專利名稱::信息記錄介質基板用素材、信息記錄介質基板、信息記錄介質各自的制造方法
技術領域:
:本發明涉及由玻璃系材料形成的圓盤狀玻璃素材、尤其是信息記錄介質基板用玻璃素材的制造方法、由所述素材來制造信息記錄介質用基板的方法以及使用所述基板來制造信息記錄介質的方法。
背景技術:
:在安裝于個人電腦、攜帶用數碼音頻機器、汽車導航系統等的磁盤等信息記錄介質的基板上,使用了玻璃、結晶化玻璃、鋁等材料。其中,玻璃、結晶化玻璃這樣的玻璃系材料具有耐沖擊性優良且耐熱性比鋁優良的優點。另外,也具備即使減小基板的厚度也能夠得到充分的強度的優點。信息記錄介質用玻璃基板的制法有以下的方法例如如專利文獻1所記載的那樣,對玻璃原料進行加熱、熔融,將所得到的熔融玻璃供應給模壓成形模具進行模壓,而成形為圓盤狀的素材,對該素材進行加工。另外,也有以下的方法代替模壓成形,通過被稱為浮起法的方法將熔融玻璃成形為片狀,對所得到的片狀素材進行加工。例如專利文獻2記載了通過浮起法成形為片狀的情況。另外,專利文獻3記載了片狀素材的加工方法。在信息記錄介質用結晶化玻璃基板的制法中,有以下的方法等例如如專利文獻4所記載的那樣,對熔融玻璃進行模壓成形,對得到的素材實施熱處理并進行結晶化,之后進行加工做成基板。專利文獻1:日本專利文獻特開平10—236831號公報或者參照作為其英語族的US6442975;專利文獻2:日本專利文獻特公平5—50446號公報;專利文獻3:日本專利文獻特開2006—99857號公報;專利文獻4:日本專利文獻特開2001—184624號公報或者參照作為其英語族的US6426311。這里特別公開應用了上述專利文獻14的全部記載。近年來,伴隨著信息記錄介質的小型化,信息記錄介質用基板的薄板化的要求提高了。如上所述當制造一定板厚的基板時,在加工前玻璃素材的厚度也最好是均勻的,因此期望生產板厚沒有偏差的素材。玻璃基板越薄,對板厚的偏差的影響越大。因此,隨著基板的薄板化的進行,期望進一步減小素材的板厚的偏差,使得由素材高精度且效率高地生產基板。為了實現該要求,需要將熔融狀態的玻璃薄薄地伸展為一定的厚度。然而,隨著熔融狀態的玻璃薄薄地伸展,每單位體積的表面積增加,從表面散發的熱量迅速地增加,因此粘性急劇上升,從而難以伸展。當由熔融玻璃使素材成形時,無論是在所述的模壓成形法或浮起法中,均必須使熔融玻璃的流出溫度、模壓成形模具的溫度分布、模壓壓力和時機、液槽(floatbath)的溫度、氣氛的溫度等成形條件恰當化,并維持恰當化的條件,以實現薄板化,然而,即使將上述條件維持為恒定,素材的板厚也有時會變動,隨著板厚變薄,從而無法忽視板厚的變動。但是,對于即使將上述條件維持為恒定素材的板厚也發生變動的原因,不太了解,也沒有研究過。本發明是為了解決上述問題而完成的,其目的在于提供一種用于批量生產恒定的薄板狀的信息記錄介質基板用素材的圓盤狀玻璃素材的制造方法、以及由用所述方法制造出的素材來制造信息記錄介質用基板和信息記錄介質的方法。
發明內容用于解決問題的手段本發明人研究了即使將上述條件維持為恒定素材的板厚也發生變動的原因,結果了解到玻璃素材所包含的紅外線吸收性離子的濃度的變動是素材的板厚變動的一個原因,并且發現通過抑制玻璃素材所包含的紅外線吸收性離子的濃度的變動,能夠解決上述問題,從而完成本發明。本發明如下。一種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟,所述制造方法的特征在于,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,并使得所述多個圓盤狀玻璃素材的板厚的變動為針對1000個玻璃素材,相對于基準值(其中,將所述1000個玻璃素材的板厚的最大值和最小值的中央值作為基準值)處于±15%的范圍內。[2]如[1]所述的制造方法,其中,所述玻璃素材的所述紅外線吸收性離子的含量為0.1100ppm。[3]—種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟,所述制造方法的特征在于,當使由包含0.1100ppm的紅外線吸收性離子的玻璃形成的多個圓盤狀玻璃素材成形時,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,抑制所述多個板狀玻璃素材的板厚的變動。如[1]至[3]中任一項所述的制造方法,其中,所述紅外線吸收性離子為從由Fe、Cu以及Cr構成的組中選出的至少一種金屬離子。如[1]至[4]中任一項所述的制造方法,其中,所述圓盤狀玻璃素材的板厚為0.51.5mm。[6]如[1]至[5]中任一項所述的制造方法,其中,所述熔融玻璃向圓盤狀玻璃素材的成形包括通過對熔融玻璃進行模壓成形來得到圓盤狀玻璃素材的工序。如[1]至[5]中任一項所述的制造方法,其中,所述熔融玻璃向圓盤狀玻璃素材的成形包括通過浮起法從熔融玻璃得到帶狀玻璃素材的工序;以及對所述帶狀玻璃素材進行機械加工來得到圓盤狀玻璃素材的工序。[8]如[1]至[7]中任一項所述的制造方法,其中,還對所述玻璃素材進行熱處理,而成為由結晶化玻璃形成的玻璃素材。如[1]至[8]中任一項所述的制造方法,其中,所述圓盤狀玻璃素材是信息記錄介質基板用素材。[IO]—種信息記錄介質用玻璃基板的制造方法,其特征在于,在通過[1][8]中任一項所述的方法得到的圓盤狀玻璃素材的中心開孔,通過進行內外周加工、主表面的磨削、研磨,來得到信息記錄介質用玻璃基板。一種信息記錄介質的制造方法,包括在通過[10]所述的方法得到的玻璃基板上形成信息記錄層的步驟。發明的效果根據本發明,能夠提供用于批量生產恒定的薄板狀的信息記錄介質基板用素材的能夠用作信息記錄介質基板用素材的圓盤狀玻璃素材的制造方法、從由上述方法制造出的素材制造信息記錄介質用基板以及信息記錄介質的方法。具體實施例方式本發明是包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟的圓盤狀玻璃素材的制造方法。在包含從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的圓盤狀玻璃素材的制造方法中,可以原樣地利用上述專利文獻12所記載的模壓成形法或浮起法。例如,模壓成形法是以專利文獻1所記載的方法為代表的、在供應熔融玻璃的下模具與面對該下模具的上模具之間進行模壓成形而得到圓盤狀玻璃的方法。在該方法中,通過保持為預定的溫度的下模具和上模具來進行模壓成形,而得到圓盤狀玻璃。當圓盤狀玻璃的內部處于比玻璃轉移點高的溫度狀態時,從所述圓盤狀玻璃脫去上模具,結束模壓成形。接著,可以實施修正通過模壓成形而成形的圓盤狀玻璃的彎曲的工序。優選在圓盤狀玻璃的內部處于比玻璃轉移點高的溫度狀態時結束修正彎曲的工序。優選從縮短模壓時間的觀點出發,優選模壓成形、修正彎曲模壓在比玻璃的軟化點高的時間結束。并且,優選修正彎曲的玻璃的溫度比模壓成形的溫度低。這樣,在比玻璃轉移點、玻璃軟化點高的溫度結束各模壓,因此成形模壓結束時的玻璃成為脫模后也基本維持與模具的成形面相對應的形狀且通過外力也能夠發生微小變形的狀態。各模壓所用的時間優選小于等于2秒,更優選小于等于1.8秒。另外,所謂上述的玻璃內部是指被散熱顯著的玻璃的表層部覆蓋的玻璃的主要部分。該玻璃內部的溫度對形狀維持性、形狀變形性施加影響。另外,浮起法是以專利文獻2所記載的方法為代表的、將通過加熱而澄清的熔融玻璃供應給液槽,并成形為預定厚度的帶狀的玻璃素材(玻璃帶)的方法。在成形為帶狀的玻璃素材之后,對帶狀的玻璃素材進行機械加工,成為圓盤狀玻璃素材。機械加工具體地說是銑削(milling)、磨削以及研磨,通過用于這些工序,能夠得到圓盤狀玻璃素材。在本發明中,使帶狀玻璃的厚度恒定,由帶狀玻璃切出圓盤。在本發明中,圓盤狀玻璃素材是用于以磁盤用玻璃基板為代表的基板的圓盤狀玻璃素材。例如,代表性的是具有以下的尺寸板厚為0.52mm,優選的是0.51.5mm,直徑或長度小于等于15cm。這樣得到的圓盤狀玻璃素材還經過開中心孔、外周加工、主表面的磨削、研磨等各工序而成為盤狀。本發明的背景具有的現象如下。關注熔融玻璃的中心部,通過(1)熱輻射的放出(2)熱傳導(3)對流(幾乎可以忽視)來散熱,由此進行中心部的冷卻。其中,當關注(1)時,紅外線吸收性離子的吸收波長域與熱輻射的波長域重復,因此從中心部放射的熱輻射的一部分被中心部靠外側的玻璃中所包含的紅外線吸收性離子吸收掉。這樣一來,外側的玻璃吸收了熱輻射,接收了熱量,作為玻璃整體,熱量難以散發到外部,在流出后,玻璃的粘度的上升速度變小。上述離子的濃度越高,玻璃的粘度的上升速度越小,因此即使在恒定的條件下成形,玻璃也容易薄薄地伸展,因此板厚減少。這樣,本發明是不像熱處理那樣在玻璃外部具有熱源、而著眼于玻璃自己吸收自己放出的熱輻射的現象的發明。本發明的其他方式如下的圓盤狀玻璃素材的制造方法一種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟,該制造方法的特征在于,當使由包含0.1100ppm的紅外線吸收性離子的玻璃形成的多個圓盤狀玻璃素材成形時,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,抑制所述多個板狀玻璃素材的板厚的變動。本發明的其他方式中的、包括使多個圓盤狀玻璃素材依次成形的圓盤狀玻璃素材的制造方法可以原樣地應用上述說明的模壓成形的情況和浮起法中使用機械加工的情況。在本發明的方法中,抑制成形為圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,使得所述多個圓盤狀的玻璃素材的板厚的變動針對1000個玻璃素材成為相對于基準值±15%的范圍。其中,將所述1000個玻璃素材的板厚的最大值和最小值的中央值作為基準值。針對1000個玻璃素材,計算出板厚的變動,基于該值來抑制熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,由此能夠良好地抑制圓盤狀玻璃素材的板厚的變動。多個圓盤狀的玻璃素材的板厚的變動意味著使得針對1000個玻璃素材成為相對于基準值±15%的范圍內。并且,上述板厚的變動優選在士12%的范圍內,再優選在±10%的范圍內,更優選在±8%的范圍內,進一步優選在±6。/^的范圍內。從生產效率的觀點出發,優選抑制多個圓盤狀的玻璃素材的板厚的變動,即針對1000個玻璃素材,相對于基準值在士15%的范圍內,優選在士12。^的范圍內,再優選在±10%的范圍內,更優選在±8%的范圍內,進一步優選在±6%的范圍內。1000個玻璃素材可以是從連續生產的玻璃素材中以恰當的間隔被抽樣選出的。"恰當的間隔"可以根據玻璃素材的生產規模或一批次原料的容量而恰當確定。一批次原料的容量可以成為對熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動施加影響的一個主要因素。例如,可以對10100,000個、優選的是10010,ooo個抽取一個玻璃素材。紅外線吸收性離子例如可以是從由Fe、Cu以及Cr構成的組中選出的至少一種金屬離子。玻璃素材在作為紅外線吸收性離子而包含多種離子時可以調整含量最多的離子的濃度的變動。另外,玻璃素材在作為所述紅外線吸收性離子而包含多種離子時也可以調整含量多的兩種或三種離子的濃度的變動。在玻璃素材中,紅外線吸收性離子的含量為0.1100ppm。所謂紅外線吸收性離子的含量意味著針對紅外線吸收性離子的每個的含量。但是,在包含了多種紅外線吸收性金屬離子的情況下,作為管理對象的紅外線吸收性金屬離子可以如下地確定。即,在包含了多種紅外線吸收性金屬離子的情況下,將包含得最多的離子作為離子A。如果將離子A的量作為Ma(%),則也可以將含量小于0.1XMa(%)的紅外線吸收性金屬離子B從管理對象中去除。其理由如下離子B的變動量小于離子A的絕對量,可以忽略離子B量的變動。以下說明抑制熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動。通過對玻璃原料進行加熱、熔融來調制熔融玻璃,但是可以通過調整玻璃原料所包含的紅外線吸收性離子的濃度來抑制熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動。另外,這里的紅外線吸收性離子是作為雜質而不可避免地包含在玻璃原料中,而不是以某種目的作為添加劑被添加的。說到底是指調整作為雜質而含有的紅外線吸收性離子的濃度。因此,玻璃素材所包含的紅外線吸收性離子的量如上所述限定為0.1100ppm。當紅外線吸收性離子的含量小于O.lppm時,通過抑制紅外線吸收性離子的濃度的經時變動而得到的本發明的效果幾乎沒有,當紅外線吸收性離子的含量超過100ppm時,通常根據市場供應的玻璃原料的純度不太實用。通過使用紅外線吸收性離子的濃度為預定范圍的原料,能夠調整玻璃原料所包含的紅外線吸收性離子的濃度。紅外線吸收性離子的濃度為預定范圍的原料可以通過向原料制造商指定各原料中的紅外線吸收性離子量來得到。該方法是能夠最容易將素材中所包含的紅外線吸收性離子量管理為一定的方法。以下,離子量通過換算成氧化物的量來表示。例如,作為硅石原料中的雜質量,以Fe離子量(換算成Fe203)1020ppm、其他的紅外線吸收性離子量小于lppm的規格從原料制造商獲得硅石原料。這樣,通過作為雜質而包含的紅外線吸收性離子中僅對Fe離子量放松限制,能夠僅將Fe離子集中作為管理對象。對于礬土原料或蘇打原料等除硅石原料以外的原料,可以以同樣的規格獲得原料。通過使用與這樣的規格一致的原料,能夠將Fe離子以外的離子排除在管理對象以外,并且能夠將Fe離子量的變動量收進±50%以內,能夠批量生產直徑在66.066.4mm的范圍內、板厚在1.151.22的范圍內的素材。這樣,能夠將板厚的變動幅度除以板厚變動的中央值(基準值)得到的值收進6%以內。另外,如果除了Fe離子以外,也對Cr離子量放松限制,則能夠進一步降低原料成本。例如,即使使用Fe離子量保持為上述例子的量、Cr離子量為58ppm的范圍內的原料,也能夠將Fe、Cr兩離子的量的變動量收進±50%以內,能夠批量生產直徑在66.066.4mm的范圍內、板厚在1.151.22的范圍內的素材。這樣,能夠將板厚的變動幅度除以板厚變動的中央值(基準值)得到的值收進6%以內。另外,也可以通過以下方式來調整玻璃原料所包含的紅外線吸收性離子的濃度針對各批次測定玻璃原料中所包含的紅外線吸收性金屬離子量,基于測定結果來混合所述批次,以使紅外線吸收性離子的濃度成為預定范圍,并調制混合批次。對于玻璃原料中所包含的紅外線吸收性金屬離子量,即使是預定的規格的原料,每個批次有時也會產生變動。在這樣的情況下,可以針對各個批次測定紅外線吸收性金屬離子量,基于測定結果來混合所述批次,以使紅外線吸收性離子的濃度成為預定范圍,并調制混合批次。對于各批次紅外線吸收性金屬離子量的測定結果也可以是原料制造商對各批次的分析結果。以下詳細敘述預先測定玻璃原料中所包含的紅外線吸收性金屬離子量、并制造混合批次的方法。逐批次地定量分析原料中所包含的紅外線吸收性離子量。如果各批次Fe離子量均大于等于10ppm、除Fe和Cr以外的各紅外線吸收性離子的量小于lppm、Cr離子量既有小于lppm的批次也有大于等于lppm的批次,則可以管理原料中的Fe、Cr的量。由于玻璃中所導入的Fe、Cr的各離子量的變動原因是每個批次的原料作為雜質而包含的Fe、Cr的各離子量不均勻,因此通過混合多個批次,能夠減小各離子量的變動幅度。例如,對于硅石原料,準備四個批次,測定了離子量一看,在批次一中,Fe離子量為10ppm且Cr離子量為2ppm,在批次二中,Fe離子量為20ppm且Cr離子量為7ppm,在批次三中,Fe離子量為12ppm且Cr離子量為6ppm,在批次四中,Fe離子量為18ppm且Cr離子量為5ppm。如果各個批次的重量相等,每一個批次與磯土原料等其他原料調合,僅關注硅石原料,則Fe離子量的變動為1020ppm,Cr離子量的變動為27ppm。下面,如果將批次一和批次二混合成為混合批次一,將批次三和批次四混合成為混合批次二,則Fe離子量的變動幅度為Oppm,Cr離子量的變動為4.55.5ppm,通過對批次進行混合,能夠減小變動幅度。通過使這樣混合的批次的數n大于等于2,能夠使所述離子量的變動幅度接近于0。從這樣的觀點出發,優選大于等于3。上述例子涉及到硅石原料,但是對于礬土原料、蘇打原料、氧化鋯原料等其他原料也是同樣的。用這樣使用的各原料進行上述操作,由此能夠降低導入到素材中的紅外線吸收性金屬離子量的變動幅度,降低素材的板厚變動幅度。另外,也可以通過以下方式來調整原料所包含的紅外線吸收性離子的濃度,§卩經時地測量多個圓盤狀玻璃素材的一部分或全部的板厚和/或直徑,基于測量結果來選擇用于調制所述熔融玻璃的玻璃原料,以使熔融玻璃的紅外線吸收性離子的濃度成為預定范圍。此時,用于調制熔融玻璃的玻璃原料可以是紅外線吸收性離子的濃度為預定范圍的原料,或者可以是通過以下方式調制成的混合批次針對各個批次測定玻璃原料中所包含的紅外線吸收性金屬離子量,基于測定結果來混合所述批次,以使紅外線吸收性離子的濃度成為預定范圍。在監測素材的板厚或直徑,基于監測結果來選擇玻璃原料的方法中,采集以下數據素材的板厚根據紅外線吸收性金屬離子量如何地變化或者板厚通過預先用所述離子量不同的玻璃進行成形而如何地變化。對于玻璃的熔融,將調合了的原料投入到熔解槽中,進行加熱、熔解,將所得到的熔融玻璃送往澄清槽進行澄清,將澄清后的熔融玻璃送往作業槽,進行攪拌均勻化后流出。將流出的熔融玻璃成形為素材,測定剛剛成形后的素材的板厚,當板厚顯示出減少的傾向時,判斷為原料中的紅外線吸收性離子量多,將投入到熔解槽中的原料變換為所述離子量少的原料。由上述工序可知,投入的原料在變為熔融玻璃流出之前需要時間,但是通過基于板厚的監測結果來選擇投入到熔解槽中的原料,能夠在板厚比基準范圍變薄之前停止板厚的減少傾向,并進行反饋,以使板厚變為基準范圍的中央值。在上述作業中,可以參考關于事先得到的原料中和素材中所包含的紅外線吸收性離子量與板厚的變化的數據。在模壓成形中,從流出的熔融玻璃流中切斷、分離出相當于一個素材的熔融玻璃塊,但是也可以通過使熔融玻璃的流出速度和熔融玻璃流的切斷周期成為恒定,在依次得到一定量的熔融玻璃塊之后,代替監測板厚而監測圓盤狀素材的直徑,對玻璃原料的選擇進行反饋。另外,當測定剛剛成形后的素材的板厚或直徑時,優選使用光學式距離傳感器等非接觸式的測定器,以免損傷素材。所述玻璃素材可以為作為玻璃成分包含4085質量%的Si02的玻這里,作為玻璃素材的材質,例如可以列舉出鋁硅酸鹽玻璃、鈉鈣玻璃、堿鋁硅酸鹽玻璃(sodaaluminosilicateglass)、鋁硼硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、石英玻璃、鏈硅酸鹽玻璃、或者結晶化玻璃等玻璃陶瓷等。并且,優選的是使用如下的組成的玻璃。(1)一種結晶化玻璃,當以結晶化玻璃1重量%表示時,含有6087%的Si02、520%的Li20、05%的Na20、010%的K20、總量為0.5腦的Na2。禾口K20、0.57.5%的MgO、09.5%的CaO、015%的SrO、013%的BaO、013%的ZnO、010%的B203、010%的A1203、0.58%的P205、05%的Ti02、03%的Zr02、03%的Sn02、總量為02X的As2O3和Sb203,并且將上述金屬氧化物的一種以上的金屬元素的氟化物作為F的總量而含有05%,根據情況作為著色成分,從V205、CuO、Mn02、Cr203、CoO、Mo03、NiO、Fe203、Te02、Ce02、Pr203、Nd203、Er203的組中選出的至少一種含有05%,作為主結晶而含有焦硅酸鋰、根據情況還含有a—白硅石、ci一石英、一硅酸鋰(y于々厶千乂、乂u^—卜)、e—鋰輝石等,結晶粒子的大小小于等于3.0/mi。(2)—種結晶化玻璃,當以結晶化玻璃2重量%表示時,含有4575X的Si02、430X的CaO、215X的Na20、020%的〖20、07%的A1203、02%的MgO、02%的ZnO、02%的Sn02、01%的Sb203、06%的8203、012X的Zr02、03%的1^20、并且將上述金屬氧化物的一種以上的金屬元素的氟化物作為F的總量而含有312%,根據情況作為著色成分,含有Cr203、0)304等,作為主結晶而含有硅堿鈣石或氟堿鎂閃石化鉀(力P々厶7/P才口!J卜),結晶粒子的大小小于等于1.0/mi。(3)—種玻璃,當以玻璃3重量%表示時,含有6275%的Si02、418%的A1203、015%的Zr02、312%的Li20、313%的Na20。一種化學強化用玻璃,以重量%,含有6275%的Si02、515%的A1203、410%的Li20、412%的Na20以及5.515%的Zr02,且Na20/Zr02的重量比為0.52.0,另外A1203/Zr02的重量比為0.42.5。素材的結晶化也可以對所得到的玻璃素材進一步地進行熱處理,成為由結晶化玻璃形成的玻璃素材。可以在用于得到磁盤的開孔之前或之后進行玻璃素材的結晶化。當對素材進行熱處理而進行結晶化玻璃化時,首先將素材加熱并保持到比結晶化溫度低的溫度,使其分相,之后進一步提高溫度,使結晶相析出。如果加熱使用紅外線加熱器,則加熱效率會根據素材中所包含的紅外線吸收性金屬離子的量而變化。此時,如果各個素材存在所述離子量的不均,則加熱效率會根據素材而變得不均。這樣一來,即使在一定條件下進行結晶化處理,析出的結晶相的大小或數量也會產生不均。結晶化玻璃的以機械性質為首的各個性質根據結晶相的大小、密度而變化,因此生產的基板的性質會產生不均,從而需要避免這樣的情況。根據本發明,能夠減小素材間的紅外線吸收性金屬離子量的不均,因此能夠使結晶化處理時的加熱效率在素材之間變得穩定。結果,能夠制造具有穩定的性質的結晶化玻璃制基板。上述圓盤狀的玻璃素材也可以為信息記錄介質基板用素材。當根據信息記錄介質基板用素材來制造信息記錄介質基板時,如上所述,可以得到以下的圓盤通過對上述得到的圓盤狀玻璃素材實施開中心孔、外周加工、主表面的磨削、研磨各工序,能夠用作信息記錄介質基板。以提高耐沖擊性或耐振動性等為目的,可以對這樣的玻璃基板(圓盤)的表面通過低溫離子交換法實施化學強化處理。這里,作為化學強化方法,如果是公知的化學強化法,則沒有特別限制,例如從玻璃轉移點的觀點出發,優選在不超過轉移溫度的區域下進行離子交換的低溫型化學強化等。作為用于化學強化的堿熔融鹽,可以列舉出硝酸鉀、硝酸鈉或者將它們混合的硝酸鹽等。另外,也可以使用上述信息記錄介質基板來制造信息記錄介質。當信息記錄介質為磁記錄介質時,可以通過在上述信息記錄介質用玻璃基板上依次層積底層、磁性層、保護層、潤滑層,來構成磁記錄介質。作為底層,例如可以列舉出由從Cr、Mo、Ta、Ti、W、V、B、Al等非磁性金屬選出的至少一種以上的材料形成的底層等。當為以Co為主要成分的磁性層時,從提高磁特性等的觀點出發,優選為Cr單體或Cr合金。另外,底層不限于單層,也可以為層積了相同或不同的層的多層構造。例如,可以列舉出Cr/Cr、Cr/CrMo、Cr/CrV、CrV/CrV、Al/Cr/CrMo、Al/Cr/Cr、Al/Cr/CrV、Al/CrV/CrV等多層底層等。作為磁性層,例如可以列舉出以Co為主要成分的CoPt、CoCr、CoNi、CoNiCr、CoCrTa、CoPtCr、CoNiPt或CoNiCrPt、CoNiCrTa、CoCrTaPt、CoCrPtSiO等磁性薄膜。磁性層也可以為通過非磁性膜(例如Cr、CrMo、CrV等)分割磁性膜以降低干擾的多層構成(例如為CoPtCr/CrMo/CoPtCr、CoCrTaPt/CrMo/CoCrTaPt等)。作為對應于磁阻頭(MR頭)或大型磁阻頭(GMR頭)的磁性層,也可以包含使Co系合金含有從Y、Si、稀土類元素、Hf、Ge、Sn、Zn中選出的雜質元素或這些雜質元素的氧化物而成的物質。另外,作為磁性層,除了上述以外,也可以是鐵氧體系、鐵一稀土類系或者Fe、Co、FeCo、CoNiPt等磁性粒子分散在由Si02、BN等形成的非磁性膜中而成的顆粒構造等。另夕卜,磁性層也可以是內面型、垂直型等某種記錄形式。作為保護層,例如可以列舉出Cr膜、Cr合金膜、碳膜、氧化鋯膜、硅石膜。這些保護層可以與底層、磁性層等一起通過串排型濺射裝置來連續形成。另外,這些保護層既可以為單層,或者也可以為由相同或不同的膜形成的多層結構。另外,也可以在上述保護層上形成其他的保護層,或者代替上述保護層而形成其他的保護層。例如,也可以代替上述保護層,而將膠態硅石微粒子分散在由乙醇系的溶劑稀釋的四烷氧基硅垸中,并將分散液涂布在Cr膜上,進而對其進行烘烤,從而形成氧化硅(Si02)膜。潤滑層例如如下地形成由氟利昂系等溶劑稀釋作為液體潤滑劑的全氟聚醚(PFPE),通過浸漬法、旋涂法、噴涂法將稀釋液涂布在介質表面,并根據需要進行加熱處理,從而形成潤滑層。實施例以下,通過實施例來進一步詳細說明本發明。(實施例1)當要得到硅石原料、礬土原料、硼酸原料、以及其他原料等與導入到玻璃中的成分的氧化物、碳酸鹽、硝酸鹽等相對應的各原料時,以各原料中所包含的Fe離子量(換算為Fe203)為1020ppm、其他的紅外線吸收性離子小于lppm的規格向原料制造商訂貨而得到原料。為了確認,而使用堿熔融法測定各原料中作為雜質而包含的Fe、Cu、Cr、Mn、Nd、Pr、V、Ni、Mo、Ho以及Er各金屬離子的含量,結果硅石原料的任一批次均收進到Fe的量換算成氧化物為1418ppm、其他的金屬離子量換算成氧化物小于lppm的范圍內。礬土原料的任一批次均收進到Fe的量換算成氧化物為1016ppm、其他的金屬離子量換算成氧化物小于lppm的范圍內。對于其他的原料,收進到任一金屬離子量換算成氧化物均小于lppm的范圍內。因此,在紅外線吸收性金屬離子之中,僅將Fe的量作為管理對象。接著,為了得到表l所示的No.l10的各組成的玻璃,稱量各原料,將稱量的各原料進行充分混合,準備了用于熔.融同一組成的玻璃的多個調合原料。然后,將調合原料導入到熔融槽中,進行加熱、熔融,將所得到的熔融玻璃送往澄清槽,進行澄清,在進行去泡之后,送往作業槽,進行充分攪拌、均勻化,之后從管道中流出,進行模壓成形,而依次成形為圓盤狀的玻璃素材,然后對玻璃素材進行退火,試驗性地批量生產出玻璃素材。熔融槽中的熔融玻璃由于玻璃的流出而減少,但是為了補充減少部分,將調合原料導入到熔融槽中,同時進行玻璃的熔融、澄清、均勻化。為使圓盤玻璃素材的直徑為66.0mm、板厚為1.15mm,而設定模壓成形中的模壓壓力、模壓的時機、上模具、下模具以及體模具的溫度、模壓的熔融玻璃塊的重量、熔融玻璃的流出溫度等各條件,并使得在各素材的成形中所述條件恒定。從試驗性地批量生產出的玻璃素材中,抽樣取出以下的總計30個玻璃素材,該30個玻璃素材包括初期成形的素材、最后成形的素材、以及在初期與最后之間在時間上分成28等分、在各時點上得到的素材,測定所述素材中所包含的紅外線吸收性金屬離子量,結果Fe的量進入到了表1的下段表示的最大量Mmax與最小量Mmin之間的范圍內,其變動幅度為表1所記載的值。另外,Fe的量的變動幅度基于士2(Mmax—Mmin)/(Mmax+Mmin)的式子而計算出。另外,板厚的變動幅度基于板厚的2X(最大值一最小值)/(最大值十最小值)而計算出。同樣地,對于直徑的變動幅度,也基于直徑的2X(最大值一最小值)/(最大值+最小值)而計算出。對于板厚的變動幅度和直徑的變動幅度,從批量生產出的圓盤玻璃素材中抽樣選出1000個。在抽樣中,從批量生產開始到結束在時間上分成998等分,在批量生產開始時、批量生產結束時分別添加成形的圓盤狀玻璃素材,從而成為1000個,對于各樣品,測定了直徑、板厚。<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>根據表l所示的結果,對于No.l10的任一玻璃,各玻璃素材的板厚均處于1.151.22mm的范圍內,板厚的變動幅度處于6%以內。并且,各玻璃素材的直徑處于66.066.4mm的范圍內,直徑的變動幅度處于0.6。%以內。(實施例2)下面,當要得到硅石原料、礬土原料、硼酸原料、以及其他原料等與導入到玻璃中的成分的氧化物、碳酸鹽、硝酸鹽等相對應的各原料時,以各原料中所包含的Fe離子量(換算為Fe203)為1020ppm、Cr離子量(換算為&203)為58ppm、其他的紅外線吸收性離子小于lppm的規格向原料制造商訂貨而得到原料。為了確認,而使用堿熔融法測定各原料中作為雜質而包含的Fe、Cu、Cr、Mn、Nd、Pr、V、Ni、Mo、Ho以及Er各金屬離子的含量,結果硅石原料的任一批次均收進到Fe的量換算成氧化物為1519ppm、Cr的量換算成氧化物為57ppm、其他的金屬離子量換算成氧化物小于lppm的范圍內。礬土原料的任一批次均收進到Fe的量換算成氧化物為1217ppm、其他的金屬離子量換算成氧化物小于lppm的范圍內。對于其他的原料,收進到任一金屬離子量換算成氧化物均小于O.lppm的范圍內。接著,與實施例1相同地進行玻璃的熔融、澄清、均勻化,通過模壓成形來制造出與實施例l相同的素材。然后,測定上述抽樣選出的圓盤狀的玻璃素材的直徑、板厚,結果對于任一玻璃,各素材的板厚均處于1.151.22mm的范圍內,板厚的變動幅度能夠收進到6%以內。另外,直徑能夠收進到66.066.4的范圍內,素材的直徑的變動幅度能夠收進到0.6。%以內。(實施例3)準備硅石原料、磯土原料、硼酸原料、以及其他原料等與導入到玻璃中的成分的氧化物、碳酸鹽相對應的原料,使用堿熔融法測定各原料中作為雜質而包含的Fe、Cu、Cr、Mn、Nd、Pr、V、Ni、Mo、Ho以及Er各金屬離子的含量。另外,如果原料批次不同,則金屬離子含量有時會不同,因此針對每個原料批次進行上述測定。下表是對于各原料的批次測定各紅外線吸收性金屬離子的量的結果。.各量是換算成氧化物的量。<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>(注)變動幅度1為單獨使用各批次時的變動范圍。變動幅度2為將批次13、批次46、批次79進行混合而作為三個混合批次、將批次10加入其中而全部作為四個批次使用時的變動范圍。<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>(注)變動幅度1為單獨使用各批次時的變動范圍。變動幅度2為將批次13、批次45進行混合而作為兩個混合批次使用時的變動范圍。<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>(注)變動幅度1為單獨使用各批次時的變動范圍。變動幅度2為將批次1和2、批次3和4進行混合而作為兩個混合批次使用時的變動范圍。[表5]<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>根據表25所示的結果,基于以下的方針,對于硅石原料、礬土原料,管理Fe、Cr兩離子量,對于Zr02原料、Ti02原料,管理Fe離子量,對于其他的原料,即使不管理,也能夠忽略對板厚變動的影響,而排除在管理對象以外。(方針)當包含了多種紅外線吸收性金屬離子時,將含有最多的離子作為離子A。如果將離子A的量作為Ma(%),則也可以將含量小于O.lxMa(%)的紅外線吸收性金屬離子B從管理對象中排除。其理由如下離子B的變動量小于離子A的絕對量,可以忽略離子B量的變動。接著,對于硅石原料,分別充分混合批次13、46、79,得到三個混合批次。將批次IO加入其中,而使用四個批次進行調合。當分別使用IO個批次進行調合時,硅石原料中的Fe離子量的變動范圍為1225ppm(相對于中央值±30%),與此相對,通過上述操作,可以使變動范圍成為1319ppm(相對于中央值±19%)。另外,Cr離子量為0.44.3ppm(相對于中央值±83%),與此相對,通過上述操作,可以使變動范圍成為12ppm(相對于中央值±33%)。對于其他的原料,通過如上表所示的那樣恰當制造混合批次,也能夠降低Fe或Cr離子量的變動范圍。結果,能夠與實施例1、2相同地批量生產板厚和直徑的變動小的素材。另外,在上述實施例中,不管批次中所包含的Fe離子量、Cr離子量的多少,選定了用于制造混合批次的批次,但是如果充分混合Fe離子量、Cr離子量多的批次和少的批次來制造混合批次,則能夠制造兩離子量的變動范圍小的原料。(實施例4)將應制造的素材的直徑設定為66.0mm,將其板厚設定為1.15mm。與實施例13相同地對玻璃進行熔融,使熔融玻璃流以一定的流出速度流出,并以一定的周期使用切刀進行切斷,依次分離熔融玻璃塊。依次分離出的熔融玻璃塊被接收到循環移動的模壓成形模具的下模具上,通過面對下模具的上模具和下模具進行模壓,在由上下模具和引導上下模具的襯套部件包圍的腔室內延伸成圓盤狀。在這樣玻璃被成形為圓盤狀之后,使上模具向上方退讓。在該狀態下,圓盤狀的素材留在下模具上。使用數碼式的光學式距離傳感器測定該素材的直徑或板厚。以監測板厚時為例,由于素材位于下模具成形面上,因此測定從距離傳感器到下模具成形面的距離和從該傳感器到素材上表面的距離,如果以從傳感器輸出的距離信息為基礎,計算出兩距離之差,則能夠測定板厚。另外,優選距離傳感器固定在下模具成形面和素材的垂直上方。如果固定了傳感器,則被成形了的素材依次通過其下方,因此能夠實時地測定剛剛成形后的素材的板厚。與這樣得到的板厚相關的信息與基準板厚相比,當板厚向比基準板厚大的方向變動時,將紅外線吸收性金屬離子的量多的原料投入到熔融槽中,相反地,當板厚向比基準板厚小的方向變動時,將紅外線吸收性金屬離子的量少的原料投入到熔融槽中。例如,預先準備Fe離子量為25ppm的調合原料1、Fe離子量為18ppm的調合原料2、Fe離子量為14ppm的調合原料3。無論哪種調合原料,其他的紅外線吸收性金屬離子量均小于lppm。當將基準板厚作為1.19mm、監測出的板厚表示出從U8mm減少到1.17mm的傾向時,將調合原料1投入、補充到熔融槽中。相反地,當監測出的板厚表示出從1.20mm增加到1.21mm的傾向時,將調合原料3投入、補充到瑢融槽中。當監測出的板厚位于基準板厚附近時,在不改變調合原料的情況下補充、投入到熔融槽中。這樣,能夠使板厚收進到1.151.22mm的范圍、使直徑收進到66.066.4mm的范圍內。另外,也可以同樣地監測直徑,在調合原料的選擇上施加反饋。在上述方法中,通過分序計算出板厚變動傾向,根據該傾向選定了原料,但是優選根據玻璃熔融設備的尺寸來恰當調整計算板厚變動傾向的時間。在實施例14中得到的圓盤狀玻璃素材的中心開孔,進行內外周加工、主表面的磨削、研磨,試驗性地批量生產出磁盤用玻璃基板。另外,也可以將由No.14、8、9的玻璃形成的基板浸漬在包含硝酸鈉和硝酸鉀的熔融鹽中進行化學強化,也可以將由No.57的玻璃形成的基板浸漬在硝酸鉀的熔融鹽中進行化學強化。或者無論哪種玻璃基板僅對外周面進行化學強化,或者也可以不進行化學強化。另外,上述例子與模壓成形法相關,但是即使在通過浮起法將熔融玻璃成形為片狀的玻璃素材的情況下,也能夠通過如上地進行原料的管理,來批量生產恒定的素材。另外,上述實施例使用了市場上出售的原料,但是也可以購入雜質原料為恒定的原料,按照素材中的金屬離子雜質的量成為恒定的方式進行管理,從而可以穩定地得到恒定板厚的素材。將這樣得到的基板導入到枚葉式的濺射成膜機中,通過石墨加熱器加熱基板,在各基板上形成了包含磁記錄層的多層膜。由于無論哪種基板均能夠相同程度地吸收從石墨加熱器發出的紅外線,因此各基板的加熱溫度變得恒定,能夠試驗性地批量生產出多層膜的品質穩定的磁盤。接著,以提高從上述石墨加熱器發出的紅外線的吸收效率的目的,將表1所示的各組成的成分比例保持為恒定,并且換算成Fe203添加了0.03質量%的Fe離子。通過向上述實施例中使用的調合原料添加所述量的Fe203,并均勻地混合,由此進行Fe離子的添加。并且,為了得到與上述實施例相同的形狀、尺寸的玻璃素材,使成形條件最佳化,進行玻璃素材的成形。然后,與上述實施例相同地測定抽樣選出的圓盤狀的玻璃素材的直徑、板厚,結果無論哪種玻璃,各素材的直徑均處于66.066.4的范圍內,其板厚均處于1.151.22的范圍內。測定這些玻璃素材中的Fe203量,結果最大為0.032質量%,最小為0.029質量%,變動幅度為±10%。接著,與上述相同,以提高紅外線的吸收效率的目的,將表1所示的各組成的成分比例保持為恒定,并且換算成0203添加了0.03質量%的Cr離子。通過向上述實施例中使用的調合原料添加所述量的Cr203,并均勻地混合,由此進行Cr離子的添加。并且,為了得到與上述實施例相同的形狀、尺寸的玻璃素材,使成形條件最佳化,進行玻璃素材的成形。然后,與上述實施例相同地測定抽樣選出的圓盤狀的玻璃素材的直徑、板厚,結果無論哪種玻璃,各素材的直徑均處于66.066.4的范圍內,其板厚均處于1.151.22的范圍內。測定這些玻璃素材中的0"203量,結果最大為0.014質量%,最小為0.011質量%,變動幅度為±25%。(比較例1)從實施例2使用的原料批次不經過混合批次制造調合原料,將其投入到熔融槽中,制造熔融玻璃,對素材進行模壓成形,結果離散成圓盤狀玻璃素材的板厚為1.081.29mm,直徑為66.067.9mm。板厚的變動幅度為18%。直徑的變動幅度為2.8%。為了從這些素材制造基板,相對于實施例1制造出的素材,必須多加一個加工工序,從而工時、成本增大。產業上的實用性本發明的方法在信息記錄介質基板用素材、信息記錄介質基板、信息記錄介質的制造領域上有用。權利要求1.一種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟,所述制造方法的特征在于,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,并使得所述多個圓盤狀玻璃素材的板厚的變動為針對1000個玻璃素材,相對于基準值(其中,將所述1000個玻璃素材的板厚的最大值和最小值的中央值作為基準值)處于±15%的范圍內。2.如權利要求1所述的制造方法,其中,所述玻璃素材的所述紅外線吸收性離子的含量為0.1100ppm。3.—種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟,所述制造方法的特征在于,當使由包含0,1100ppm的紅外線吸收性離子的玻璃形成的多個圓盤狀玻璃素材成形時,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,抑制所述多個板狀玻璃素材的板厚的變動。4.如權利要求1至3中任一項所述的制造方法,其中,所述紅外線吸收性離子為從由Fe、Cu以及Cr構成的組中選出的至少一種金屬離子。5.如權利要求1至4中任一項所述的制造方法,其中,所述圓盤狀玻璃素材的板厚為0.51.5mm。6.如權利要求1至5中任一項所述的制造方法,其中,所述熔融玻璃向圓盤狀玻璃素材的成形包括通過對熔融玻璃進行模壓成形來得到圓盤狀玻璃素材的工序。7.如權利要求1至5中任一項所述的制造方法,其中,所述熔融玻璃向圓盤狀玻璃素材的成形包括通過浮起法從熔融玻璃得到帶狀玻璃素材的工序;以及對所述帶狀玻璃素材進行機械加工來得到圓盤狀玻璃素材的工序。8.如權利要求1至7中任一項所述的制造方法,其中,還對所述玻璃素材進行熱處理,而成為由結晶化玻璃形成的玻璃素材。9.如權利要求1至8中任一項所述的制造方法,其中,所述圓盤狀玻璃素材是信息記錄介質基板用素材。10.—種信息記錄介質用玻璃基板的制造方法,其特征在于,在通過權利要求18中任一項所述的方法得到的圓盤狀玻璃素材的中心開孔,通過進行內外周加工、主表面的磨削、研磨,來得到信息記錄介質用玻璃基板。11.一種信息記錄介質的制造方法,包括在通過權利要求IO所述的方法得到的玻璃基板上形成信息記錄層的步驟。全文摘要提供用于批量生產恒定的薄板狀的信息記錄介質基板用素材的圓盤狀玻璃素材的制造方法、從由上述方法制造出的素材制造信息記錄介質用基板以及信息記錄介質的方法。一種圓盤狀玻璃素材的制造方法,包括從熔融玻璃依次成形為多個圓盤狀玻璃素材的步驟。一種方法,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,使得所述多個圓盤狀玻璃素材的板厚的變動為針對1000個玻璃素材,相對于基準值處于±15%的范圍內。一種方法,當使由包含0.1~100ppm的紅外線吸收性離子的玻璃形成的多個圓盤狀玻璃素材成形時,抑制成形為所述圓盤狀玻璃素材的熔融玻璃所包含的紅外線吸收性離子的濃度的經時變動,抑制所述多個板狀玻璃素材的板厚的變動。文檔編號C03C10/14GK101578240SQ20088000204公開日2009年11月11日申請日期2008年1月8日優先權日2007年1月10日發明者立和名一雄,蜂谷洋一,鄒學祿申請人:Hoya株式會社