專利名稱：一種用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片的制造技術，具體涉及一種用溶劑溶液自動清洗硅片的動態
直O
背景技術：
碲鎘汞紅外探測器在研制過程中步驟繁多，其工藝涉及到表面處理、介質膜、光刻、P-N成結、腐蝕、金屬電極、互連等一系列工藝，而且每道工藝都要進行溶劑溶液清洗過程。硅片是一種脆性材料，對其樣品的拿取和溶劑溶液清洗的方式及其重要。傳統的操作方法用金屬攝子夾取在溶劑溶液中通過超聲波震蕩方法或者手動晃蕩方法來清洗。
實用新型內容本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺陷，要提出硅片在溶劑溶液中動態作用下的一種清洗裝置，通過該裝置來解決現有清洗中存在的問題。為實現上述目的，本實用新型的技術方案是設計一種用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置，所述裝置包括滑槽、驅動板、平衡連接桿、滑塊、石英燒杯、有機或無機溶液、固定架、恒溫水浴、恒溫水槽、撥盤、撥桿、力臂桿、步進電機、步進調速電源、導軌、主桿架、花籃手柄和聚四氟乙烯多孔花籃，其特征在于，所述的聚四氟乙烯多孔花籃通過螺紋接在花籃手柄的下端，所述花籃手柄的上端與力臂桿的一端成90°的彈性銜接以方便花籃手柄的卸取，所述聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄垂吊在力臂桿上；在所述力臂桿的另一端通過螺紋連接在滑塊上，所述滑塊帶動力臂桿在導軌上垂直上下移動，為了使所述滑塊平穩移動將其兩端固定在平衡連接桿上；所述平衡連接桿的另端與驅動板固定銜接；所述的主桿架是一個弓字形結構，下端通過固定架緊套在恒溫水槽上保證整個裝置不會因為偏重而傾斜，上端固定步進電機。本實用新型的優點和有益效果在于1、由于碲鎘汞硅片豎立于花籃中間，有機或無機溶液通過多孔花籃流暢的沖浪， 達到全面清洗的目的。2、由于步進電機可輸出穩定的轉速，可以保證工藝的可靠性和可重復性。3、由于硅片有大有小，聚四氟乙烯多孔花籃可隨意更換大小。4、由于聚四氟乙烯多孔花籃的可換性，力臂桿的長短也隨之可換。
圖1是本實用新型用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置主視圖；圖2是本實用新型用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置側視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。如圖1、2所示，本實用新型是用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置，其特點在于1、硅片松舒自由地放置于聚四氟乙烯多孔花籃里。2、通過聚四氟乙烯多孔花籃，硅片在有機溶液或無機溶液里做上下運動。3、使用的有機或無機溶液又處于恒溫水槽中恒定溫度。4、聚四氟乙烯多孔花籃通過機械結構連接在電機形成自動化運動狀態，清洗過程達到有效的一致性和重復性。該裝置，包括滑槽1，驅動板2，平衡連接桿3，滑塊4，石英燒杯5，有機或無機清洗溶液6，固定架7，恒溫水浴8，恒溫水槽9，撥盤10，撥桿11，力臂桿12，步進電機13，電源 14，導軌15，主桿架16，花籃手柄17，硅片18，聚四氟乙烯多孔花籃19。所述的聚四氟乙烯多孔花籃通過螺紋螺接在花籃手柄的下端101 ；為使花籃手柄的卸取方便，花籃手柄的上端與力臂桿的一端呈90°的彈性銜接201，這樣，聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄垂吊在力臂桿上。為了承載聚四氟乙烯多孔花籃里被清洗的硅片的數量多或少，可以根據需要更換力臂桿的長短。力臂桿的另一端螺接301在滑塊上，滑塊帶動力臂桿在導軌上垂直上下移動，為了使滑塊平穩移動兩端固定在平衡連接桿401上。平衡連接桿的另端與驅動板固定銜接501。所述的主桿架是一個弓字形結構，下端通過固定架緊套在恒溫水槽9上，整個裝置不會因為偏重而傾斜。上端固定步進電機。啟動步進電機撥盤轉動，帶動撥桿作圓周運動，由于撥桿被套在驅動板的滑槽內， 所以帶動驅動板作上下運動。所述的滑槽，滑槽的長短可根據聚四氟乙烯多孔花籃上下移動時被清洗硅片不露出石英燒杯液面的原則設計而成，滑槽越長，上下移動的距離越大，反之，距離變小。該裝置通過以上構造連接形成一個上下移動的動態模式，以至于達到清洗目的。 也就形成了用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置。將有機或無機清洗溶液6灌入石英燒杯5，石英燒杯置于恒溫水槽9水浴8中。將硅片18豎立于聚四氟乙烯多孔花籃19中浸入灌有溶劑的石英燒杯內，接通電源14啟動步進電機13帶動撥盤10撥桿11在滑槽1內作圓周運動，滑塊在導軌15內上下移動，聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄17、力臂桿12、滑塊4、滑槽1等部件連接上下提拉運動，達到動態清洗的目的。本裝置用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置，已經成功用于紅外探測器研制工藝中。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1. 一種用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置，所述裝置包括滑槽、驅動板、平衡連接桿、滑塊、石英燒杯、有機或無機溶液、固定架、恒溫水浴、恒溫水槽、撥盤、撥桿、力臂桿、步進電機、步進調速電源、導軌、主桿架、花籃手柄和聚四氟乙烯多孔花籃，其特征在于，所述的聚四氟乙烯多孔花籃通過螺紋接在花籃手柄的下端，所述花籃手柄的上端與力臂桿的一端成90°的彈性銜接以方便花籃手柄的卸取，所述聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄垂吊在力臂桿上；在所述力臂桿的另一端通過螺紋連接在滑塊上，所述滑塊帶動力臂桿在導軌上垂直上下移動，為了使所述滑塊平穩移動將其兩端固定在平衡連接桿上；所述平衡連接桿的另端與驅動板固定銜接；所述的主桿架是一個弓字形結構，下端通過固定架緊套在恒溫水槽上保證整個裝置不會因為偏重而傾斜，上端固定步進電機。
專利摘要本實用新型公開了一種用溶劑溶液自動清洗硅片的動態裝置，聚四氟乙烯多孔花籃通過螺紋接在花籃手柄的下端，花籃手柄的上端與力臂桿的一端成90°的彈性銜接以方便花籃手柄的卸取，聚四氟乙烯多孔花籃通過花籃手柄垂吊在力臂桿上；在力臂桿的另一端通過螺紋連接在滑塊上，滑塊帶動力臂桿在導軌上垂直上下移動，為了使滑塊平穩移動將其兩端固定在平衡連接桿上；平衡連接桿的另端與驅動板固定銜接；主桿架是一個弓字形結構，下端通過固定架緊套在恒溫水槽上保證整個裝置不會因為偏重而傾斜，上端固定步進電機。提供動力后聚四氟乙烯多孔花籃呈上下運動狀態，達到動態清洗的目的。
文檔編號B08B3/10GK202185424SQ20112026208
公開日2012年4月11日 申請日期2011年7月22日 優先權日2011年7月22日
發明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請人:江陰市愛多光伏科技有限公司