將堆積體10移送；并且圓錐部306比 出發母材2有較大的外徑及強度的關系，由把持圓錐部306，可防止 堆積體10的落下破損。
圖17表示把持具310的其它實施形態；此把持具310比圖15的 把持具310構成更增設調整夾鉗(clamp)314a 314c在堆積體10的軸 方向位的機構。
調整夾鉗(clamp)314a 314b位置的機構包括支持住夾鉗 (clamp)314a 314c的桿柄(arm)318及將桿柄(arm)在堆積體10的軸方 向移動的螺合軸330;螺合軸330貫通桿柄(arm)318，而與桿柄 (arm)318螺合，并且螺軸330連接電動馬達336，由電動馬達336旋 轉螺合軸330可將桿柄(arm)318在堆積體10的軸方向移動，又位置 調整機構具有與螺合軸330平行的貫穿桿柄(arm)的導向(guide)軸。
由以上圖17的構成，配合堆積體10的長度，以電動馬達336旋 轉螺合軸330，使桿柄(arm)318在堆積體10的軸方向移動到適當位 置，再把持圓錐部306。
圖18表示把持具310的其它實施形態，此把持具310比圖15的 把持具310構成更增設在實質上能以一的壓力把持圓錐部306的把持 壓力調整器；例如在圖18的把持壓力調整器為在夾鉗 (clamp)314a 314c與圓錐體306的接觸面所形成的彈性體324a 324c; 介由在夾鉗(clamp)314a 314c與圓錐部306的接觸面所形成的彈性體 324a 324c，在圓錐部306具有凹凸的情形下，也能確實的把持圓錐 部306。圖19表示把持具310的其它實施形態；把持具310具有可夾圓 錐部306而加以保持的夾鉗(clamp)314a及314c ，而夾鉗(clamp)314a 及314c具備凹部312a(未圖標)及312c;并且把持具310，具有把持 角度調整部322a及322c，以便調整夾鉗(clamp)314a及314b的凹部 312a及312c的角度，在實質上使與圓錐部306的一部分傾斜320的 角度相同；所以把持具310配有把持角度調整部322a及322c的關系 可確實地把持圓錐部306，把持角度調整部322a及322c也可各用電 動馬達旋轉夾鉗(clamp)314a及314c。
如要把持以虛線所示外徑較大的堆積體10時，把持角度調整部 322a及322c，向箭頭所示方向旋轉夾鉗(clamp)314a及314c;此時把 持角度調整部322a及322c旋轉夾鉗(clamp)314a及314c，使凹部312a 及312c的角度在實質上與圓錐部306的傾斜320角度相同，因此雖 然堆積體10的外徑相異，只要把持角度調整部322a及322c旋轉夾 鉗(clamp)314a及314c，可使把持具310能確實地把持圓錐部306。
圖20表示把持具310的其它一種實施形態；圖20的把持壓力調 整器裝配有可按照圓錐部306的曲面而伸縮的多個的柱狀體326a及 326c，該多個柱狀體326a及326c，各設置在其對應的夾鉗(clamp)314a 及314c;柱狀體326a及326c的先端，為顧及不損傷堆積體10的表 面，在其先端形成圓形狀的先端部328a及328c;因多個柱狀體326a 及326c的先端部328a及328c可按照圓錐部306的曲面而上下伸縮 的關系，能以均一的壓力把持圓錐部306。
實施例以玻璃母材制造裝置200制造的堆積體10，用圖15所示的把持 具310移送到玻璃母材制造裝置200的外面。
在反應容器210內，以夾盤(chuck)12把持出發母材2的兩端； 旋轉出發母材2，在出發母材2的外周堆積玻璃微粒子，以制造中央 有圓柱部304兩端為圓錐部306的堆積體10;堆積體10的制造終了 后，啟開反應容器210的開閉窗308。
其次將桿柄(arm)318伸入反應容器210的內部，使兩個把持具 310從開閉窗308插入反應容器210內，各把持具310把持各對應的 堆積體10兩端的圓錐部306，各把持具310，將夾鉗((clamp)314a 314c 的凹部312a 312c以嵌入圓錐部306的方式夾住圓錐部306;因此堆 積體IO由把持具310所支持住，然后松解夾盤(chuck)12，使出發母 材2從夾盤(chuck)12脫離，再收縮桿柄(arm)318將堆積體10從反應 容器210取出。
裝設桿柄(arm)的臺車，為堆積體10的透明玻璃化而移動到燒結 裝置；由旋轉或伸縮桿柄(arm)318，將堆積體10設置在燒結裝置的 所定位置；另外堆積體10從反應容器210取出后，也可將堆積體IO 搭載于把持具310同樣有凹部312a 312c的臺車移送。
依照以上的順序，使用把持具310，移送全長1500mm，重量100kg 的堆積體IO， 100支；全部堆積體10的圓柱部304均無損傷，并且 此100支堆積體10，經燒結透明化后，所有的堆積體10的圓柱部304 也均無表面損傷及內部氣泡。
比較例移送全長1500mm，重量100kg的堆積體10， 50支，用公知的 把持具；把持堆積體10的圓柱部304移送，經燒結移送的堆積體10 的結果，燒結所得的50支玻璃母材中，45支玻璃母材的圓柱部304 的表面有損傷，又全部的50支玻璃母材的圓柱部304的內部有氣泡 殘留。
所以由圖15 圖20所示的把持具310移送堆積體10時，堆積體 10的圓柱部304不受損傷。
并且以上說明用把持具310將堆積體10在水平方向送的例；但 堆積體10的移送方向并不限定于水平方向，堆積體10的長軸方向也 可從水平方向旋轉成為垂直方向，并以垂直的狀態移送。
以上將本發明以實施形態加以說明，本發明的技術范圍并不限定 上述實施形態所述的范圍；上述實施形態，可加以多種變更或改良， 此種加以變更或改良的形態，也屬于本發明的技術范圍，當可從權利 要求的敘述加以明了。
產業上的利用可能性
由本發明的玻璃母材制造裝置及玻璃母材制造方法，可制造在玻 璃母材的長軸方向所堆積的玻璃微粒子的堆積量具有均一性的玻璃 母材。
權利要求
1.一種玻璃母材制造裝置，該玻璃母材是用來制造光纖材料，其特征是，該裝置包括多個噴燃器沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔配成一列，該玻璃母材制造裝置的該多個噴燃器沿該出發母材的長軸方向，在該出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在該出發母材堆積玻璃微粒子，以形成該玻璃母材的母材堆積體；多個流量調節器該多個噴燃器各別至少連結一個該流量調節器，以調節供給該噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯的流量；多個控制部各別連結在該流量調節器，以個別控制該多個流量調節器；該控制部具有第一及第二控制手段第一控制手段控制該多個流量調節器，以供給該多個噴燃器該原料瓦斯的基本的流量；第二控制手段對該基本的流量并按照該多個噴燃器各算出的供給該噴燃器的原料瓦斯的流量的補償值，以控制該多個流量調節器，該第二控制手段是按照該多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃母材的堆積比，算出的該多個流量調節器各別的該補償值，且該第一控制手段以供給該噴燃器的該原料瓦斯的流量隨時間的經過而變化的方式，加以控制該流量調節器。
2. 如權利要求1所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該第二控 制手段是對應該多個噴燃器各別的位置，按照第一玻璃母材堆積比和 第二玻璃母材堆積比的比率以調整該多個流量調節器各別的該補償值為特征；所謂第一母材堆積比為以該第一控制手段控制該流量調節器所 形成的該堆積體，經透明玻璃化的玻璃母材堆積比，第二母材堆積比 為由該第一控制手段及第二控制手段以控制該流量調節器所形成的 該堆積體，經透明玻璃化的玻璃母材堆積比。
3. 如權利要求1所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，對一個該 噴燃器連接多個該流量調節器為特征。
4. 如權利要求3所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該多個流 量調節器各別控制相異種類的原料瓦斯的流量為特征。
5. 如權利要求1所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，還包括第 一及第二移動機構；其中第一移動機構將該多個噴燃器沿該出發母材的長軸方向以第一 周期往返移動；第二移動機構將該第一移動機構以比該第一周期較長的第二周 期往返移動。
6. —種玻璃母材制造裝置，該玻璃母材是用來制造光纖材料，其 特征是，該裝置包括-多個噴燃器沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔 配成一列，該玻璃母材制造裝置的該多個噴燃器沿該出發母材的長軸方向，在該出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在該出發母材堆積玻璃微粒子，以形成該玻璃母材的母材堆積體；多個流量調節器該多個噴燃器各別至少連結一個該流量調節器，以調節供給該噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯的流量；多個控制部各別連結在該流量調節器，以個別控制該多個流量調節器；該控制部具有第一及第二控制手段第一控制手段控制該多個流量調節器，以供給該多個噴燃器該 原料瓦斯的基本的流量；第二控制手段對該基本的流量并按照該多個噴燃器各算出的供 給該噴燃器的原料瓦斯的流量的補償值，以控制該多個流量調節器， 該第二控制手段是按照該多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另 外的玻璃母材的堆積比，算出的該多個流量調節器各別的該補償值， 且以對一個該噴燃器連接多個該流量調節器為特征。
7.如權利要求6所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該第二控制手段是對應該多個噴燃器各別的位置，按照第一玻璃母材堆積比和 第二玻璃母材堆積比的比率以調整該多個流量調節器各別的該補償值為特征；所謂第一母材堆積比為以該第一控制手段控制該流量調節器所 形成的該堆積體，經透明玻璃化的玻璃母材堆積比，第二母材堆積比 為由該第一控制手段及第二控制手段以控制該流量調節器所形成的該堆積體，經透明玻璃化的玻璃母材堆積比。
8. 如權利要求6所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該多個流 量調節器各別控制相異種類的原料瓦斯的流量為特征。
9. 如權利要求6所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，還包括第 一及第二移動機構；其中第一移動機構將該多個噴燃器沿該出發母材的長軸方向以第一 周期往返移動；第二移動機構將該第一移動機構以比該第一周期較長的第二周 期往返移動。
10. —種玻璃母材制造裝置，該玻璃母材是用來制造光纖材料，其 特征是，該裝置包括多個噴燃器沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔 配成一列，該玻璃母材制造裝置的該多個噴燃器沿該出發母材的長軸 方向，在該出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在該出發母材堆積玻璃微粒子，以形成該玻璃母材的母材堆積體；多個流量調節器該多個噴燃器各別至少連結一個該流量調節器，以調節供給該噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯的流量；多個控制部各別連結在該流量調節器，以個別控制該多個流量 調節器；反應容器收容該多個噴燃器；變形低減機構減低在制造該玻璃母材時發生的熱量所引起的該 反應容器的變形；該控制部具有第一及第二控制手段第一控制手段控制該多個流量調節器，以供給該多個噴燃器該 原料瓦斯的基本的流量；第二控制手段對該基本的流量并按照該多個噴燃器各算出的供 給該噴燃器的原料瓦斯的流量的補償值，以控制該多個流量調節器， 該第二控制手段是按照該多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另 外的玻璃母材的堆積比，算出的該多個流量調節器各別的該補償值。
11. 如權利要求10所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該變形 低減機構包含在該反應容器所形成的彎曲狀的彎曲結構部為特征。
12. 如權利要求11所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該彎曲 結構部以繞該反應容器一周的方式，形成于該反應容器。
13. 如權利要求10所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該變形 低減機構包含限制該反應容器變形的變形限制部為特征。
14. 如權利要求13所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，在該反應器周圍，以繞該反應容器一周的方式，至少有一個該變形限制部。
15. 如權利要求14所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該變形 限制部的材料，使用碳鋼或不銹鋼為特征。
16. 如權利要求13所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該變形 限制部的材料使用角形鋼管為特征。
17. 如權利要求10所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該反應 容器的該變形低減機構，為連續彎曲狀的壁面。
18. 如權利要求10所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該反應容器以該反應容器壁面的一部分重復滑動的滑動板部為該變形低減 機構。
19. 如權利要求18所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該反應 容器在該反應容器周圍以繞設于該反應容器一周的該滑動板部為該 變形低減機構。
20. —種玻璃母材制造裝置，該玻璃母材是用來制造光纖材料，其特征是，該裝置包括多個噴燃器沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向以所定的間隔 配成一列，該玻璃母材制造裝置的該多個噴燃器沿該出發母材的長軸 方向，在該出發母材全長度的一部分區間往返移動，并在該出發母材堆積玻璃微粒子，以形成該玻璃母材的母材堆積體；多個流量調節器該多個噴燃器各別至少連結一個該流量調節器，以調節供給該噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯的流量；多個控制部各別連結在該流量調節器，以個別控制該多個流量 調節器；把持具把持該堆積體從該玻璃母材制造裝置向外面移送； 該控制部具有第一及第二控制手段-第一控制手段控制該多個流量調節器，以供給該多個噴燃器該 原料瓦斯的基本的流量；第二控制手段對該基本的流量并按照該多個噴燃器各算出的供 給該噴燃器的原料瓦斯的流量的補償值，以控制該多個流量調節器， 該第二控制手段是按照該多個噴燃器實際堆積的經透明玻璃化的另外的玻璃母材的堆積比，算出的該多個流量調節器各別的該補償值， 且該把持具有把持該堆積體兩端圓錐部的裝置。
21. 如權利要求20所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把持 具有與該堆積體的圓錐部的一部分傾斜角度，在實質上相等角度的凹 部。
22. 如權利要求21所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該凹 部為彎曲溝。
23. 如權利要求21所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該凹 部在實質上為V字型溝。
24. 如權利要求21所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持具包含該凹部裝有夾鉗從上下方向以夾住圓錐部，來保持該圓錐部 為特征。
25. 如權利要求24所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，多個 該夾鉗以互相連結該多個夾鉗的軸為中心而旋轉。
26. 如權利要求24所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持具包括夾鉗及把持角度調整部；而該夾鉗包含該凹部以夾住該圓錐 部來保持該圓錐部；把持角度調整部則調整該夾鉗的該凹部角度在實 質上使與圓錐部的一部分傾斜角度相等。
27. 如權利要求26所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持角度調整部以該夾鉗長軸方向為軸，并以該軸為中心加以旋轉該夾 鉗為特征。
28. 如權利要求24所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把持具包括把持壓力調整器使在實質上以均一的壓力把持該圓錐部。
29. 如權利要求28所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持壓力調整器，在該夾鉗與該圓錐部的接觸面形成為彈性體。
30. 如權利要求28所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持壓力調整器系為按照該圓錐部的曲面而伸縮的多個柱狀體。
31. 如權利要求24所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該把 持具裝有在堆積體的軸方向，調整夾鉗位置的調整機構。
32. 如權利要求31所述的玻璃母材制造裝置，其特征是，該夾 鉗位置的調整機構包括桿柄和螺合軸為特征；而該桿柄支持該夾鉗；螺合軸螺合該桿柄，使桿柄在該堆積體的 軸方向移動。
33. —種玻璃母材制造方法，該玻璃母材是光纖原料，其特征是， 該方法包括堆積階段及流量控制階段；該堆積階段沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在 對該出發母材的全體長度的一部分區間往返移動，由該多個噴燃器向 該出發母材噴出玻璃微粒子而在該出發母材堆積玻璃微粒子；該流量控制階段對該多個噴燃器以個別控制供給該多個噴燃器 的該玻璃微粒子的原料瓦斯流量；在該堆積階段并具備玻璃化階段，該玻璃化階段將在該堆積階段 所堆積的該玻璃微粒子堆積體透明玻璃化以生成玻璃母材；該流量控制階段，需按照該玻璃化階段所生成的該玻璃母材的堆 積比，以個別控制該多個噴燃器的該原料瓦斯流量；第一批次的堆積階段，第一批次的玻璃化階段，及補償值算出階 段，其中第一批次的堆積階段在該堆積階段，由供基本流量的該原料瓦斯 給該多個噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子所生成第一批次的堆積體的階段；第一批次的玻璃化階段在該玻璃化階段將該第一批次的堆積體 透明玻璃化以生成第 一批次的玻璃母材；補償值算出階段是按照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批 次的玻璃母材的堆積比，對各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流 量的原料瓦斯流量的補償值；該補償值算出階段，按照該第一批次的玻璃化階段所生成的該第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對該多個噴燃器算出其補償值；第二批次的堆積階段，在該堆積階段的該補償值算出階段，按照 所算出的該補償值對該基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴 燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體；該流量控制階段包括第一批次的控制階段及第二批次的控制階 段；其中第一批次的控制階段在該第一批次的堆積階段，控制該原料瓦斯 流量，以使將該基本流量的原料瓦斯供給該多個噴燃器；第二批次的控制階段在該第二批次的堆積階段，個別控制對該基 本流量的補償值加以補償的該原料瓦斯流量供給各噴燃器。
34.如權利要求33所述的玻璃母材制造方法，其特征是，還包括第二批次的玻璃化階段及其補償值算出階段為特征；其中第二批次的玻璃化階段在玻璃化階段將該第二批次的堆積階段 所生成的該第二批次的堆積體透明玻璃化以生成第二批次的玻璃母 材；補償值算出階段為對應該多個噴燃器的各別位置，按照該第一批 次的玻璃化階段所生成的該第一批次的玻璃母材堆積比與該第二批 次的玻璃化階段所生成的該第二批次的玻璃母材堆積比的比率，個別 對該多個噴燃器算出其補償值。
35. 如權利要求33所述的玻璃母材制造方法，其特征是，還包 括第三批次的堆積階段，第三批次的控制階段，及第三批次的玻璃化 階段為特征；第三批次的堆積階段在該堆積階段的該補償值算出階段以算出 的該補償值，對該基本流量加以補償調整的原料瓦斯個別供給該多個 噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子以生成第三批次的堆積體 的階段；第三批次的控制階段個別控制在該流量控制階段，按照該算出的 該補償值對基本流量加以補償調整的該原料瓦斯流量供給各噴燃器；第三批次的玻璃化階段在該玻璃化階段，將該第三批次的堆積階 段生成的第三批次的堆積體透明玻璃化以生成第三批次的玻璃母材。
36. 如權利要求33、34與35其中之一所述的玻璃母材制造方法， 其特征是，該第一批次的控制階段，使供給該噴燃器的該原料斯流量， 以隨時間的經過而變化的方式，加以控制。
37. 如權利要求33、34與35其中之一所述的玻璃母材制造方法， 其特征是，該第一批次的堆積階段及該第二批次的堆積階段對一個該 噴燃器供給多種的該原料瓦斯；而該第一批次的控制階段及該第二批 次的控制階段，個別控制該多種的各原料瓦斯。
38. 如權利要求33所述的玻璃母材制造方法，其特征是，還包 括把持該玻璃母材的把持階段，該把持階段把持該玻璃母材兩端的圓 錐部。
39. —種玻璃母材制造方法，該玻璃母材是光纖原料，其特征是， 該方法包括堆積階段及流量控制階段；該堆積階段沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在 對該出發母材的全體長度的一部分區間往返移動，由該多個噴燃器向 該出發母材噴出玻璃微粒子而在該出發母材堆積玻璃微粒子；該流量控制階段對該多個噴燃器以個別控制供給該多個噴燃器 的該玻璃微粒子的原料瓦斯流量；在該堆積階段并具備玻璃化階段，該玻璃化階段將在該堆積階段 所堆積的該玻璃微粒子堆積體透明玻璃化以生成玻璃母材；該流量控制階段，需按照該玻璃化階段所生成的該玻璃母材的堆 積比，以個別控制該多個噴燃器的該原料瓦斯流量；第一批次的堆積階段，第一批次的玻璃化階段，及補償值算出階 段，其中第一批次的堆積階段在該堆積階段，由供基本流量的該原料瓦斯 給該多個噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子所生成第一批次的堆積體的階段；第一批次的玻璃化階段在該玻璃化階段將該第一批次的堆積體 透明玻璃化以生成第一批次的玻璃母材；補償值算出階段是按照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批 次的玻璃母材的堆積比，對各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流 量的原料瓦斯流量的補償值；該補償值算出階段，按照該第一批次的玻璃化階段所生成的該第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對該多個噴燃器算出其補償值；第二批次的堆積階段，在該堆積階段的該補償值算出階段，按照 所算出的該補償值對該基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴 燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體；第二批次的玻璃化階段，在玻璃化階段將該第二批次的堆積階段 所生成的該第二批次的堆積體透明玻璃化，以生成第二批次的玻璃母 材；補償值算出階段為對應該多個噴燃器的各別位置，按照該第一批 次的玻璃化階段所生成的該第一批次的玻璃母材堆積比與該第二批 次的玻璃化階段所生成的該第二批次的玻璃母材堆積比的比率，個別 對該多個噴燃器算出其補償值。
40. 如權利要求39所述的玻璃母材制造方法，其特征是，還包 括把持該玻璃母材的把持階段，該把持階段把持該玻璃母材兩端的圓 錐部。
41. 一種玻璃母材制造方法，該玻璃母材是光纖原料，其特征是，該方法包括堆積階段及流量控制階段；該堆積階段沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在 對該出發母材的全體長度的一部分區間往返移動，由該多個噴燃器向 該出發母材噴出玻璃微粒子而在該出發母材堆積玻璃微粒子；該流量控制階段對該多個噴燃器以個別控制供給該多個噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯流量；在該堆積階段并具備玻璃化階段，該玻璃化階段將在該堆積階段 所堆積的該玻璃微粒子堆積體透明玻璃化以生成玻璃母材；該流量控制階段，需按照該玻璃化階段所生成的該玻璃母材的堆 積比，以個別控制該多個噴燃器的該原料瓦斯流量；第一批次的堆積階段，第一批次的玻璃化階段，及補償值算出階 段，其中第一批次的堆積階段在該堆積階段，由供基本流量的該原料瓦斯 給該多個噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子所生成第一批次 的堆積體的階段；第一批次的玻璃化階段在該玻璃化階段將該第一批次的堆積體 透明玻璃化以生成第 一批次的玻璃母材；補償值算出階段是按照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批 次的玻璃母材的堆積比，對各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流 量的原料瓦斯流量的補償值；該補償值算出階段，按照該第一批次的玻璃化階段所生成的該第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對該多個噴燃器算出其補償值；第二批次的堆積階段，在該堆積階段的該補償值算出階段，按照 所算出的該補償值對該基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴 燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體；第三批次的堆積階段，在該堆積階段的該補償值算出階段以算出 的該補償值，對該基本流量加以補償調整的原料瓦斯個別供給該多個 噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子，以生成第三批次的堆積體 的階段；第三批次的控制階段，個別控制在該流量控制階段，按照該算出 的該補償值對基本流量加以補償調整的該原料瓦斯流量供給各噴燃 器；第三批次的玻璃化階段，在該玻璃化階段，將該第三批次的堆積 階段生成的第三批次的堆積體透明玻璃化，以生成第三批次的玻璃母 材。
42. 如權利要求41所述的玻璃母材制造方法，其特征是，還包 括把持該玻璃母材的把持階段，該把持階段把持該玻璃母材兩端的圓 錐部。
43. —種玻璃母材制造方法，該玻璃母材是光纖原料，其特征是， 該方法包括堆積階段，沿該玻璃母材的出發母材的長軸方向，多個噴燃器在 對該出發母材的全體長度的一部分區間往返移動，由該多個噴燃器向 該出發母材噴出玻璃微粒子而在該出發母材堆積玻璃微粒子；流量控制階段，對該多個噴燃器以個別控制供給該多個噴燃器的該玻璃微粒子的原料瓦斯流量；和 把持階段，把持該玻璃母材；在該堆積階段并具備玻璃化階段，該玻璃化階段將在該堆積階段 所堆積的該玻璃微粒子堆積體透明玻璃化以生成玻璃母材；該流量控制階段，需按照該玻璃化階段所生成的該玻璃母材的堆 積比，以個別控制該多個噴燃器的該原料瓦斯流量；第一批次的堆積階段，第一批次的玻璃化階段，及補償值算出階 段，其中第一批次的堆積階段在該堆積階段，由供基本流量的該原料瓦斯 給該多個噴燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子所生成第一批次 的堆積體的階段；第一批次的玻璃化階段在該玻璃化階段將該第一批次的堆積體 透明玻璃化以生成第 一批次的玻璃母材；補償值算出階段是按照第一批次的玻璃化階段所生成的第一批 次的玻璃母材的堆積比，對各噴燃器個別算出供給各噴燃器的基本流 量的原料瓦斯流量的補償值；該補償值算出階段，按照該第一批次的玻璃化階段所生成的該第 一批次的玻璃母材的堆積比個別對該多個噴燃器算出其補償值；第二批次的堆積階段，在該堆積階段的該補償值算出階段，按照 所算出的該補償值對該基本流量加以補償的原料瓦斯流量供給各噴 燃器而在該出發母材堆積該玻璃微粒子，以生成第二批次的堆積體；該把持階段，把持該玻璃母材兩端的圓錐部。
全文摘要
本發明有關于光纖原材料的玻璃母材制造裝置，沿玻璃母材的出發母材的長軸方向，在對出發母材全體長度的一部分區間，以往返而在出發母材堆積玻璃微粒子以形成玻璃母材的母材堆積體；并且本裝置包括沿出發母材的長軸方向，以一定間隔配成一列的多個噴燃器，和多個各噴燃器至少連接一個調節供給噴燃器的玻璃微粒子原料瓦斯流量的流量調節器，以及連接多個各流量調節器，以個別控制多個各流量調節器的控制部等。
文檔編號C03B37/012GK101549950SQ200910135258
公開日2009年10月7日 申請日期2001年7月18日 優先權日2000年7月31日
發明者島田忠克, 平沢秀夫, 畑山和久, 飛坂優二 申請人:信越化學工業株式會社