過濾器濾材的褶裥加工方法及褶裥加工裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種過濾器濾材的褶裥加工方法，向過濾器濾材（10）從厚度方向兩側(cè)推壓一對刀片（5）而對過濾器濾材（10）進行褶裥加工時，利用除靜電器（30）從過濾器濾材（10）的側(cè)方朝向過濾器濾材（10）的端面及一對刀片（5）輸送被離子化后的空氣。過濾器濾材（10）優(yōu)選包含聚四氟乙烯多孔質(zhì)膜和通氣性支承材料。
【專利說明】過濾器濾材的褶裥加工方法及褶裥加工裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及過濾器濾材的褶裥加工方法及褶裥加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在潔凈室或半導體制造裝置等中，使用具備用于使空氣透過來捕集浮游微粒子的過濾器濾材的空氣過濾器單元。作為這樣的過濾器濾材，使用具有HEPA(High EfficiencyParticulate Air:高效空氣過濾器)等級、ULPA (Ultra Low Penetration Air:超高效過濾器)等級等的高捕集效率的過濾器濾材。
[0003]過濾器濾材通常通過進行褶裥加工而折回成褶皺狀。例如，在專利文獻I中公開有圖3所示的具備褶裥機520的褶裥加工裝置500。褶裥機520在過濾器濾材510上從厚度方向的兩側(cè)推壓一對刀片521，對過濾器濾材510進行褶裥加工。
[0004]作為過濾器濾材，優(yōu)選使用包含聚四氟乙烯(PTFE)多孔質(zhì)膜的濾材。但是，PTFE多孔質(zhì)膜容易帶靜電，且若靜電放電則在PTFE多孔質(zhì)膜上形成針孔，在使用時發(fā)生泄漏。為了防止該情況，在專利文獻I中公開的褶裥加工裝置500中，在褶裥機520和送料輥之間及褶裥機520的下游側(cè)配置除靜電器530，朝向過濾器濾材510的表面輸送被離子化后的空氣。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開2002 - 345320號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]但是，即使如圖3所示配置除靜電器530，在褶裥加工后，在過濾器濾材510上也往往會確認到放電產(chǎn)生的針孔。
[0009]本發(fā)明鑒于這種情況而做出，其目的在于，提供能夠防止因放電形成針孔的過濾器濾材的褶裥加工方法及褶裥加工裝置。
[0010]用于解決課題的技術(shù)方案
[0011]為了解決所述課題，本發(fā)明的
【發(fā)明者】們進行了銳意研究，其結(jié)果是，作為褶裥加工時在過濾器濾材上形成放電引起的針孔的主要原因，特定了如下原因:過濾器濾材即使在被除去靜電后，在向褶裥機供給之前，也可能會因與搬送用的輥或工作臺等接觸而帶靜電；以及褶裥機的刀片也帶靜電。褶裥機的刀片也帶靜電的理由是因為，雖然刀片通常由金屬構(gòu)成，但由于為了不損傷過濾器濾材而將其表面用氟樹脂等進行涂層。本發(fā)明從這樣的觀點出發(fā)而構(gòu)成。
[0012]即，本發(fā)明提供一種過濾器濾材的褶裥加工方法，向過濾器濾材從厚度方向的兩側(cè)推壓一對刀片而對所述過濾器濾材進行褶裥加工時，利用除靜電器從所述過濾器濾材的側(cè)方朝向所述過濾器濾材的端面及所述一對刀片輸送被離子化后的空氣。
[0013]另外，本發(fā)明提供一種褶裥加工裝置，其具備:往復式褶裥機，向過濾器濾材從厚度方向的兩側(cè)推壓一對刀片而對所述過濾器濾材進行褶裥加工；及除靜電器，以朝向所述過濾器濾材的端面及所述一對刀片輸送被離子化后的空氣的方式配置于所述褶裥機的側(cè)方。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)所述的結(jié)構(gòu)，能夠防止因放電而在過濾器濾材上形成針孔。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明一實施方式的褶裥加工裝置的結(jié)構(gòu)圖；
[0017]圖2是表示圖1所示的褶裥加工裝置的褶裥機附近的結(jié)構(gòu)的剖面圖；
[0018]圖3是現(xiàn)有的褶裥加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0019]下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。另外，以下的說明為本發(fā)明的一例，本發(fā)明不受它們的限定。
[0020]圖1表示本發(fā)明一實施方式的褶裥加工裝置100。該褶裥加工裝置100用于從帶狀過濾器濾材10連續(xù)地制造規(guī)定大小的裙裥制品11。
[0021]具體而言，過濾器濾材10從通過卷繞該過濾器濾材10而形成的送料輥I向褶裥機50供給。在送料輥I和褶裥機50之間的適宜部位配置有搬送輥2，且在特定的搬送輥2間配置有用于向過濾器濾材10施加張力的浮輥21。
[0022]在本實施方式中，在最下游側(cè)的搬送輥2的上方設(shè)有用于在過濾器濾材10上形成與褶裥制品11的大小相對應的接縫的接縫線切割機3。
[0023]褶裥機50為使一對刀片5在過濾器濾材10的厚度方向(在本實施方式中為上下方向)往復運動的往復式的機器。而且，褶裥機50在被供給的過濾器濾材10上，從厚度方向兩側(cè)推壓一對刀片5而對過濾器濾材10進行褶裥加工。
[0024]被褶裥加工后的過濾器濾材10在由以上下夾持該過濾器濾材10的方式配置的加熱器4加熱后，由背壓件6整理形狀。最后，過濾器濾材10通過橫向裁斷機7沿由接縫線切割機3形成的接縫被切斷。
[0025]作為過濾器濾材10,在濾材透過風速為5.3cm/sec的條件下，粒子徑為0.1 μ m以上的粒子的捕集效率為50%以上(優(yōu)選為90%以上)，并且壓力損失為20Pa以上(優(yōu)選為50Pa以上)且500Pa以下的濾材適合用于空氣過濾器單元。例如，過濾器濾材10為PTFE多孔質(zhì)膜和通氣性支承材料的層疊體。
[0026]PTFE多孔質(zhì)膜例如如下所述制造。首先，將在PTFE微粉末中加入了液狀潤滑劑的混合物通過擠出法及軋制法中的至少一種方法成形為沿規(guī)定方向延伸的片狀，從而得到片狀成形體。接著，通過加熱法或者抽出法從片狀成形體除去液狀潤滑劑，并使片狀成形體干燥。之后，使除去了液態(tài)潤滑劑的片狀成形體向長度方向及寬度方向延伸。
[0027]此外，也可以對PTFE多孔質(zhì)膜實施防油處理。該防油處理可通過例如將含有表面張力小的物質(zhì)的防油劑涂布在PTFE多孔質(zhì)膜上且將其進行干燥來進行。
[0028]通氣性支承材料起到確保過濾器濾材10的強度的效果。通氣性支承材料雖然材質(zhì)、構(gòu)造、形態(tài)沒有特別限定，但通氣性支承材料可以使用通氣性比PTFE多孔質(zhì)膜優(yōu)異的材料，例如無紡布，網(wǎng)狀物(網(wǎng)眼狀網(wǎng))、其它多孔制材料。但是，從強度、捕集性、柔軟性、作業(yè)性的方面出發(fā)，優(yōu)選無紡布。另外，作為通氣性支承材料的材質(zhì)，可使用例如:聚烯烴(聚乙烯(PE)，聚丙烯(PP)等)、聚酰胺、聚酯(聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)等)、芳香族聚酰胺或者它們的復合材料等。
[0029]將PTFE多孔質(zhì)膜和通氣性支承材料接合的方法沒有特別限定，可使用粘接劑層疊體、熱層疊體、加熱熔敷、超聲波熔敷、粘接劑的粘接等方法。
[0030]另外，本實施方式的褶裥加工裝置100中，采用用于防止當進行褶裥加工時在過濾器濾材10上形成因放電而產(chǎn)生的針孔的結(jié)構(gòu)。具體而言，如圖2所示，在褶裥機50的側(cè)方配置有除靜電器30。在本實施方式中，在褶裥機50的兩側(cè)配置有除靜電器30，但也可以根據(jù)過濾器濾材10的寬度，僅在褶裥機50的一側(cè)配置除靜電器30。
[0031]除靜電器30朝向過濾器濾材10的寬度方向的端面及一對刀片5，以風直接接觸刀片5的方式輸送被離子化后的空氣。被離子化后的空氣因為含有陽離子和陰離子，所以對于防止過濾器濾材10和刀片5之間的靜電的放電最為合適。
[0032]優(yōu)選除靜電器30始終輸送被離子化后的空氣。這是因為雖然在刀片5與過濾器濾材10某種程度上接近時引起靜電放電，但這種狀態(tài)不僅在遠離過濾器濾材10的刀片5接近過濾器濾材10時發(fā)生(B卩，在刀片5的前端和過濾器濾材10之間的放電)，而且在刀片5壓入過濾器濾材10的期間也發(fā)生(即，刀片5的側(cè)面和過濾器濾材10之間的放電)。
[0033]以上說明的本實施方式的褶裥加工裝置100中，因為在褶裥加工時過濾器濾材10和刀片5均不處于帶電狀態(tài)，所以能夠防止因放電而在過濾器濾材10上形成針孔。
[0034]實施例
[0035]下面，通過實施例說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限于以下的實施例。
[0036](實施例1)
[0037]作為過濾器濾材，準備如下過濾器濾材:在濾材透過風速為5.3cm/sec的條件下，粒子徑為0.1 μ m以上的粒子的捕集效率為99.9999%以上，并且壓力損失為50Pa以上且500Pa以下，適用于空氣過濾器單元。
[0038]使用如圖1及圖2所示構(gòu)成的褶裥加工裝置，一邊從比除靜電器更靠過濾器濾材的側(cè)方朝向過濾器濾材的端面及一對刀片輸送被離子化后的空氣，一邊對過濾器濾材進行裙裥加工，作為裙裥制品制造10個樣品。此外,就裙裥加工的條件而言,將折彎速度設(shè)為62折/min，將配置于刀片的后方的加熱器的溫度設(shè)為80°C。另外，作為除靜電器，使用春日電機社制的離子噴嘴(MODEL NIH-55)。
[0039](比較例I)
[0040]除了將除靜電器的位置變更為褶裥機的緊上游側(cè)以便朝向過濾器濾材的表面從上方輸送被離子化了的空氣以外，與實施例1同樣地制造10個樣品。
[0041](評價)
[0042]對于實施例1及比較例I的樣品(褶裥加工后的過濾器濾材)，測定捕集效率。具體而言，將通過過濾器濾材(以平面看為IOOcm2)的空氣的速度調(diào)整為5.3cm/秒，向過濾器濾材的上游側(cè)供給IO7個/升的多分散鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)粒子。利用粒子計數(shù)器測定上游側(cè)的空氣中的DOP粒子濃度和透過了過濾器濾材的下游側(cè)的空氣中的DOP粒子濃度，并基于下述式子求出捕集效率。DOP粒子的粒徑為0.1 μ m?0.2 μ m。[0043]捕集效率(％) = [1-(下游側(cè)濃度/上游側(cè)濃度]X 100
[0044]上述的捕集效率的測定結(jié)果是，將捕集效率為99.9999%以上的樣品判定為無泄漏，將此外的情況判定為有泄漏。
[0045]接著，對判定為無泄漏的樣品的一個，根據(jù)“100 —捕集效率(％)”的式子求出透過率(％)，且根據(jù)“一 Log (透過率(％)/100)”的式子求出評價值。即，表示評價值高的一方捕集效率高。此外，褶裥加工前的過濾器濾材的評價值為7.08。
[0046]表1表示有無泄漏的結(jié)果及評價值。
[0047][表 I]
[0048]
【權(quán)利要求】
1.一種過濾器濾材的褶裥加工方法，向過濾器濾材從厚度方向的兩側(cè)推壓一對刀片而對所述過濾器濾材進行褶裥加工時，利用除靜電器從所述過濾器濾材的側(cè)方朝向所述過濾器濾材的端面及所述一對刀片輸送被離子化后的空氣。
2.如權(quán)利要求1所述的過濾器濾材的褶裥加工方法，其中， 所述過濾器濾材包含聚四氟乙烯多孔質(zhì)膜和通氣性支承材料。
3.一種褶裥加工裝置，具備: 往復式褶裥機，向過濾器濾材從厚度方向的兩側(cè)推壓一對刀片而對所述過濾器濾材進行褶裥加工；及 除靜電器，以朝向所述過濾器濾材的端面及所述一對刀片輸送被離子化后的空氣的方式配置于所述褶裥機的側(cè)方。
【文檔編號】D06J1/06GK103547351SQ201280024530
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2012年4月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月28日
【發(fā)明者】川本隆利, 森將明 申請人:日東電工株式會社