專利名稱：一種tft基板的清洗裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于基板的清洗裝置，具體涉及一種TFT基板的清洗裝置。
背景技術：
一般的針對TFT基板清洗方法是利用一排扇形噴咀的方法，對TFT基板表面進行清洗，這種利用一排一字型排列的扇形噴咀清洗的方法，由于二流體形成的扇形區(qū)域壓力不同，容易造成清洗TFT基板不勻的產(chǎn)生，同時也造成噴咀的高度必須在30mm以上的復雜結(jié)構(gòu)，總體造成清洗的效果差以及基板良品率低的缺陷。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種TFT基板的清洗裝置，通過兩個TFT基板的清洗裝置體的噴嘴的線形端部分別與待清洗的基板的運行方向和水平面保持平行，這樣就能從噴嘴的線形端部形成同待清洗的基板和水平面之間的夾角一致的水刀來對基板進行壓力均勻的清洗，從而提高了基板的良品率。為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術方案是一種TFT基板的清洗裝置，包括兩個兩側(cè)分別連接入水管1和進氣管2的中空TFT 基板的清洗裝置體3，每個TFT基板的清洗裝置體3的上部為長方體的中空室4而下部為倒三角形柱體的噴嘴5，其中一個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5向下置于待清洗的基板6 的上方，且該噴嘴5的線形端部和水平面保持平行；另外一個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5向下置于待清洗的基板6的上方，且該噴嘴5的線形端部待清洗的基板6的運行方向保持平行。所述的兩個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5的線形端部和待清洗的基板6之間的距離范圍為4mm-7mm。通過兩個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5的線形端部分別與待清洗的基板6的運行方向和水平面保持平行，這樣就能從噴嘴5的線形端部形成同待清洗的基板6和水平面之間的夾角一致的水刀來對基板6進行壓力均勻的清洗，從而提高了基板6的良品率。
圖1為帶有本發(fā)明的一個TFT基板的清洗裝置體的結(jié)構(gòu)圖。圖2為本發(fā)明的工作原理示意圖，其中基板和TFT基板的清洗裝置體之間的連線為水刀方向示意。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作更詳細的說明。如圖1所示，TFT基板的清洗裝置，包括兩個兩側(cè)分別連接入水管1和進氣管2的中空TFT基板的清洗裝置體3，每個TFT基板的清洗裝置體3的上部為長方體的中空室4而下部為倒三角形柱體的噴嘴5，如圖2所示，其中一個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5向下置于待清洗的基板6的上方，且該噴嘴5的線形端部和水平面保持平行；另外一個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5向下置于待清洗的基板6的上方，且該噴嘴5的線形端部待清洗的基板6的運行方向保持平行。所述的兩個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5的線形端部和待清洗的基板6之間的距離范圍為4mm-7mm。本發(fā)明 的工作原理為首先通過每個TFT基板的清洗裝置體3的水管1和進氣管2 分別通入清洗水和高壓氣體，這樣清洗水和高壓氣體經(jīng)由長方體的中空室4進入倒三角形柱體的噴嘴5，并從兩個噴嘴5的線形端部以水刀的形式噴射而出且水刀之間的夾角同待清洗的基板6和水平面之間的夾角一致。通過兩個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5的線形端部分別與待清洗的基板6的運行方向和水平面保持平行，這樣就能從噴嘴5的線形端部形成同待清洗的基板6和水平面之間的夾角一致的水刀來對基板6進行壓力均勻的清洗，從而提高了基板6的良品率。所述的兩個TFT基板的清洗裝置體3的噴嘴5的線形端部和待清洗的基板6之間的距離范圍為4mm-7mm，這樣的高度更能保證壓力均勻的沖洗。
權(quán)利要求
1.一種TFT基板的清洗裝置，包括兩個兩側(cè)分別連接入水管(1)和進氣管(2)的中空 TFT基板的清洗裝置體(3)，其特征在于每個TFT基板的清洗裝置體(3)的上部為長方體的中空室(4)而下部為倒三角形柱體的噴嘴(5)，其中一個TFT基板的清洗裝置體(3)的噴嘴(5)向下置于待清洗的基板(6)的上方，且該噴嘴(5)的線形端部和水平面保持平行；另外一個TFT基板的清洗裝置體(3)的噴嘴(5)向下置于待清洗的基板(6)的上方，且該噴嘴(5)的線形端部待清洗的基板(6)的運行方向保持平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT基板的清洗裝置，其特征在于所述的兩個TFT基板的清洗裝置體(3)的噴嘴(5)的線形端部和待清洗的基板(6)之間的距離范圍為4mm-7mm。
全文摘要
一種TFT基板的清洗裝置，通過兩個TFT基板的清洗裝置體的噴嘴的線形端部分別與待清洗的基板的運行方向和水平面保持平行，這樣就能從噴嘴的線形端部形成同待清洗的基板和水平面之間的夾角一致的水刀來對基板進行壓力均勻的清洗，從而提高了基板的良品率。
文檔編號B08B7/04GK102319699SQ20111017969
公開日2012年1月18日 申請日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月29日
發(fā)明者張明 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司