專利名稱:硅片清洗機的漂洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種硅片清洗機的漂洗槽,尤其涉及一種節(jié)水型溢流式的硅片清洗機漂洗槽。
背景技術(shù):
目前使用的硅片清洗機漂洗槽分為兩部分,前半部分包括依次布置的五個漂洗槽,后半部分包括依次布置的兩個漂洗槽,前半部分與后半部分之間依次布置兩浸潤槽,每兩個漂洗槽為一個獨立工作單元,七個漂洗槽共有四個進水口與出水口,使得硅片清洗機用水量較大,造成了水資源的浪費。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述問題,提供一種硅片清洗機的漂洗槽,其采用溢流式結(jié)構(gòu),只需一個進水口與出水口,具有結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種硅片清洗機的漂洗槽,包括前后兩部分,前半部分依次布置五個漂洗槽,后半部分依次布置兩個漂洗槽,所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進水口相連,且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過一個溢流管道相連通,所述漂洗槽VII 上開設(shè)有排污口,所述溢流管道上安裝有蓄水槽,所述蓄水槽中安裝有水位控制器,水位控制器連接有管道泵。所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。所述漂洗槽中均安裝有物料感應器。本發(fā)明的有益效果為漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),使得漂洗槽之間為溢流模式,無需增加管道;通過將漂洗槽V與漂洗槽VI用一個溢流管道相連通,即實現(xiàn)前半部分與后半部分的連通,使得只需要一個進水口與出水口 ;通過設(shè)置水位控制器,當蓄水槽中的水位達到設(shè)定的高水位時,高水位控制器控制管道泵進行排水,反之,低水位控制器控制管道泵停止排水,具有自動化程度高的優(yōu)點,對比現(xiàn)有技術(shù),該漂洗槽具有結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點。
下面根據(jù)附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。圖1為本發(fā)明所述的硅片清洗機的漂洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、漂洗槽I ;2、漂洗槽V ;3、洗槽VI ;4、漂洗槽VII ;5、溢流管道;6、蓄水槽;7、管道泵;8、進水口 ;9、排污口。
具體實施例方式如圖1所示,于本實施例中,本發(fā)明所述的硅片清洗機的漂洗槽,包括前后兩部分,前半部分依次布置五個漂洗槽,后半部分依次布置兩個漂洗槽,前半部分最外側(cè)的漂洗槽Il與進水口 8相連,且漂洗槽Il與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V2之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI3與外側(cè)漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),漂洗槽V2與漂洗槽VI3通過一個溢流管道5相連通,漂洗槽VII4上開設(shè)有排污口 9,溢流管道5上安裝有蓄水槽6, 蓄水槽6中安裝有水位控制器,水位控制器連接有管道泵7,水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。漂洗槽Il與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V2之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI3與外側(cè)漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),使得漂洗槽之間為溢流模式,無需增加管道;通過將漂洗槽V2與漂洗槽VI3用一個溢流管道5相連通,即實現(xiàn)前半部分與后半部分的連通,使得只需要一個進水口 8與排污口 9 ;通過設(shè)置水位控制器,當蓄水槽6中的水位達到設(shè)定的高水位時,高水位控制器控制管道泵7進行排水,反之,低水位控制器控制管道泵7停止排水,具有自動化程度高、結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點每個漂洗槽中均安裝有物料感應器,當有硅片籃筐進入漂洗槽時,物料感應器將信號傳送至控制系統(tǒng),控制清洗機進入工作狀態(tài),當硅片籃筐離開漂洗槽時,物料感應器將信號傳送至控制系統(tǒng),控制清洗機進入待機狀態(tài),進一步節(jié)約了用水、用電量。
權(quán)利要求
1.一種硅片清洗機的漂洗槽,包括前后兩部分,前半部分依次布置五個漂洗槽,后半部分依次布置兩個漂洗槽,其特征在于所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進水口相連,且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過一個溢流管道相連通,所述漂洗槽VII上開設(shè)有排污口,所述溢流管道上安裝有蓄水槽,所述蓄水槽中安裝有水位控制器,水位控制器連接有管道泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機的漂洗槽,其特征在于所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機的漂洗槽,其特征在于所述漂洗槽中均安裝有物料感應器。
全文摘要
本發(fā)明公開一種硅片清洗機的漂洗槽,包括前后兩部分,前半部分依次布置五個漂洗槽,后半部分依次布置兩個漂洗槽,所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進水口相連,且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu),所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過一個溢流管道相連通,所述漂洗槽VII上開設(shè)有排污口,所述溢流管道上安裝有蓄水槽,所述蓄水槽中安裝有水位控制器,水位控制器連接有管道泵。該漂洗槽采用階梯溢流式結(jié)構(gòu),只需一個進水口與出水口,具有結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點。
文檔編號B08B3/04GK102343340SQ20111032282
公開日2012年2月8日 申請日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者劉偉, 楊樂, 王欣 申請人:高佳太陽能股份有限公司