一種二極管專(zhuān)用清洗液的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種二極管專(zhuān)用清洗液，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液8～10%，EDTA5～10%，離子-非離子表面活性劑5～15%，滲透劑10～20%，N-羥乙基丙二胺5～8%，余量為去離子水。本發(fā)明提供的二極管專(zhuān)用清洗液，成本低廉，原料來(lái)源廣泛，通過(guò)合適量的配置，使得本產(chǎn)品的清洗能力強(qiáng)，用量少，可有效去除金屬離子的污染，不會(huì)對(duì)二極管元件的完整性造成損害。使用PH為6.8～7.0的磷酸/磷酸鹽緩沖液，通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明使用效果最佳，清洗后生物降解性能好，有效防止二極管表面不腐蝕生銹。主要成分采用混合比例為0.5～1∶3～5的陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性劑的混合物，使得本產(chǎn)品的清洗能力強(qiáng)，用量少，效率高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種二極管專(zhuān)用清洗液
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種二極管專(zhuān)用清洗液，屬于電子半導(dǎo)體清洗劑領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 二極管是現(xiàn)代微電子行業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，早在上世紀(jì)二極管制作工藝就已經(jīng)非常成 熟并大量應(yīng)用于電子行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，隨著電子微電子產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，二極管等分立器 件已經(jīng)成為微電子企業(yè)中利潤(rùn)較低，技術(shù)含量較低的行業(yè)，為了保證一定的利潤(rùn)，在二極管 行業(yè)中使用大量對(duì)人體有害的物質(zhì)作為清洗二極管表面的清洗液，如何在保證效果的情況 下研制低成本、無(wú)污染的新型清洗液就成了刻不容緩的要求。
[0003] 迄今為止，各種清洗方式中，以化學(xué)清洗居多，即使用化學(xué)清洗劑以某一設(shè)定的清 洗流程，對(duì)電子元件，尤其是二極管進(jìn)行清洗。當(dāng)前的化學(xué)清洗使用的清洗劑包括有機(jī)溶 劑清洗劑、半水基清洗劑和水基清洗劑，清洗方式主要有噴淋、浸洗、超聲波等，在設(shè)定的技 術(shù)參數(shù)下，對(duì)電子元件，尤其是二極管進(jìn)行清洗。有機(jī)溶劑清洗劑，大多采用易揮發(fā)的諸如 丙酮、乙醇、石油醚、環(huán)己烷、二氯甲烷、三氯乙烯、氟利昂等，該類(lèi)清洗劑存在嚴(yán)重的大氣污 染，對(duì)臭氧層極具破壞性，屬于0DS類(lèi)物質(zhì)，已被國(guó)際有關(guān)組織限制或禁止使用。
[0004] 現(xiàn)有的水基或半水基電子清洗劑，雖然避免了對(duì)大氣環(huán)境的污染，但就其使用效 果而言，在電子元件，尤其是二極管的清洗中缺乏功能性，即難以保證電子元件，尤其是二 極管的完整，對(duì)觸腳、觸點(diǎn)、封口膠、IT0鍍膜、絲印圖案等有較大影響，對(duì)光電特性、電磁特 性、通透性、器件表面物理特性等亦可能造成影響，造成包括二極管的電子元件合格率低、 良品率低，成本增加，使用壽命降低，難以完全滿(mǎn)足清洗要求。
[0005] -般的，二極管制造過(guò)程中的清洗，除使用清洗劑的化學(xué)清洗外，還包括電脈沖清 洗、光清洗、高壓水射流清洗及超聲波清洗等清洗方式。在實(shí)際應(yīng)用中，現(xiàn)有的各種清洗方 式總是存在各種難以克服的技術(shù)缺陷或者法規(guī)上的限制，難以滿(mǎn)足現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展的要求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006] 本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種二極管專(zhuān)用清洗液，清洗能 力強(qiáng)，用量少，可有效去除金屬離子的污染，不會(huì)對(duì)二極管元件的完整性造成損害。
[0007] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種二極管專(zhuān)用清洗液，其創(chuàng)新 點(diǎn)在于：包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液8?10%，EDTA5?10%，尚子-非尚子表面 活性劑5?15%，滲透劑10?20%，N-羥乙基丙二胺5?8%，余量為去離子水。
[0008] 進(jìn)一步的，包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液9%，EDTA7%，離子-非離子表面 活性劑10%，滲透劑15%，N-羥乙基丙二胺6%，余量為去離子水。
[0009] 進(jìn)一步的，所述磷酸溶液為磷酸/磷酸鹽緩沖液或磷酸鹽或磷酸鉀或磷酸三鈉。
[0010] 進(jìn)一步的，所述磷酸/磷酸鹽緩沖液的PH為6. 8?7. 0。
[0011] 進(jìn)一步的，所述離子-非離子表面活性劑是由陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活 性劑混合而成，陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性劑的混合比例為0. 5?1 :3?5。
[0012] 進(jìn)一步的，所述滲透劑為十二烷基苯磺酸鈉與異丙基苯磺酸鈉的混合物，其中， 十二燒基苯磺酸鈉：異丙基苯磺酸鈉=2?3 :1。
[0013] 進(jìn)一步的，所述去離子水的電導(dǎo)率為s/cm，電阻率為18. 2?20. 5MQ ? cm。
[0014] 本發(fā)明的有益效果如下： (1)本發(fā)明提供的二極管專(zhuān)用清洗液，成本低廉，原料來(lái)源廣泛，通過(guò)合適量的配置，使 得本產(chǎn)品的清洗能力強(qiáng)，用量少，可有效去除金屬離子的污染，不會(huì)對(duì)二極管元件的完整性 造成損害。
[0015] (2)本發(fā)明提供的二極管專(zhuān)用清洗液，以磷酸溶液為磷酸/磷酸鹽緩沖液或磷酸 鹽或磷酸鉀或磷酸三鈉、離子-非離子表面活性劑由陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性 劑混合而成，滲透劑為十二烷基苯磺酸鈉與異丙基苯磺酸鈉的混合物，混合比例為2?3 : 1、去離子水的電導(dǎo)率為s/cm，電阻率為18. 2?20. 5MQ ? cm，生產(chǎn)出的清洗劑更環(huán)保， 減少環(huán)境污染，不危害操作者健康，并且清洗效率高，清洗時(shí)間短，滲透力高，在組分中不含 亞硝酸鹽，生物降解性能好，可對(duì)二極管表面的金屬離子，有機(jī)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)和固體粒子進(jìn)行 清洗，對(duì)清洗后二價(jià)管表面還起到防腐防銹作用。
[0016] (3)本發(fā)明提供的二極管專(zhuān)用清洗液，使用PH為6. 8?7. 0的磷酸/磷酸鹽緩 沖液，通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明使用效果最佳，清洗后生物降解性能好，有效防止二極管表面不腐蝕生 銹。
[0017] (4)本發(fā)明提供的二極管專(zhuān)用清洗液，主要成分采用混合比例為0. 5?1 :3?5的 陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性劑的混合物，使得本產(chǎn)品的清洗能力強(qiáng)，用量少，效率 商。
【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作詳細(xì)說(shuō)明。
[0019] 實(shí)施例1 一種二極管專(zhuān)用清洗液，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液8? 10%，EDTA5?10%，離子-非離子表面活性劑5?15%，滲透劑10?20%，N-羥乙基丙二胺 5?8%，余量為去尚子水。
[0020] 其中，磷酸溶液為磷酸/磷酸鹽緩沖液，且磷酸/磷酸鹽緩沖液的PH為6. 8? 7. 0 ； 離子-非離子表面活性劑是由陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性劑混合而成，陽(yáng)離 子表面活性劑和非離子表面活性劑的混合比例為0. 5?1 :3?5 ; 滲透劑為十二烷基苯磺酸鈉與異丙基苯磺酸鈉的混合物，其中，十二烷基苯磺酸鈉：異 丙基苯磺酸鈉=2?3 :1 ; 去離子水的電導(dǎo)率為4u s/cm，電阻率為18. 2?20. 5MQ ? cm。
[0021] 將上述成分按照配比量加入到容器中，在37°C下攪拌40min后，靜置lh，即可得到 本實(shí)施例的二極管專(zhuān)用清洗液。
[0022] 實(shí)施例2 在實(shí)施例1基礎(chǔ)上，包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液8?10%，EDTA5?10%，離 子-非離子表面活性劑5?15%，滲透劑10?20%，N-羥乙基丙二胺5?8%，余量為去離 子水。
[0023] 其中，磷酸溶液為磷酸鹽；離子-非離子表面活性劑中陽(yáng)離子表面活性劑和非離 子表面活性劑的混合比例為0. 5?1 :3?5 ;滲透劑中十二燒基苯磺酸鈉：異丙基苯磺酸鈉 =2 ?3 :1。
[0024] 不僅限于，磷酸溶液還可以為磷酸鉀或磷酸三鈉。
[0025] 將上述成分按照配比量加入到容器中，在37°C下攪拌40min后，靜置lh，即可得到 本實(shí)施例的二極管專(zhuān)用清洗液。
[0026] 實(shí)施例3 在實(shí)施例1或2的基礎(chǔ)上，改變成分比例，具體為：磷酸溶液9%，EDTA7%，離子-非離子 表面活性劑10%，滲透劑15%，N-羥乙基丙二胺6%，余量為去離子水。按照實(shí)施例1或2的 成分選擇以及配比確定后，將上述成分按照配比量加入到容器中，在37°C下攪拌40min后， 靜置lh，即可得到本實(shí)施例的二極管專(zhuān)用清洗液。
[0027] 將以上實(shí)施例進(jìn)行各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)分析中心檢測(cè)值與國(guó)家行業(yè)指標(biāo)進(jìn)行對(duì)比，對(duì)比 表如下表1所示：
【權(quán)利要求】
1. 一種二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：包括以下重量百分比的成分：磷酸溶液8? 10%，EDTA5?10%，離子-非離子表面活性劑5?15%，滲透劑10?20%，N-羥乙基丙二胺 5?8%，余量為去尚子水。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：包括以下重量百分比的成 分：磷酸溶液9%，EDTA7%，離子-非離子表面活性劑10%，滲透劑15%，N-羥乙基丙二胺6%， 余量為去尚子水。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：所述磷酸溶液為磷酸/磷 酸鹽緩沖液或磷酸鹽或磷酸鉀或磷酸三鈉。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：所述磷酸/磷酸鹽緩沖液 的PH為6. 8?7. 0。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：所述離子-非離子表面活 性劑是由陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表面活性劑混合而成，陽(yáng)離子表面活性劑和非離子表 面活性劑的混合比例為0. 5?1 :3?5。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：所述滲透劑為十二烷基苯 磺酸鈉與異丙基苯磺酸鈉的混合物，其中，十二燒基苯磺酸鈉：異丙基苯磺酸鈉=2?3 :1。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管專(zhuān)用清洗液，其特征在于：所述去離子水的電導(dǎo)率為 s/cm，電阻率為 18. 2 ?20. 5MQ ? cm。
【文檔編號(hào)】C11D3/60GK104450281SQ201410650972
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年11月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月17日
【發(fā)明者】黃麗鳳, 王志敏, 張龍 申請(qǐng)人:如皋市大昌電子有限公司