專利名稱：超薄平板玻璃的退火方法
技術領域：
本發明涉及一種用于電子顯示領域的平板玻璃，尤其涉及一種生產厚度為1.0mm以下的超薄平板玻璃的退火方法，即通過控制玻璃板在退火期間的退火爐橫向降溫速率來生產具有低殘余應力的超薄平板玻璃的退火方法。
背景技術：
用于電子顯示的超薄玻璃基板，其主要應用于TFT-LCD液晶顯示面板。由 于在液晶面板的制造過程中，需要被切割分成規格不等的液晶面板，因此，玻 璃基板的殘留應力要保證在合適的規格以下，否則在切割成合適尺寸時會引起 破損，造成液晶面板生產效率的降低。另外，由于其用于顯示面板，所以玻璃 基板表面的波伏扭曲變形要控制到一定規格以下，這樣，顯示面板所顯示的圖 像才不會發生扭曲變形。超薄玻璃基板應用范圍很廣，尤其在平面顯示領域，超薄玻璃基板作為液 晶顯示器的原材料尤為重要。超薄平板玻璃生產工藝，有浮法生產工藝、向上 牽引法生產工藝、有槽下拉法生產工藝和溢流成形法生產工藝等，其中溢流成 形法生產超薄玻璃基板以玻璃基板正反兩面在生產過程中不接觸任何設備，依 靠自然拋光而獲得較高的表面性能而聞名。本專利以溢流成形法生產工藝來介 紹技術背景。如圖la為溢流成形法生產超薄平板玻璃的工藝流程示意圖，圖lb為溢流 成形法工藝流程的橫截面示意圖。101為池爐，102為熔融玻璃通道，103為成 形磚，104為玻璃板，105為封閉爐，106為成形槽中的熔融玻璃，107為過渡 區，108為急冷區，109為退火區，108和109組成退火爐。成形磚被包覆在封 閉爐105內，封閉爐105的作用是保證成形磚處于玻璃成形時的溫度。在池爐101中熔化后的熔融玻璃經過玻璃通道102的澄清、攪拌和冷卻進入到成形磚103的槽中，然后在成形磚103的兩側溢出，再向下流動，在成形磚103的根部 玻璃匯合成一張玻璃板。玻璃板再向下流動經急冷區107，然后由退火爐108的 進行合適退火后就可以得到成品玻璃板104。超薄平板玻璃在進入退火爐時其厚度分布為中央有效部分的厚度薄，兩邊 存在厚玻璃帶，如圖2示。其中玻璃板全寬L，中央正常厚度為dl，兩邊毛邊 厚度為d2，其厚度約為中央正常玻璃厚度dl的3到5倍。毛邊寬度A約為0. 1L 至O. 15L。這樣，在退火過程中，要同時注意玻璃基板的兩種應力，即平面應力 和厚度應力。由表及里冷卻引起的玻璃厚度方向不可避免的溫度梯度所形成的應力即為 厚度應力，其可以依照傳統退火理論，控制沿玻璃拉引方向的冷卻速率來控制 玻璃基板的厚度應力。對于超薄玻璃基板來說，厚度應力控制相對于厚玻璃來 說要容易得多。但是玻璃基板的平面應力，其主要是由于玻璃基板橫向水平方向厚度不一 致造成的玻璃溫度分布一致，降溫速率不同造成的。對于超薄玻璃基板來說， 控制好平面應力，是決定生產良品率高低的關鍵。相應地，為了消除玻璃板殘留的內部應力，歐洲專利832858和日本專利 2001-322823揭示了一種切割的玻璃板來退火后處理的方法。但是這種退火工藝 的問題是其需要延長工藝時間和退火玻璃表面需要研磨以糾正退火工藝帶來的 表面變形。傳統的退火工藝理論是基于一定厚度的平板玻璃的厚度應力來進行退火爐 退火功能劃分、溫度和降溫速率設定的，而相對于平面應力，則是在超薄玻璃 生產過程中的新問題。發明內容本發明的目的在于克服現有技術中存在的不足而提供一種能夠有效降低玻 璃基板殘余應力的超薄平板玻璃的退火方法，即通過控制退火爐兩邊一定區域 的橫向降溫速率，從而降低玻璃基板橫向由于厚度差造成的溫度差，以達到降 低玻璃基板平面應力，從而降低殘余應力的目的。本發明的目的是這樣實現的本發明提供一種超薄平板玻璃的退火方法，退火溫度曲線如圖3示，平板 玻璃在退火過程中是通過幾個過程達到理想的應力狀態的。通過退火寬度為L 的熔融態玻璃板來最終得到玻璃板的方法，即超薄平板玻璃板的退火按以下四步進行1)當距離玻璃板邊緣0.2L處的玻璃溫度從100(TC左右的熔融態變化 到溫度T2的過程中，從0逐步增加玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣 0. 2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率到25/L至75/l/C/mm; 2)當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從比溫度T2變化到溫度T3的過程中， 從25/L至75/L°C/mm逐步增加玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0. 2L 點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率到50/L至100/L°C/mm， 3) 當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從溫度T3變化到溫度T4的過程中，從50/L 至100/L°C/mm逐步增加玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0. 2L點到距 離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率到75/L至200/L°C/mm; 4)當距 離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從溫度T4變化到300。C左右的過程中，玻璃板 水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣O. 2L點到距離邊部3mm之間的退火爐橫向溫 度的降溫速率逐步從75/L至200/LTV,降低至無溫差。經過步驟1、 2、 3的 退火后，玻璃板橫向溫度差低于IO度。本發明提供的超薄玻璃板退火的方法中，步驟l、 2、 3和4的執行時間相應地在40秒至80秒，25秒至60秒，50秒至IOO秒和150秒至240秒之間。本發明提供的超薄玻璃板退火的方法中，步驟l、步驟2、步驟3結束時的 距離邊部0. 2L處的玻璃溫度T2、 T3、 T4分別為75(TC至800°C、 700'C至750 。C、 600。C至670。C;本發明提供的超薄玻璃板退火的方法中，從玻璃板一邊距離邊緣0. 2L到玻 璃板另一邊距離邊緣0. 2L之間的中央部分的退火爐溫度一致，沒有溫度差。利用本發明提供的超薄玻璃板退火的方法所制造的用于顯示的超薄玻璃 板，其中央部分的厚度為0.5至1.0mm。 L的長度范圍在1200至2800mm。利用本發明提供的超薄玻璃板退火的方法所制造的用于顯示的超薄玻璃 板，其具有的最大殘余應力值光程差為0.48Mpa或更小，并且其最大和最小殘 余應力的光程差的差值為0. 55Mpa或更小。本發明具有如下積極效果通過使用本發明的退火方法制造的超薄平板玻 璃，降低了超薄平板玻璃殘余應力，提高了超薄平板玻璃的生產效率。簡化了 制造工藝即退火后玻璃表面需要研磨以糾正退火工藝帶來的表面變形。
圖la和圖lb為溢流成形法生產超薄平板玻璃的工藝流程示意圖和橫截面 示意圖。圖2為超薄平板玻璃在進入退火爐時的厚度分布示意圖。 圖3為體現本發明的退火溫度曲線圖。 圖4為體現本發明的四個退火步驟的流程圖。
具體實施方式
眾所周知，玻璃無固定熔點。自高溫冷卻，經過一個特殊的溫度區域，在 該溫度區域內玻璃由典型的液態轉變成脆性的固態物質，這一區域稱為玻璃轉變區，上限溫度稱為軟化溫度(玻璃粘度為109泊)，下限溫度為應變點溫度Tg。- i一般規定玻璃制品在某一溫度下能在15分鐘內消除其全部應力或在3分鐘內能 消除95%內應力，該溫度稱為退火上限溫度，即退火點溫度(玻璃粘度為10'3 泊)；如果在16小時內才能全部消除或在3分鐘內僅消除5%的應力，該溫度稱 為退火下限溫度，即應變點(玻璃粘度為10"5泊)。然而，在長期的生產實踐中， 我們發現，從高于玻璃退火點溫度40'C至7(TC時開始對玻璃基板溫度分布進行 預處理，對控制玻璃橫向平面應力有極為積極的效果。按照ASTMC338-93檢驗標準，玻璃軟化點溫度是指在直徑為0. 65mm、長度 為23. 5cm圓柱形的玻璃樣品在電加熱爐內以5度/min的速度加熱時當由于樣品 由于自重以lmm/min的速度延展時的溫度。一般地，用于電子顯示的TFT玻璃基板的退火按圖4示的四個步驟進行1)在軟化點左右的熔融玻璃進入退火爐。快速降低玻璃基板的溫度至退火 點溫度上某一溫度，這是快速降溫區；2)使用夾緊定位輪定位玻璃基板兩邊， 同時按照一定的降溫速率緩慢冷卻玻璃基板的溫度至退火點溫度，這是預退火 區；3)使用夾緊定位輪定位玻璃基板兩邊，同時按照一定的降溫速率緩慢冷卻 玻璃基板的溫度至應變點溫度，這是重要退火區；4)玻璃基板在應變點點以下 的降溫，這時玻璃已成玻璃態物質。按照一定降溫速率退火來保證暫時應力防 止玻璃基板的破裂和輕微變形。對于超薄玻璃板來說，由于表面張力的作用，玻璃板在離開成型設備(如 浮法生產中的錫液、溢流下拉法中的成型磚等)后，玻璃板兩邊會形成厚度約 為中央正常厚度3至5倍的玻璃毛邊。此玻璃帶寬度約為50rnm至150mm，隨玻 璃帶的寬度的加大而加大。因此，對于超薄玻璃板來說，由于玻璃板兩邊和中 央部分的厚度差而增加退火的難度。因此，本發明的方法為通過控制在步驟l、2、 3范圍內沿玻璃板水平橫向在距離玻璃板邊緣0. 2L點到距離邊緣3mm之間的 退火爐橫向溫度降溫速率，其最能影響成型玻璃板的平面殘余應力。根據本發明用于制備電子顯示用玻璃基板的四個步驟如下所述具有寬度為L的熔融玻璃板從成型設備(例如溢流下拉法的成型磚和馬弗 爐設備等)中拉出，然后經過快速冷卻，將液態玻璃板(此時溫度約為軟化點 溫度)送至退火爐。此時玻璃處于液態狀態，內部不存在熱應力。處于軟化點 溫度的玻璃按照本發明提供的四個步驟進行退火，以控制玻璃基板橫向溫度差， 達到控制玻璃基板平面應力的效果。玻璃板退火曲線示意圖如圖3示。步驟1，當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從軟化點左右溫度Tl變化到 T2的過程中，T2的溫度為比退火點溫度高40至7CTC ，即從Tl到T2的過程中， 玻璃處于液態，由于玻璃內部產生的熱應力可以由分子之間的位置移動來抵消， 因此，此時不存在熱應力。控制玻璃板水平寬度方向上的降溫速率主要是為了 減小在遮個方向上的溫度差。玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0. 2L點 到距離邊緣3ram之間的退火爐橫向溫度降溫速率V從0增加到25/L《V>75/L。C/腿；步驟2，當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從T2變化到退火點溫度T3 的過程中，即從T2到T3的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣 0. 2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度降溫速率V從25/L《V》75/L°C /mm增加到50/L《V》100/L°C/mm。步驟3，當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從退火點溫度T3變化到應變 點溫度T4的過程中，即從T3到T4的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻 璃板邊緣0. 2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度降溫速率V從50/L《V 》100/1/C/ram增加到75/L《V》200/L°C/mm;步驟2和步驟3這兩個階段對玻璃橫向溫度的降溫速率的控制對玻璃板平面應力的降低至關重要，因為在這兩 個階段，玻璃平面應力的產生重要是由玻璃板橫向厚度差導致橫向溫度差造成 的，這樣，控制玻璃橫向的降溫速率達到控制玻璃板橫向溫度差的作用，從而 達到降低玻璃板平面應力的效果。依據本發明，在步驟3，當退火爐橫向降溫速率低于75/L時，玻璃板易發生毛邊斷裂，斷板等，在玻璃板橫向降溫速率高于 200/L時，玻璃板易發生扭曲變形、翹曲變形等。步驟4，當距離玻璃板邊緣0. 2L處的玻璃溫度從應變點溫度T4變化到T5 度的過程中，即從T4到T5的過程中，溫度T5—般在500度以下。玻璃板水平 寬度方向上在距離玻璃板邊緣0. 2L點到距離邊部3ran之間的退火爐橫向溫度降 溫速率V從75/L《V》200/VC/腿逐步降低至無溫差。本發明的另一個特點是，在以上四個步驟中，從玻璃板一邊距離邊緣0.2L 到玻璃板另一邊距離邊緣0. 2L之間的中央部分的退火爐溫度一致，沒有溫度差。根據本發明，玻璃板的寬度L可以在1000至2800mm之間。最好為1450至 1850ram;其中央部分的厚度為0. 5至1. Omm。依據玻璃的成分的不同，玻璃基板 的退火時間和各階段的溫度范圍為步驟l、 2、 3和4的執行時間相應地在40 秒至80秒，25秒至60秒，50秒至IOO秒和150秒至240秒之間，步驟1、步 驟2、歩驟3結束時的距離邊部0.2L處的玻璃溫度T2、 T3、 T4分別為750。C至 800°C、 700。C至75(TC、 600。C至670。C。按照本發明的退火方法所生產的玻璃基板具有的最大殘余應力值光程差為 0. 48Mpa或更小，并且其最大和最小殘余應力的光程差的差值為0. 55Mpa或更小。下面的舉例和對比舉例，其目的只是為了說明本發明的使用效果，本發明 并不局限于實施例所舉的范圍。 實施例1:用于LCD熔融無堿玻璃(軟化點975'C，退火點721'C,應變點667'C)，用 來制備的玻璃板寬度L為1350mm，厚度0. 7腦(兩邊的毛邊厚度2. 7mm,寬度 lOOmra)。步驟l，進入退火爐時距離玻璃板邊緣270mm處的玻璃溫度為974"C，經過 40秒的退火，步驟1結束時此處的玻璃溫度為765°C。在這個過程中，退火爐 在距離玻璃板邊緣270mm位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0逐步調 整到0.025'C/mm。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣270mra到 玻璃板另一邊距離邊緣270mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟2，然后再經過30秒的退火，步驟2結束時距離玻璃板邊緣270mm處 的玻璃溫度降低到72(TC，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置 到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 025。C/國逐步調整到0. 045°C/mm。同 時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣270,到玻璃板另一邊距離邊 緣270mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟3,然后再經過80秒的退火，步驟3結束時距離玻璃板邊緣270mm處 的玻璃溫度降低到666。C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置 到距離玻璃板邊緣3隱處的降溫速率由0. 045。C/mm逐步調整到0. 10°C/mm。此 時玻璃板橫向溫度差為l(TC。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊 緣270mm到玻璃板另一邊距離邊緣270,之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟4，最后然后再經過170秒的退火，距離玻璃板邊緣270mm處的玻璃溫 度降低到300'C,在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置到距離玻 璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 10'C/mm逐步調整到0。同時，在退火爐橫向方 向上從玻璃板一邊距離邊緣270mm到玻璃板另一邊距離邊緣270mm之間的中央 部分的退火爐溫度相同。經過退火后的玻璃板，使用光彈測量儀對玻璃板有效部分沿拉引方向兩邊間隔60mm，中間間隔80mm測量40個點。測量結果顯示最大殘留應力為0. 45Mpa， 最大最小應力差為55Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，沒有明顯的變形。 在生產過程中，其他步驟的退火方法不變，只是把步驟3中退火爐在距離 玻璃板邊緣270mm位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由20°C/mm逐步調 整到5'C/mm后。此時玻璃板橫向溫度差為30'C。經過這種退火方法退火后的玻 璃板，使用光彈測量儀對玻璃板有效部分沿拉引方向兩邊間隔60mm，中間間隔 80mm測量40個點。測量結果顯示最大殘留應力為1.2Mpa，最大最小應力差為實施例2:用于LCD熔融無堿玻璃(軟化點975，退火點721，應變點667)，用來制備 的玻璃板寬度L為1350mm，厚度0. 7固(兩邊的毛邊厚度2. 7mm，寬度lOOmm)。步驟l，進入退火爐時距離玻璃板邊緣270翻處的玻璃溫度為975'C，經過 45秒的退火，步驟1結束時此處的玻璃溫度為770'C。在這個過程中，退火爐 在距離玻璃板邊緣270mm位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0逐步調 整到0.05。C/mm。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣270咖到玻 璃板另一邊距離邊緣270mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟2，然后再經過35秒的退火，步驟2結束時距離玻璃板邊緣270mm處 的玻璃溫度降低到722'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置 到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 05'C/mm逐步調整到0. 07°C/mm。同時， 在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣270mm到玻璃板另一邊距離邊緣 270mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟3,然后再經過60秒的退火，步驟3結束時距離玻璃板邊緣270mm處的玻璃溫度降低到666'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置 到距離玻璃板邊緣3隱處的降溫速率由0. 07"C/mm逐步調整到0. 14°C/mm。此時 玻璃板橫向溫度差為8'C。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣 270mm到玻璃板另一邊距離邊緣270mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟4，最后然后再經過200秒的退火，距離玻璃板邊緣270mra處的玻璃溫 度降低到30(TC，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣270mm位置到距離玻 璃板邊緣3mm處的降溫速率由0， 14'C/隨逐步調整到0。同時，在退火爐橫向方 向上從玻璃板一邊距離邊緣270mm到玻璃板另一邊距離邊緣270mm之間的中央 部分的退火爐溫度相同。經過退火后的玻璃板，使用光彈測量儀對玻璃板有效部分沿拉引方向兩邊間 隔60mm,中間間隔80mm測量40個點。測量結果顯示最大殘留應力為0. 42Mpa, 最大最小應力差為0. 45Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，沒有明顯的變形。 實施例3:用于LCD熔融無堿玻璃(軟化點975'C，退火點721'C，應變點667'C)，用 來制備的玻璃板寬度L為1900mm，厚度0. 7mm (兩邊的毛邊厚度2. 8mm，寬度 150mm)。步驟l，進入退火爐時距離玻璃板邊緣380mm處的玻璃溫度為975'C,經過 50秒的退火，步驟1結束時此處的玻璃溫度為765°C。在這個過程中，退火爐 在距離玻璃板邊緣380mm位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0逐步調 整到0.015"C/mm。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣380mm到 玻璃板另一邊距離邊緣380mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟2，然后再經過40秒的退火，步驟2結束時距離玻璃板邊緣380mm處 的玻璃溫度降低到722'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mni位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 015'C/mm逐步調整到0. 05'C/mm。同 時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣380mm到玻璃板另一邊距離邊 緣380mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟3，然后再經過90秒的退火，步驟3結束時距離玻璃板邊緣380mm處 的玻璃溫度降低到666'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mm位置 到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 05°C/mm逐步調整到0. 10'C/咖。此時 玻璃板橫向溫度差為8'C。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣 380mm到玻璃板另一邊距離ii緣380mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟4，最后然后再經過200秒的退火，距離玻璃板邊緣380mm處的玻璃溫 度降低到30(TC,在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mm位置到距離玻 璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 1(TC/mm逐步調整到0。同時，在退火爐橫向方 向上從玻璃板一邊距離邊緣380mra到玻璃板另一邊距離邊緣380mm之間的中央 部分的退火爐溫度相同。經過退火后的玻璃板，使用光彈測量儀對玻璃板有效部分沿拉引方向兩邊間 隔60mm，中間間隔80mm測量40個點。測量結果顯示最大殘留應力為0. 40Mpa, 最大最小應力差為0. 43Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，沒有明顯的變形。 實施例3用于LCD熔融無堿玻璃(軟化點975。C，退火點72rC，應變點667'C)，用 來制備的玻璃板寬度L為1900mm，厚度0. 7畫(兩邊的毛邊厚度2. 8咖，寬度 150mrn)。步驟l，進入退火爐時距離玻璃板邊緣380mm處的玻璃溫度為976。C，經過 60秒的退火，步驟1結束時此處的玻璃溫度為780'C。在這個過程中，退火爐 在距離玻璃板邊緣380mm位置到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0逐步調整到Q.03'C/mm。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣380mm到玻 璃板另一邊距離邊緣380醒之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟2，然后再經過45秒的退火，步驟2結束時距離玻璃板邊緣380咖處 的玻璃溫度降低到722'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mm位置 到距離玻璃板邊緣3mra處的降溫速率由0. 03°C/mm逐步調整到0. 045°C/mm。同 時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣380mm到玻璃板另一邊距離邊 緣380mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟3,然后再經過60秒的退火，步驟3結束時距離玻璃板邊緣380mm處 的玻璃溫度降低到666'C，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mm位置 到距離玻璃板邊緣3mm處的降溫速率由0. 045°C/mm逐步調整到0. 08°C/mm。此 時玻璃板橫向溫度差為9'C。同時，在退火爐橫向方向上從玻璃板一邊距離邊緣 380mm到玻璃板另一邊距離邊緣380mm之間的中央部分的退火爐溫度相同。步驟4，最后然后再經過230秒的退火，距離玻璃板邊緣380mm處的玻璃溫 度降低到30(TC，在這個過程中，退火爐在距離玻璃板邊緣380mm位置到距離玻 璃板邊緣3mm處的降溫速率由0.08。C/mm逐步調整到0。同時，在退火爐橫向方 向上從玻璃板一邊距離邊緣380mm到玻璃板另一邊距離邊緣380ram之間的中央 部分的退火爐溫度相同。經過退火后的玻璃板，使用光彈測量儀對玻璃板有效部分沿拉引方向兩邊間 隔60mm，中間間隔80mm測量40個點。測量結果顯示最大殘留應力為0. 39Mpa, 最大最小應力差為O. 43Mpa。另外，玻璃板的表面平坦度很好，沒有明顯的變形。
權利要求
1. 一種超薄平板玻璃的退火方法，其特征在于通過退火寬度為L的熔融態玻璃板來最終得到玻璃板的方法，即超薄平板玻璃板的退火按以下四步進行1)、當距離玻璃板邊緣0.2L處的玻璃溫度從溫度T1變化到溫度T2的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0.2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率V從0逐步增加到25/L≤V≥75/L℃/mm；2)、當距離玻璃板邊緣0.2L處的玻璃溫度從比溫度T2變化到溫度T3的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0.2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率V從25/L≤V≥75/L℃/mm逐步增加到50/L≤V≥100/L℃/mm；3)、當距離玻璃板邊緣0.2L處的玻璃溫度從溫度T3變化到溫度T4的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0.2L點到距離邊緣3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率V從50/L≤V≥100/L℃/mm逐步增加到75/L≤V≥200/L℃/mm；4)、當距離玻璃板邊緣0.2L處的玻璃溫度從溫度T4變化到溫度T5的過程中，玻璃板水平寬度方向上在距離玻璃板邊緣0.2L點到距離邊部3mm之間的退火爐橫向溫度的降溫速率V逐步從75/L≤V≥200/L℃/mm降低至無溫差。
2、 如權利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在f:經過歩驟l、 2、 3的退火后，玻璃板橫向溫度差低于l()度。
3、 如權利要求l中所述的玻璃板退火方法，其特征在于步驟l、 2、 3和 4的執行時間相應地在40秒至80秒，25秒至60秒，50秒至100秒和150秒至 240秒之間。
4、 如權利要求1中所述的玻璃板退火方法，其特征在于步驟l、步驟2、步驟3結束時的距離邊部0.2L處的玻璃溫度T2、 T3、 T4分別為750。C至800 。C、 70(TC至750。C、 600。C至670。C。
5、 如權利要求l中所述的玻璃板退火方法，其特征在于從玻璃板一邊距 離邊緣0.2L到玻璃板另 -邊距離邊緣0.2L之間的中央部分的退火爐溫度一致， 沒有溫度差。
6、 一種根據權利要求1一5所述的玻璃板退火方法所制作的用于顯示的超 薄玻璃板，其特征在于其中央部分的厚度為0.5辛:l.Omm， L的長度范圍在 1200至2800mm。
7、 如權利要求6中所述的用于顯示的超薄玻璃板，其特征在于其具有的最大殘余應力值光程差為0.48Mpa或更小，并且其最大和最小殘余應力的光程 差的差值為0.55Mpa或更小。
全文摘要
本發明涉及一種生產厚度為1.0mm以下的超薄平板玻璃的退火方法，1)當距玻璃板邊0.2L處玻璃溫度從1000℃到溫度T2中，退火爐橫向溫度的降溫速率到25/L至75/L℃/mm；2)當距玻璃板邊緣0.2L處玻璃溫度從溫度T2到溫度T3中，退火爐橫向溫度的降溫速率到50/L至100/L℃/mm，3)當距玻璃板邊緣0.2L處玻璃溫度從溫度T3到溫度T4，退火爐橫向溫度的降溫速率到75/L至200/L℃/mm；4)當距玻璃板邊緣0.2L處玻璃溫度從溫度T4到300℃左右，退火爐橫向溫度降溫速率從75/L至200/L℃/mm降至無溫差，通過本發明制造的超薄平板玻璃，降低了超薄平板玻璃殘余應力，提高了超薄平板玻璃的生產效率，簡化了制造工藝即退火后玻璃表面需要研磨以糾正退火工藝帶來的表面變形。
文檔編號C03B25/00GK101229953SQ20071005456
公開日2008年7月30日 申請日期2007年6月13日 優先權日2007年6月13日
發明者萬志剛, 陟 蘭, 震 李, 李長俊 申請人:河南安彩高科股份有限公司;安彩液晶顯示器件有限責任公司