專利名稱：一種石英晶片腐蝕機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及石英晶片腐蝕領域，尤其涉及一種石英晶片腐蝕機。
背景技術：
石英晶體的研究開發和生產活動中，對晶片的生產加工需要一個腐蝕過 程。現有技術的腐蝕工藝為在晶片腐蝕機的機械臂上懸掛腐蝕架，該腐蝕架具 有若干蜂窩狀空格，每個空格中裝載一個被腐蝕的晶片，裝載晶片的空格既要 使腐蝕液充分進入，又不能讓晶片掉出來，因此這種腐蝕架結構比較復雜。懸 掛完畢之后晶片腐蝕機的機械臂帶動腐蝕架在腐蝕液內上下往復運動，對晶片 表面進行腐蝕作業。腐蝕完成后需要將腐蝕架內的晶片連同腐蝕架一起清洗干 凈，再將腐蝕架拆開，把晶片取出。
因此，大量的生產實踐表明現有的石英晶片腐蝕機具有以下缺點
1、 生產投入大，成本高，主要表現為人力成本較高，尤其對于大規模生 產，需要安排大量員工，進行裝入晶片和組合、裝卸腐蝕架。
2、 工人勞動強度大，生產效率低，現有的工藝過程過多的依靠工人手動 操作，自動化程度低。
3、 晶片易碎易裂導致在裝卸腐蝕架過程中，晶片損失大，產品成本增加。 綜上可知，所述現有技術的石英晶片腐蝕機在實際使用上顯然存在不便與
缺陷，所以有必要加以改進。
實用新型內容
針對上述的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種石英晶片腐蝕機，以提 高石英晶片腐蝕的工作效率，降低操作者的勞動強度以及生產成本。
為了實現上述目的，本實用新型提供一種石英晶片腐蝕機，包括控制系統、 若干組驅動系統、腐蝕系統以及清洗系統，其中，每一組驅動系統對應所述腐 蝕系統和清洗系統中的一對腐蝕槽和清洗槽，所述每一組驅動系統包括
權利要求1、一種石英晶片腐蝕機，包括控制系統、若干組驅動系統、腐蝕系統以及清洗系統，其中，每一組驅動系統對應所述腐蝕系統和清洗系統中的一對腐蝕槽和清洗槽，其特征在于，所述每一組驅動系統包括擺動機構，具有機械手，其上端設置有從動齒輪，下端設置有掛鉤，該掛鉤鉤掛一腐蝕籃，該腐蝕籃內任意容裝若干待腐蝕石英晶片；該機械手的中部設置連桿，通過該連桿與機械臂的下端連接；機械臂，其上端設置有旋轉氣缸，其下端通過所述連桿與所述機械手連接；副機械臂，其上端通過一曲柄搖桿機構與減速電機輸出軸連接；其下端設置有主動齒輪，當所述腐蝕籃置于所述腐蝕槽中進行腐蝕時，該主動齒輪與所述從動齒輪嚙合；滑動機構，具有平行滑道，該平行滑道由兩組直線軸承、兩組直線軸以及軸固定架組裝而成；滑動板，該滑動板安裝于所述平行滑道上，并且所述擺動機構安裝于該滑動板上；雙向氣缸，該雙向氣缸安裝于所述滑動機構上，其作用點對應于所述滑動板，并且該雙向氣缸上設置若干磁性開關，以控制所述滑動板上下往復運動。
2、 根據權利要求1所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述副機械臂 上端設置第二搖臂，該第二搖臂通過一擺桿連接到所述減速電機輸出軸上設置 的與所述第二搖臂長度不等的第一搖臂；其中，所述減速電機轉動帶動所述第 一搖臂作周轉運動，通過擺桿的帶動所述第二搖臂作正反往復運動，由該第二 搖臂帶動所述副機械臂作正反往復旋轉運動；所述機械手通過其上端設置的從動齒輪與所述副機械臂下端設置的主動 齒輪的嚙合，作正反往復旋轉運動；所述雙向氣缸的上、中、下部分別設置一個磁性開關，通過所述雙向氣缸的中部和下部的兩個磁性開關感應雙向氣缸活塞的磁環信號，以控制所述滑動 板上下往復運動；以及所述雙向氣缸上部的磁性開關感應該雙向氣缸活塞的磁環信號，控制所述 滑動板沿所述平行滑道向上滑動至所述機械手鉤掛的腐蝕籃的水平位置高度， 高于所述腐蝕槽與清洗槽之間的槽壁的高度;以及，所述機械臂上端的旋轉氣 缸轉動帶動與所述機械臂連接的機械手產生轉動，以控制所述機械手轉換于腐 蝕槽與清洗槽的工位。
3、 根據權利要求2所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述雙向氣缸 的兩端設置有限流器，該限流器調節滑動板上下往復運動的頻率；和/或所述旋轉氣缸上設置有兩個磁性開關，通過所述兩個磁性開關以及一電磁 閥組控制所述旋轉氣缸轉動帶動所述機械臂正反往復旋轉運動。
4、 根據權利要求3所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述滑動板上下往復運動的行程由所述雙向氣缸的中部和下部的兩個磁性開關的距離決定； 所述機械手鉤掛的腐蝕籃在轉換腐蝕槽與清洗槽工位時的水平位置高度， 由所述雙向氣缸的上部磁性開關控制。
5、 根據權利要求2或3所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述副機 械臂帶動所述機械手在腐蝕槽中作正反往復旋轉運動的旋轉弧度為90 115弧 度；所述機械臂帶動所述機械手在腐蝕槽或清洗槽中工作以轉換工位的旋轉 弧度為180弧度。
6、 根據權利要求2所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述機械手包 括軸、軸承套、軸承、掛鉤接頭、掛鉤、固定塊和從動齒輪；所述軸安裝于所 述軸承上，所述軸承套將所述軸和軸承套裝于其內；所述軸的上端與所述從動 齒輪連接，所述軸的下端與所述掛鉤接頭連接；所述掛鉤接頭下端設置一固定 塊，該固定塊通過一緊固裝置與所述掛鉤連接；所述機械臂的上端與一旋轉氣缸連接，該旋轉氣缸通過一連軸節與所述機 械臂的軸接頭連接；所述副機械臂的軸安裝于軸承套內。
7、 根據權利要求6所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述主動齒輪 的齒數和模數與所述從動齒輪的齒數和模數相等；和/或，所述主動齒輪與從動齒輪為尼龍齒輪。
8、 根據權利要求1或2所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述擺桿 的兩端分別通過一關節軸承與所述第一搖臂和第二搖臂連接。
9、 根據權利要求2所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述腐蝕系統 包括通過防腐管道依次順序連接的腐蝕箱、防腐泵，以及腐蝕槽、溢流槽；所述清洗系統包括清洗槽以及安裝在進水口的一電磁閥；當清洗液進入 清洗槽，通過溢流隔板排出的所述清洗槽。
10、 根據權利要求9所述的石英晶片腐蝕機，其特征在于，所述清洗槽內 安裝有腐蝕加熱管；和/或，所述石英晶片腐蝕機內的清洗液的溫度通過溫度控制器與溫度傳感器控 制；和/或，所述控制系統是一可編程邏輯控制器。
專利摘要本實用新型公開了一種石英晶片腐蝕機，包括控制系統、若干組驅動系統、腐蝕系統以及清洗系統，其中，每一組驅動系統對應所述腐蝕系統和清洗系統中的一對腐蝕槽和清洗槽，所述每一組驅動系統包括擺動機構，具有機械手、機械臂以及副機械臂；滑動機構，具有平行滑道和滑動板，通過兩機構的配合，實現驅動系統鉤掛的腐蝕籃同時作上下往復運動和正反旋轉運動，使腐蝕籃中的微型晶片充分浸泡在腐蝕液中，提高了石英晶片腐蝕機的工作效率，降低了石英晶片腐蝕的成本。
文檔編號C03C15/00GK201272743SQ200820094090
公開日2009年7月15日 申請日期2008年5月28日 優先權日2008年5月28日
發明者葉竹之 申請人:深圳泰美克晶體技術有限公司