一種清洗機安全系統的制作方法
【專利摘要】本發明提供一種清洗機安全系統，包括：清洗室，清洗室具有進料口，進料口的上方設置有與進料口匹配的安全門；壓力傳感器，壓力傳感器設置于進料口底部；其中，當安全門關閉后，安全門對進料口底部產生壓力值，壓力傳感器感應到壓力值后，清洗機進行清洗工藝；當壓力傳感器感應到壓力值消失后，清洗機停止清洗工藝；因此通過該發明可以有效的避免安全隱患的問題，智能化、自動化的實現了對工人的安全保護。
【專利說明】一種清洗機安全系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及到半導體集成電路制造領域，尤其涉及到一種清洗機安全系統。
【背景技術】
[0002]現今，隨著經濟的發展以及各種高新技術的提高，各個生產設備趨近于安全化、自動化、智能化的發展趨勢。因此對這些機器設備改進之后，可以有效節約生產勞動力，提高設備生產的效率，使得工廠的各個生產線逐漸走上了自動化的路線。當然在整個設備生產過程中通常會使用到具有自動操作功能的清洗機對工件進行裝配前的清洗程序，為了安全起見在需要清洗的清洗室內設有安全門，在需要的時候可以打開或者關閉安全門對清洗室內的環境進行操作。
[0003]中現有技術中，清洗機在清洗的過程，它的安全門是可以隨意開啟的，并且由于清洗是按照先進行酸槽浸泡，后進行水槽浸泡并加以沖洗，而水槽是最接近安全門，這樣就可能帶來一系列難以預料的安全問題，如清洗液濺出對人體皮膚造成損傷、對人員誤入的肢體造成損害等其它機械危險。
[0004]中國專利(CN202238730U)公開了一種清潔裝置，意在提供一種帶安全門鎖的清洗機，以解決現有技術中清洗室易被誤操作打開的問題。該目的可以通過以下措施來達到:帶安全門鎖的清洗機包括有機架，機架上的清洗室設有安全門，清洗室內設有噴頭，其特征是:所述安全門上設有安全門開關。在上述方案中，在安全門上增加了安全門鎖，保證了安全門不會在操作人員不小心的情況下被打開，避免了一系列安全問題的發生。
[0005]中國專利(CN103639165A)公開了一種安全自動清洗裝置，包括清洗機頭、清洗架、鋪設于清洗架上的清洗鏈以及設置于清洗架側面的防護板，清洗機頭設置于清洗架上，位于清洗架中部，防護板有兩塊，分別焊接在清洗架兩頭的側面，防護板能隔開所述清洗鏈，使得工人與清洗鏈不會接觸，也并不會因為清洗鏈的滾動而造成嚴重的安全隱患。在使得清洗操作趨向于自動化效果的同時也有效保證了工人的安全，符合現今大工業機器化生產的趨勢。
[0006]上述兩項專利均公開了用于避免安全隱患的清洗裝置，雖然在很大的程度上有效的保護了工人的安全，但是對于現今技術的自動化、智能化生產設備，上述的兩項清洗裝置設計比較復雜，而且需要人工操作，不易實施。
【發明內容】
[0007]鑒于上述問題，本發明提供一種清洗機安全系統，通過該裝置可以有效的避免安全隱患，易于操作，而且實現了對工人智能化、自動化的保護。
[0008]本發明解決上述技術問題所采用的技術方案為:
[0009]一種清洗機安全系統，其特征在于，所述系統包括:
[0010]一清洗室，所述清洗室具有進料口，所述進料口的上方設置有與所述進料口匹配的安全門；
[0011]一壓力傳感器，所述壓力傳感器設置于所述進料口底部；
[0012]其中，當所述安全門關閉后，所述安全門對所述進料口底部產生壓力值，所述壓力傳感器感應到所述壓力值后，所述清洗機進行清洗工藝；當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述清洗機停止所述清洗工藝。
[0013]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述系統還包括一自動化裝置，所述自動化裝置與所述壓力傳感器信號連接；
[0014]當所述壓力傳感器感應到所述壓力值后發送相應的消息至所述自動化裝置，所述自動化裝置驅動所述清洗機進行清洗工藝；當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后發送對應的消息至所述自動化裝置，所述自動化裝置驅動所述清洗機停止所述清洗工藝。
[0015]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述系統還包括一報警裝置，所述報警裝置與所述壓力傳感器信號連接，當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述報警裝置發出警報。
[0016]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述系統還包括一顯示裝置，所述顯示裝置與所述壓力傳感器信號連接，當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述顯示裝置上顯示警報信息。
[0017]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述壓力傳感器的數量至少為兩個。
[0018]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述壓力傳感器的數量為兩個，且該兩個所述壓力傳感器對稱設置于所述進料口的下方兩側。
[0019]上述的一種清洗機安全系統，其中，所述安全門的材質為透明材料。
[0020]上述技術方案具有如下優點或有益效果:
[0021]上述技術方案通過在清洗機的進料口下方設有兩個壓力傳感器，該壓力傳感器通過信號連接于一個自動化裝置，只有壓力傳感器感受到來自安全門的壓力值之后，并發出相應的消息發送到該自動化裝置，該自動化裝置驅動清洗機進行清洗工藝，否則，自動化裝置驅動清洗機停止清洗工藝，而且在清洗機進行清洗工藝的過程中該自動化裝置無法打開安全門，若強制打開，壓力傳感器感受到安全門的壓力值消失后，發出對應的消息發送到自動化裝置，停止驅動清洗機的清洗工藝，與此同時與壓力傳感器信號連接的一報警裝置發出報警。因此通過該技術方案可以有效的避免安全隱患的問題，智能化、自動化的實現了對工人的安全保護。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]參考所附附圖，以更加充分的描述本發明的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構成對本發明范圍的限制。
[0023]圖1是本發明中一種清洗機安全系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0024]本發明提供一種清洗機安全系統，可應用于技術節點為90nm、65/55nm、45/40nm、32/28nm、大于等于130nm以及小于等于22nm的工藝中；可應用于MEMS技術平臺中。
[0025]本發明的清洗機安全系統主要包括:
[0026]一清洗室，該清洗室具有進料口，該進料口的上方設置有與該進料口匹配的安全門；
[0027]一壓力傳感器，該壓力傳感器設置于該進料口底部；
[0028]其中，當安全門關閉后，安全門對進料口底部產生壓力值，壓力傳感器感應到壓力值后，清洗機進行清洗工藝；當壓力傳感器感應到壓力值消失后，清洗機停止清洗工藝。
[0029]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。
[0030]在本發明的實施例中，如圖1所示，一種清洗機安全系統，其內部設有一清洗室2，在清洗室內2還設有一個進料口 3，進料口 3上方設置有一安全門1，該安全門I與進料口3相匹配可用于關閉進料口 3，防止在清洗機進行清洗工藝時靠近進料口 3的一水槽的酸液濺出，造成人身傷害。
[0031]優選的，上述安全門I的材質為透明材料。
[0032]在上述的進料口 3底部設有若干個壓力傳感器4，該壓力傳感器4均通過信號連接一自動化裝置。當壓力傳感器4感應到來自安全門I的壓力值后發送相應的消息至該自動化裝置，該自動化裝置驅動清洗機進行清洗工藝；當壓力傳感器4感應到來自安全門I的壓力值消失后發送對應的消息至該自動化裝置，該自動化裝置驅動清洗機停止所述清洗工
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[0033]優選的，上述壓力傳感器4的數量為2個。
[0034]優選的，上述2個壓力傳感器4對稱設置于清洗室2的進料口下方兩側。
[0035]另外，與壓力傳感器4連接的還包括一報警裝置，當壓力傳感器4感應到來自安全門I的壓力值消失后，該報警裝置會發出警報，并通過與壓力傳感器4信號連接的一顯示裝置顯示報警信息，用于及時的通知工作人員清洗機的工作狀態。
[0036]其中，上述顯示裝置中設有控制清洗機運行狀態和安全門狀態的開關，并與清洗機信號連接。
[0037]在本發明的實施例中，在進行設備工藝生產之前需要對清洗機的清洗室2進行清洗，若控制顯示裝置上控制安全門I狀態的開關使清洗室2的進料口 3處于一種敞開狀態，此時兩個壓力傳感器4均未感受到來自安全門I的壓力值，上述的自動化裝置沒有接收到來自壓力傳感器4發出的信息，此時，與壓力傳感器4連接的報警裝置發出報警信息并通過顯示裝置顯示出來，通過控制清洗機運行狀態的開關驅動清洗機停止清洗工藝。
[0038]若通過控制顯示裝置上的控制安全門I狀態的開關室清洗室的進料口 3處于封閉狀態，即安全門封閉進料口 3，此時兩個壓力傳感器4均感受到來自安全門I的壓力值，上述的自動化裝置接收到來自壓力傳感器4發出的信息，此時，與壓力傳感器4連接的報警裝置未發出報警信息并通過顯示裝置顯示出來，通過控制清洗機運行狀態的開關驅動清洗機進行清洗工藝，并且在清洗機進行清洗工藝的過程中，該自動化裝置和顯示裝置均無法打開安全門1，若人為強制性的打開，則會觸發報警裝置引發報警，同時停止清洗機的清洗工藝。
[0039]綜上所述，本實施例中，通過在清洗機的進料口下方設有兩個壓力傳感器，該壓力傳感器通過信號連接于一個自動化裝置，只有壓力傳感器感受到來自安全門的壓力值之后，并發出相應的消息發送到該自動化裝置，該自動化裝置驅動清洗機進行清洗工藝，否貝1J，自動化裝置驅動清洗機停止清洗工藝，而且在清洗機進行清洗工藝的過程中該自動化裝置無法打開安全門，若強制打開，壓力傳感器感受到安全門的壓力值消失后，發出對應的消息發送到自動化裝置，停止驅動清洗機的清洗工藝，與此同時與壓力傳感器信號連接的一報警系統發出報警。因此通過該技術方案可以有效的避免安全隱患的問題，智能化、自動化的實現了對工人的安全保護。
[0040]對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和范圍內。
【權利要求】
1.一種清洗機安全系統，其特征在于，所述系統包括: 一清洗室，所述清洗室具有進料口，所述進料口的上方設置有與所述進料口匹配的安全門； 一壓力傳感器，所述壓力傳感器設置于所述進料口底部； 其中，當所述安全門關閉后，所述安全門對所述進料口底部產生壓力值，所述壓力傳感器感應到所述壓力值后，所述清洗機進行清洗工藝；當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述清洗機停止所述清洗工藝。
2.如權利要求1所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述系統還包括一自動化裝置，所述自動化裝置與所述壓力傳感器信號連接； 當所述壓力傳感器感應到所述壓力值后發送相應的消息至所述自動化裝置，所述自動化裝置驅動所述清洗機進行清洗工藝；當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后發送對應的消息至所述自動化裝置，所述自動化裝置驅動所述清洗機停止所述清洗工藝。
3.如權利要求2所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述系統還包括一報警裝置，所述報警裝置與所述壓力傳感器信號連接，當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述報警裝置發出警報。
4.如權利要求3所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述系統還包括一顯示裝置，所述顯示裝置與所述壓力傳感器信號連接，當所述壓力傳感器感應到所述壓力值消失后，所述顯示裝置上顯示警報信息。
5.如權利要求1所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述壓力傳感器的數量至少為兩個。
6.如權利要求5所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述壓力傳感器的數量為兩個，且該兩個所述壓力傳感器對稱設置于所述進料口的下方兩側。
7.如權利要求1所述的一種清洗機安全系統，其特征在于，所述安全門的材質為透明材料。
【文檔編號】B08B13/00GK104438267SQ201410164072
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年4月22日 優先權日:2014年4月22日
【發明者】張瑜, 俞瑋, 秦貴明 申請人:上海華力微電子有限公司