專利名稱：排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體光刻領域，尤其涉及一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺。
背景技術：
半導體光刻過程中的涂膠顯影機臺，其結構如圖I所示，包括涂膠腔室10、晶圓承載臺11及排氣管道12，所述晶圓承載臺11設于所述涂膠腔室10內部，晶圓片放置于所述晶圓承載臺11上，目前，所述排氣管道12為由一根豎向管道121與一根橫向管道122相互連接組成的彎管，該豎向管道121與所述涂膠腔室10相連通，用以排放涂膠腔室內的氣體， 在涂膠過程中，所述涂膠顯影機臺利用高速旋轉的電機帶動所述晶圓承載臺11旋轉，在此過程中，80%左右的光阻會被甩掉，這80%左右的光阻中的大部分光阻會順著所述排氣管道12流走，還有小部分因高速旋轉而形成的微小顆粒會慢慢吸附在排氣管道12的豎向管道121的管壁上，隨著顆粒數量的增加，這些附著的小顆粒會對后續的晶圓產生不良影響， 具體地，當顆粒物達到一定程度后，顆粒容易飄落到涂膠腔室內，一旦落在晶圓表面上，會在晶圓表面形成各類缺陷，例如是球缺陷，使得產品良率顯著降低。目前的處理方法為將排氣管道拆卸后噴灑溶劑(稀釋劑)來清洗光阻固化粉塵顆粒，但拆卸過程繁瑣且消耗一定的人力物力。因此，如何提供一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。
發明內容
本發明的目的在于提供一種排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺，以解決現有排氣管道拆除清洗繁瑣的問題。為解決上述技術問題，提供了一種排氣管道自動清潔裝置，設置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴和排液管，所述噴嘴設置于所述第一管的內壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第
一管連通。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述排液管中設有第一開關閥門。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第二管中還設有一第二開關閥門。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，，所述排液管中還設有一單向閥門。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第一管豎向設置。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第二管和第一管的夾角小于90度。優選的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述噴嘴可選用一個或多個。
本發明還提供了一種涂膠顯影機臺，包括設于涂膠腔室內的晶圓承載臺以及與所述涂膠腔室連通的排氣管道，所述排氣管道上設有如上所述的排氣管道自動清潔裝置。本發明提供的排氣管道自動清潔裝置，設置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴與排液管，所述噴嘴設置于所述第一管的內壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。通過設置噴嘴可以定期自動或人為控制向所述排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，從而達到在不拆洗排氣管道的前提下，及時清洗累積在排氣管道內壁上的光阻粉塵顆粒的目的。同理，本發明提供的涂膠顯影機臺，通過在排氣管道設置如上所述的排氣管道自動清潔裝置，通過噴嘴可以定期自動或人為控制向所述排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，從而達到在不拆洗排氣管道的前提下，及時清洗累積在排氣管道內壁上的光阻粉塵顆粒的目的，節省了拆裝排氣管道所需的人力、物力，減少了機臺的停工期，有效增加產能及生產效率。
圖I為現有的涂膠顯影機臺結構示意圖；圖2為本發明的排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺的結構示意圖。
具體實施例方式為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的具體實施方式
做詳細的說明。請參閱圖2，圖2所示為本發明的排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺的結構示意圖。由圖2可見，本實施例提供的涂膠顯影機臺，包括涂膠腔室20、晶圓承載臺21和排氣管道22以及設置于所述排氣管道22上的排氣管道自動清潔裝置，所述晶圓承載臺21位于所述涂膠腔室20中央位置，所述晶圓放置于所述晶圓承載臺21上，所述排氣管道22設置于所述涂膠腔室20的底部，并與所述涂膠腔室20連通。請繼續參閱圖2，所述排氣管道自動清潔裝置，所述排氣管道是由第一管221和第二管222連接組成的彎管，所述第一管221與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室20連通。所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴225和排液管223，所述噴嘴225設置于所述第一管的內壁，所述排液管223連接于所述第一管221的下方并與所述第一管221 連通。由于在所述排氣管道22的第一管222的內壁設置噴嘴225，可以通過定期自動或人為控制噴嘴225向所述排氣管道22的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管221噴灑清洗溶劑， 因而，可以在不拆洗排氣管道21的前提下，及時清洗累積于排氣管道21內壁的光阻粉塵顆粒，節省了拆裝排氣管道所需的人力、物力，減少了機臺的停工期，增加產能及生產效率。較佳地，所述排液管223中還設有第一開關閥門224。如此，可以在所述噴嘴225 噴灑清洗溶劑清洗排氣管道21時，打開所述第一開關閥門224，使得溶液流入所述排液管 223中。而在所述噴嘴225不噴灑溶劑時，所述第一開關閥門224保持關閉狀態，從而保持所述排氣管道22的吸力。
較佳的，所述第二管222中設有一第二開關閥門226。通過在所述第二管222中增設第二開關閥門226，可以在所述噴嘴225噴灑清洗溶劑清洗排氣管道21時，并打開所述第一開關閥門224的情況下，通過關閉第二開關閥門226，可以防止清洗溶劑流入第二管222 中，從而可以使得清洗溶劑順利經所述排液管223進行排放。較佳的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第一管221豎向設置，從而可以在一定程度上避免涂膠腔室20內的光阻粉塵顆粒流入第一管221內。較佳的，在上述的排氣管道自動清潔裝置中，所述第二管和第一管的夾角小于90 度，即所述第二管222采用向所述第一管221傾斜的設計。如此，可以進一步防止清洗溶劑流入所述第二管222中。較佳地，所述排液管223中還設有一單向閥門227，以防止溶液回流。較佳地，所述噴嘴225可選用一個或多個，可按照管道粗細、清潔周期等因素調整所述噴嘴225的個數。本實施例中，所述噴嘴225的數量是兩個，相對設置于所述第一管 221上靠近涂膠腔室20的部位的內壁上，從而可以徹底清洗積累于所述第一管221內壁上的光阻粉塵顆粒。綜上所述，本發明提供的排氣管道自動清潔裝置及涂膠顯影機臺，通過在排氣管道設置如上所述的排氣管道自動清潔裝置，通過設置噴嘴可以定期自動或人為控制向所述排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，從而達到在不拆洗排氣管道的前提下，及時清洗累積在排氣管道內壁上的光阻粉塵顆粒的目的，節省了拆裝排氣管道所需的人力、物力，減少了機臺的停工期，有效增加產能及生產效率。顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求
1.一種排氣管道自動清潔裝置，設置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，所述第一管與所述涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，其特征在于，所述排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴和排液管，所述噴嘴設置于所述第一管的內壁，所述排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。
2.如權利要求I所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述排液管中設有第一開關閥門。
3.如權利要求I所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第二管中還設有一第二開關閥門。
4.如權利要求I所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述排液管中還設有一單向閥門。
5.如權利要求I所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第一管豎向設置。
6.如權利要求5所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述第二管和第一管的夾角小于90度。
7.如權利要求I所述的排氣管道自動清潔裝置，其特征在于，所述噴嘴可選用一個或多個。
8.—種涂膠顯影機臺，包括設于涂膠腔室內的晶圓承載臺以及與所述涂膠腔室連通的排氣管道，其特征在于，所述排氣管道上設有如權利要求I 7中任意一項所述的排氣管道自動清潔裝置。
全文摘要
本發明涉及半導體光刻領域，提供了一種排氣管道自動清潔裝置，其設置于涂膠顯影機臺的排氣管道，所述排氣管道是由第一管和第二管連接組成的彎管，第一管與涂膠顯影機臺的涂膠腔室連通，排氣管道自動清潔裝置包括外接清洗溶劑源的噴嘴和排液管，噴嘴設置于所述第一管的內壁，排液管連接于所述第一管的下方并與所述第一管連通。本發明還提供了一種涂膠顯影機臺，包括設于涂膠腔室內的晶圓承載臺以及與所述涂膠腔室連通的排氣管道，排氣管道上設有如上所述的排氣管道自動清潔裝置。通過噴嘴可以向排氣管道的容易積累光阻粉塵顆粒的第一管噴灑清洗溶劑，達到在不拆洗排氣管道的前提下及時清洗累積在排氣管道內壁上的光阻粉塵顆粒的目的。
文檔編號B08B9/032GK102601084SQ20121006109
公開日2012年7月25日 申請日期2012年3月9日 優先權日2012年3月9日
發明者凌意明, 周孟興, 江瑞星, 王逸爾 申請人:上海宏力半導體制造有限公司