專利名稱：超聲波脫脂裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種脫脂裝置，更具體講，涉及一種利用超聲波的脫脂裝置，它用作電子儀器等的脫脂部件。
目前已趨向于全面禁用氟里昂和1，1，1-三氯乙烷，因為它們破壞臭氧層，因而已快速地開發了其他方法和替代物。目前，在清洗裝置中，利用超聲波的脫脂方法已很快得到普及。在這些方法和類似方法中，已經提出了以下技術(1)涉及電鍍裝置的技術，其中將工件裝入多孔桶中并浸于電鍍液(脫脂、酸洗、電鍍和清洗溶液)中進行處理，并且該桶進行旋轉，將超聲波發生器安裝在該裝置上，更具體地，涉及電鍍裝置技術，其中將欲被電鍍的工件裝入多孔桶中并與桶一起浸入電鍍液中，并且，當桶旋轉時，將由超聲發生器產生的超聲波施加在工件之上，因此可以有效地電鍍該工件，如日本實用新型公開No 61-103477中所公開的；一種將裝有欲被電鍍工件的桶放入電鍍液中并且用超聲波振動該電鍍液的技術，如日本專利公開No 59-743000中所公開的；以及一種用有機溶劑清洗感光鼓的鋁管的方法，該方法設計成當旋轉該管時通過超聲波發生器工作而均勻地清洗鋁管的內表面，如日本專利公開No.58-108568中所述；(2)沒有超聲波發生器的技術，例如，使用升/降和運送桶的機械裝置和提供清洗液的技術，以及通過在清洗液中振動工件而清洗被處理工件的技術，更具體地，用由噴口噴出的水噴淋桶而清洗桶中電鍍工件的技術，并從桶和工件上清洗殘余的電鍍溶液，如日本專利公開No.1-100300中所述，在脫脂液和酸洗液中清洗裝有工件的桶的技術(在該技術中，在每一種溶液中都旋轉該桶以充分地清洗，之后進行電鍍和清洗操作)，如日本專利公開No.3-79792中所述，以及一種涉及清洗孔板的裝置的技術，其中，將超聲波振動器與在清洗液中振動該孔板的裝置一起安裝在清洗液中，當改變到超聲波振動器的距離時，該孔板被清洗，因此能均勻地清洗該孔板；以及(3)通過脫氣改善超聲波清洗效率的進行清洗操作的技術(日本專利公開No.63-221878)，1-27680，1-30686，1-123683，4-207030)。
另外，對于處理溶液的脫水來說，提出了以下技術(4)一種當被處理工件在溶液浴之間運送時減少其帶走的處理溶液數量的方法(日本專利公開No.1-100300)；和(5)一種進行充分脫水的方法，根據運送方式，將桶從處理溶液中提出，在該溶液浴上方保持一長段時間。
值得注意地是，方法(4)和(5)兩者均是用于處理易于變形的工件。
在上述的常用技術中，處理溶液的類型不受限制，并且使用適于各特定工藝的處理溶液。作為上述可選擇的清洗(脫脂)方法的必不可少的因素，使用水作為處理溶液是可能的。
參考
圖11，下面敘述用水作為處理溶液的常用脫脂裝置。首先，將被處理工件1402裝入六角形空心柱狀的多孔絲網制成的桶1401中。然后將桶1401放入裝有蒸餾水的清洗區1403中。通過第一脫氣區1409用真空泵1411進一步將清洗區1403脫氣。蒸餾水在清洗區1403和第一脫氣區1409之間循環。當將桶1401放入清洗區1403中時，超聲波發生器1407啟動，并且桶1401被旋轉裝置(未示出)旋轉。當在清洗區1403中的脫氣完成時，利用升降機構1412將工件1402放入裝有含防銹劑的蒸餾水沖洗區1404。同樣在該情況下，用第二脫氣區1410將沖洗區1404進一步脫氣。當桶1401放入沖洗區1404中時，沖洗區1404以與清洗區1403相同的方式操作。隨后，在熱水清洗區1405中用熱水清洗工件1402，并在干燥區1406中用熱空氣鼓風機1408干燥。之后，將工件1402運送到貯存區。
在這種常用技術中，脫脂處理之前和之后工件的狀態用圖進行比較。圖12示出了在不用超聲波的常規裝置中脫脂處理之前，被處理工件上粘附的脂肪和油的吸收率。該吸收率基于紅外分光光度測定法中C-H(碳-氫)拉伸振動。圖13示出了在常用技術的組合中進行脫脂處理之前的脂肪和油的吸收率，例如示于圖11中的技術，即，使用超聲波發生器的脫脂裝置，該裝置除了桶旋轉裝置外，還有脫氣裝置和桶振動裝置。圖14示出了圖12所示情況下在脫脂處理之后，工件粘附的脂肪和油的吸收率。圖14中的吸收率降低到圖12中的約42％(0.0710/0.1664)。圖15示出了圖13所示情況下在脫脂處理之后，工件粘附的脂肪和油的吸收率。圖15中的吸收率降低到圖13的約36％(0.0543/0.14779)。
在上述使用超聲波的常規脫脂裝置中，技術(1)、(2)和(3)的每一種都是僅使用某些用超聲波改善脫脂效率的技術。另外，注意力僅放在了超聲波的特征上，即對被處理工件施加動能，以物理方式使工件脫脂，但沒有將注意力放在粘附在工件表面上的脂肪和油的溫度特征上。即，常用裝置沒能充分提高脫脂能力。
對于脫水處理溶液技術來說，技術(4)不是必須的脫水方法。另外，當重復脫水處理時，溶液的濃度降低。除非帶走的溶液量等于清洗溶液的量，處理溶液的量會增加或減少。還有，由于處理溶液的濃度降低，必須對處理溶液中的主要組分濃度進行分析和試驗，并且必須調整溶液的濃度。對于這些操作，化學物質和廢水處理的成本則增加。
技術(5)設計成通過自由下落而進行脫水，并通過增加桶在液浴之上保持的時間來增加脫水量。當桶在靜止時，限制了被處理工件之間或桶和被處理工件之間浸透的處理溶液的脫水。即，不能實現充分的脫水。
由圖11所述的常用裝置用水作為處理溶液，使用超聲波振動、脫氣、旋轉桶等。也就是說，該裝置是相當滿意的理想條件的脫脂裝置。但是，由于作為處理溶液的蒸餾水不被加熱，在該裝置中，被處理工件表面上的脂肪和油的粘度不降低，不能實現工件的完全脫脂。還有，在每個液浴中脫脂后不能確實地進行脫水。
本發明的目的是提供一種超聲波脫脂裝置，該裝置通過使用超聲波來增加被處理工件表面的脫脂能力。
本發明的另一個目的是提供一個超聲波脫脂裝置，該裝置在脫脂處理之后能充分使被處理工件表面脫水。
為了實現上述目的，根據本發明，提供了一種超聲波脫脂裝置，該裝置包括清洗區、沖洗區、熱水清洗區和干燥區，清洗區具有第一超聲波發生器裝置，用于在第一蒸餾水中產生超聲波，和用于加熱第一蒸餾水的第一加熱器裝置，以進行脫脂處理，包括在由第一加熱器裝置加熱的第一蒸餾水中，用由第一超聲波發生器裝置發生的超聲波來對被處理工件進行清洗處理，該清洗區具有通過循環第一蒸餾水進行脫氣的第一脫氣裝置；沖洗區具有第二超聲波發生器裝置，用于在含有防銹劑的第二蒸餾水中產生超聲波，和用于加熱第二蒸餾水的第二加熱器裝置，以進行脫脂處理，包括在由第二加熱器裝置加熱的第二蒸餾水中，用由第二超聲波發生器裝置發生的超聲波對從清洗區運送來的工件進行沖洗處理，該沖洗區具有通過循環第二蒸餾水進行脫氣的第二脫氣裝置；熱水清洗區具有裝于第三蒸餾水中用于加熱第三蒸餾水的第三加熱器裝置，以在由第三加熱器裝置加熱的第三蒸餾水中用熱水對從沖洗區運送來的工件進行清洗處理；干燥區用于干燥從熱水清洗區運送來的清洗的工件。
圖1是表明根據本發明第一實施例的超聲波脫脂裝置整體裝配方框圖，該裝置用于處理塊狀的被處理工件。
圖2A-2C是表示圖1裝置主要部件的示意圖，其中圖2A表示桶支撐臂的透視圖，圖2b是表示桶的透視圖，圖2c表示桶旋轉和振動部件的安裝圖。
圖3A-3D是表明圖1裝置中脫水操作的示意圖，其中圖3A和3B是桶于上部停止時的正視和側視圖，圖3C是表示桶在傾斜狀態時的正視圖，圖3D是表示壓縮空氣吹入桶中這一狀態的剖面圖。
圖4是表明根據本發明第二實施例的超聲波脫脂裝置的整體裝配方框圖，該裝置用于處理帶狀材料的被處理工件。
圖5A和5B是表示圖4裝置的脫水操作的示意圖，其中圖5A是表示清洗區的正視圖，圖5B是表示清洗區的剖面圖。
圖6是根據本發明第一實施例，表明在脫脂處理之前粘附在被處理工件之上的脂肪和油的吸收率的曲線圖，它基于在紅外分光光度測量法中C-H(碳-氯)的拉伸振動。
圖7是表明脫脂之后粘附于被處理工件上的脂肪和油的吸收率的曲線圖。
圖8是表明與現有技術相比的本發明第一實施例的脫脂處理之后粘附于工件上的脂肪和油的殘留量。
圖9是表明與現有技術相比的本發明第一實施例中于桶中和在被處理工件之上殘留水量。
圖10是表明脂肪和油的一般溫度一粘度特征的曲線圖。
圖11是表明常用的用水作為處理液的超聲波脫脂裝置的整體裝配方框圖。
圖12是表明在不用超聲波的常用裝置中，在脫脂處理之前粘附于被處理工件上的脂肪和油的吸收率的曲線圖。
圖13是表明在由現有技術組合而得到的裝置中，在脫脂處理之前粘附于被處理工件上的脂肪和油的吸收率的曲線圖。
圖14是表明在圖12所示情況下在脫脂處理之后粘附于被處理工件之上的脂肪和油的吸收率的曲線圖。
圖15是表明在圖13所示情況下在脫脂處理之后粘附于被處理工件之上的脂肪和油的吸收率的曲線圖。
結合附圖，下面說明本發明。
圖1表明了根據本發明第一實施例的用于處理塊狀被處理工件的脫脂裝置的整體裝配。圖2A-2C表明了圖1裝置的主要部件。圖2A表明了桶支撐臂，圖2B表示桶，圖2C表示桶的旋轉部件和桶的振動部件。圖3A-3D表明第一實施例的脫水操作，圖3A和3B表明桶停在上部位置，圖3C表明桶處于傾斜狀態，圖3D表明壓縮空氣吹入桶中的狀態。
圖4表明根據本發明第二實施例用于處理帶狀材料被處理工件的脫脂裝置的整體裝配。圖5A和5B表明第二實施例中脫水的例子，圖5A和5B表明清洗區。
圖6-9用于比較本發明的結果，圖10表明一般的油的溫度-粘度特征。
圖1中所示的本發明第一實施例的裝置具有如下基本裝配。
清洗區103、第一沖洗區104、第二沖洗區105、和熱水清洗區106順序并排地配置。每一個區都用蒸餾水作為脫脂處理液，并將蒸餾水貯存在其水槽中。超聲波發生器109和加熱器110分別安裝在清洗區103及第一和第二沖洗區104和105的水槽中。分別具有真空泵114的第一和第二脫氣區112和113連接到清洗區103及第一和第二沖洗區104和105。蒸餾水通過上述各區進行循環。加熱器110安裝在熱水清洗區106中。分別具有熱空氣吹風機111的第一和第二干燥區107和108緊接熱水清洗區106安裝。注意，在第一和第二沖洗區104中所貯存的蒸餾水含有防銹劑。
在這種裝配中，處理的工件通過順序地被浸入從清洗區103至第二干燥區108的水浴中而被脫脂。在第一實施例中，塊狀零件被用作被處理工件102，并且將這些塊狀零件放入桶101中。為了順序地將該桶101放入并浸入上述水浴中，將升降機構115作為運送機構(未示出)中的一部分而安裝在從清洗區103至第二干燥區108每個區的水浴上方。
每一個升降機構115都包括用于在相應水浴中旋轉桶101的機構、用于垂直方向振動桶101的機構、和當桶101垂直運動時用于脫去存留在桶101中和工件102上的殘留處理液的機構。
具有上述裝配的第一實施例的操作過程如下所述。
首先，用升降機械115將裝有工件102的桶101放入清洗區103中，清洗區103在第一脫氣區112用真空泵114預先脫氣，以改善超聲波發生器109的傳播特性。另外，預先用加熱器110將作為處理液的蒸餾水加熱到60-70℃。圖10示出了油粘度和油溫度之間的關系。如圖10所示，知道油溫度升高則粘度下降。當桶101放入清洗區103時，超聲波發生器109開始工作，并且桶101旋轉的同時也開始垂直方向振動。粘附于工件102表面的油的脫脂開始進行，這歸功于各個因素的復合效果，即蒸餾水溫度的增加使工件102表面的油粘度降低，如圖10所示，通過脫氣改善了傳播特性的超聲波產生的物理沖擊，以及桶101的旋轉和振動運動。
當脫脂處理完成時，由升降機構115將桶101升起，并開始脫去桶101中和工件102上的殘余液(脫水的裝配和操作下面詳述)。隨后，將桶101放入第一沖洗區104，第一沖洗區104也預先在第二脫氣區113中脫氣，蒸餾水也預先由加熱器110加熱到60-70℃。當桶101放入第一沖洗區104時，各個因素以在清洗區103相同的方式起作用，由此進行脫脂處理。然后將桶101放入第二沖洗區105。第二沖洗區105的狀態和操作條件與第一沖洗區104的相同。桶101用預先加熱到60℃的熱水清洗區106的熱水清洗。之后，用第一和第二干燥區107和108干燥桶101，每個干燥區都用熱空氣吹風機111噴吹溫度為200-250℃的熱空氣。用升降機構115將桶101運送到貯存區116。
下面說明有關桶101在清洗區103、在第一和第二沖洗區104和105、以及在熱水清洗區106中旋轉和振動的裝配及操作。圖2C示出了桶旋轉和振動機構的裝配，圖2A示出了桶支撐臂209，圖2B示出桶101。安裝在桶101兩側面的桶臂204插在桶支撐臂209的桶臂導軌201中。每個桶臂204被安裝在相應桶支撐臂209兩端的止動爪203鎖住以被固定。當軸208靠旋轉鏈206和旋轉齒輪208被驅動馬達(未示出)旋轉時，桶101靠桶臂導軌201被旋轉。類似滑輪系統，當總支撐臂210靠振動鏈212和振動齒輪213進行垂直運動時，桶101在垂直方向振動。由于這些操作，桶101伴隨超聲波發生器109的工作而同時旋轉和振動。
參照圖3A-3D，下面說明關于脫水的裝配和操作。在下面每一種處理步驟之后脫脂處理、沖洗處理、和用熱水清洗處理，即在下面每一個區圖1中清洗區103、第一沖洗區104、第二沖洗區105和熱水清洗區106，桶101連同支撐臂210和支座211被升降機構升起，如圖3A中箭頭所示。結果是桶101處于圖3A所示的狀態。然后桶101被上述驅動馬達以預定旋轉數旋轉。桶101以圖3B所示狀態停止，即，當六角形桶101的頂點a位于垂直方向的底端時，則進行粗脫水。隨后，類似滑輪系統，支座211的臂靠基于齒輪(未示出)和鏈(未示出)的運動而收緊，停在圖3C的位置，因此在軸向傾斜桶101。由于這種操作，脫水進一步進行。另外，如圖3D所示，借助噴嘴202和柔性管301，處理之后將壓縮空氣b吹向殘余的水和聚集于桶101下端的工件102。同時，處于傾斜狀態的桶101再次被旋轉，由此，進行最終的脫水處理。值得注意的是，壓縮空氣b一次從桶101表面右側和左側噴吹，并且桶101旋轉。因此，粘附于桶101內壁的水也能有效地被脫去。
在上述脫水方法中，通過使用三種手段來進行脫水，即，旋轉桶101，傾斜桶101，和向桶101中噴吹壓縮空氣。然而，根據情況，可以使用上述三種手段中的一種或兩種的結合而進行脫水。
在第一實施例中，將兩對沖洗和干燥區的步驟裝配為第一和第二沖洗區104和105及第一和第二干燥區107和108，以對任何類型的被處理工件都得到高脫脂能力。但是，只要能得到足夠的脫脂能力，根據被處理工件的形狀、類型、和數量，也可僅裝配一對沖洗和干燥區的步驟。
與現有技術相比，本發明具有下列特征(1)對每個水浴都裝配一個加熱裝置(加熱器)以降低油的粘度(依據油的粘度來控制溫度)。在這種情況下，油是粘附于被處理工件上的機油或類似物。
(2)為了改善超聲波的效率，對每個水浴都裝配了桶旋轉機構、桶振動機構、和脫氣裝置。
(3)為了使每個水浴中的清洗溶液的濃度均勻，將桶旋轉并傾斜。
(4)在每一個下述處理之后都噴吹脫水空氣清洗處理、沖洗處理、和用熱水清洗處理。
如圖4所示，根據本發明第二實施例，用于處理帶狀材料的脫脂裝置按命名順序基本地裝配清洗區407、水清洗區408、沖洗區409、水清洗區410、熱水清洗區411、和干燥區412。帶材供料區401裝配在清洗區407之前，而帶材貯料區406裝配在干燥區412之后。。清洗區407和沖洗區409分別具有安裝在其中的超聲波發生器405。每個都包括加熱器403和真空泵404的脫氣區413a-413c分別連接到清洗區407、沖洗區409、和熱水清洗區411。處理液循環經過這些區。值得注意的是，類似于第一實施例，在每個區都用蒸餾水作為處理液。
帶狀被處理工件402由帶材供料區401供出，并經過從清洗區407到干燥區412的各個水浴，這幾個水浴預先已在脫氣區413a-413c進行脫氣。用這種操作，使用超聲波和使用含防銹劑的蒸餾水沖洗處理對工件402進行了脫脂處理。之后，工件402經熱水清洗并干燥，將所得工件402貯存于帶材貯料區406。
在清洗區407到熱水清洗區411每一個處理之后，都進行工件402的脫水。圖5A和5B示出了在清洗區407中脫水的例子。在其他處理區中以相同方式進行脫水。參考圖5A和5B，在清洗區407中，將內清洗區池407a和由柔性管構成的幾個空氣噴嘴414作為脫水區裝配在工件402的運送方向上。在工件402經過內清洗區池407a之后，工件402通過空氣噴嘴414噴出的壓縮空氣在垂直方向的噴吹而被脫水。
本發明第一實施例的效果用脫脂處理后脂肪和油的殘余量以及殘余水量來表示。圖6和7表明了脫脂處理前后粘附于被處理工件上的脂肪和油的吸收率。圖8示出了殘余脂肪和油量，該量與圖7和涉及現有技術的圖14和15所示的吸收率相對應。根據圖6和7中所示的結果，在該實施例中，脫脂處理后的吸收率降到脫脂處理之前的12％或更低(0.0189/0.1619)。如圖8所示，因此，與現有技術(圖14)和現有技術的結合(圖15)相比，表明有效地去除了脂肪和油。也就是，當溶液的溫度增加而使脂肪和油的粘度降低時，用超聲波物理脫脂處理的效率會被大大改善。
圖9表明了脫水處理后桶中和被處理工件表面上的殘余水量。約10000(4kg)塊狀零件放在4kg重的桶中并被處理。處理后，將桶升起并停留5秒鐘，然后測桶的重量，其增加量被認作初始水量。參考圖9，示出了現有技術中桶升起并停留1分鐘后測得的水量，當該現有技術與本發明提出的新脫水裝置的脫水相比較時，就會發現本發明實現了有效的脫水。
很明顯地，在第二實施例中，也象在第一實施例中那樣，會得到明顯有脫脂和脫水效果。
如上所述，用作脫脂處理液的蒸餾水和超聲波是有效地利用。此外，考慮到脂肪和油的溫度一粘度特征，將蒸餾水加熱。對于這些操作，可有效地去除脂肪和油。還有，對于使用桶旋轉和振動操作，可進一步改善脫脂能力。更特殊地，如上述數據所示，可得到高于現有技術至少三倍的脫脂能力。因此，每種后續處理工藝如熱處理、電鍍和裝配的產率可得到改善。
此外，通過在每個處理水槽中都進行脫水，降低了帶走的水或處理液的量。結果是不再需要進行溶液主成份的濃度分析和溶液濃度的調整，當溶液濃度降低時這些是必須。還有，可以大大降低化學試劑的成本和廢水處理的成本。
權利要求
1.一種超聲波脫脂裝置，其特征在于該裝置包括清洗區(103)，具有第一超聲波發生器裝置(109)，用于在第一蒸餾水中產生超聲波，和用于加熱第一蒸餾水的第一加熱裝置(110)，以進行脫脂處理，包括在由所述第一加熱器裝置加熱的第一蒸餾水中，用由第一超聲波發生器裝置發生的超聲波來對被處理工件(102)進行清洗處理，所述清洗區具有通過循環第一蒸餾水進行脫氣的第一脫氣裝置(112)；沖洗區(104、105)，具有第二超聲波發生器裝置(109)，用于在含有防銹劑的第二蒸餾水中產生超聲波，和用于加熱第二蒸餾水的第二加熱器裝置(110)，以進行脫脂處理，包括在由第二加熱器裝置加熱的第二蒸餾水中，包括在由第二加熱器裝置加熱的第二蒸餾水中，用由第二超聲波發生器裝置產生的超聲波對從所述清洗區運送來的工件進行沖洗處理，所述沖洗區具有通過循環第二蒸餾水進行脫氣的第二脫氣裝置(113)；熱水清洗區(106)，具有裝于第三蒸餾水中用于加熱第三蒸餾水的第三加熱器裝置(110)，以在由所述第三加熱器裝置加熱的第三蒸餾水中用熱水對所述沖洗區運送來的工件進行清洗處理；和干燥區(107、108)，用于干燥從所述熱水清洗區運送來的清洗的工件。
2.權利要求1的裝置，還包括用于存放由塊狀零件構成的工件的多孔桶(101)，和升降裝置(115)，用于當將所述桶順序地運送到所述清洗區、所述沖洗區、所述熱水清洗區和所述干燥區時垂直運動所述桶。
3.權利要求2的裝置，還包括旋轉/驅動裝置(206，207)，用于將所述桶旋轉下放到所述清洗區、所述沖洗區和所述熱水清洗區中，和振動裝置(212、213)，用于將所述桶振動下放到所述清洗區，所述沖洗區和所述熱水清洗區中。
4.權利要求2的裝置，還包括裝配在所述升降裝置上的脫水裝置用于當所述桶從所述清洗區、所述沖洗區和所述熱水清洗區升上來時將所述桶中塊狀零件表面脫水。
5.權利要求4的裝置，其中所述的脫水裝置包括旋轉機構(206、207)，用于以預定旋轉數旋轉所述桶。
6.權利要求4的裝置，其中所述的脫水裝置包括傾斜機構(210，211)，用于垂直運動所述桶的一個底端而使所述桶相對水平面傾斜。
7.權利要求4的裝置，其中所述的脫水裝置包括空氣噴吹機構(202，301)，用于將壓縮空氣噴射/噴吹到所述桶中。
8.權利要求4的裝置，其中所述的脫水裝置包括旋轉機構(206、207)，用于以預定旋轉數旋轉所述桶，傾斜機構(210，211)，用于垂直運動所述桶的一個底端而使所述桶相對水平面傾斜，空氣噴吹機構(202，301)，用于將壓縮空氣噴射/噴吹到所述桶中。
9.權利要求1的裝置，其中的第一蒸餾水至第三蒸餾水分別被所述第一至第三加熱器裝置加熱到60-70℃。
10.權利要求1的裝置，其中所述的沖洗區包括一對清洗浴，它裝有第二蒸餾水，并且工件是直線運送到其中的，和所述的干燥區包括一對干燥浴，工件是直線運送到其中的。
11.權利要求1的裝置，還包括第一和第二水清洗區(408，410)，分別裝配在所述清洗區和所述沖洗區之間，及所述沖洗區和所述熱水清洗區之間，用于用水清洗由帶狀材料構成的且由所述清洗區和所述沖洗區運送來的工件。
12.權利要求11的裝置，還包括脫水裝置(414)，用于當帶狀材料從所述清洗區、所述第一水清洗區、所述沖洗區、所述第二水清洗區和所述熱水清洗區中運送時向帶狀材料噴吹壓縮空氣而進行脫水。
全文摘要
一種超聲波脫脂裝置，包括清洗區、沖洗區、熱水清洗區和干燥區。該清洗區具有超聲波發生器，用于在蒸餾水中產生超聲波，和用于加熱水的加熱器，并進行脫脂處理，包括用超聲波在熱水中對被處理工件進行清洗處理。該清洗區具有脫氣區，用于通過循環蒸餾水而進行脫氣。該沖洗區具有超聲波發生器，用于在含有防銹劑的蒸餾水中產生超聲波和用于加熱水的加熱器，并進行脫脂處理，包括用超聲波在熱水中對工件進行沖洗處理。
文檔編號B08B3/04GK1111172SQ9510458
公開日1995年11月8日 申請日期1995年3月30日 優先權日1994年3月30日
發明者鈴木克則, 石川由明, 鈴木典明, 鈴木光孝 申請人:日本電氣株式會社