專利名稱：一種硅片脫膠機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種硅片脫膠機。
背景技術：
在多線切割晶棒生產硅片的過程中，對切割好的硅片傳統采用手工進行脫膠，因 脫膠過程中對力度、溫度掌握不均勻，且不穩定，易出現硅片崩邊、毛邊、氧化等現象，產生 廢片。
發明內容本實用新型的目的是提供能減少硅片在脫膠過程中產生崩邊、毛邊、氧化現象的 一種硅片脫膠機。本實用新型采取的技術方案是一種硅片脫膠機，它包括直立軌道、上滑動軌道、 下滑動軌道、導向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特 征在于上滑動軌道、下滑動軌道通過導向輪活動設在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道 上，提升機通過綱繩和定滑輪與上滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內，脫膠槽和硅片盒 固定設置在上滑動軌道上；脫膠槽內安裝有加熱管；偏心輪及組件設置在脫膠槽的下部， 與下滑動軌道連接在一起。采用本實用新型，可以通過加熱管保持脫膠槽內的水恒溫，而且采用機械化操作 方式，控制穩定，減少硅片在脫膠過程中產生的崩邊、毛邊、氧化現象，提高成品率。
圖1是本實用新型的主視示意圖。圖2是本實用新型的側視示意圖。
具體實施方式
下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。參照圖1、圖2，該硅片脫膠機，它包括直立軌道3、上滑動軌道6、下滑動軌道14、 導向輪7、脫膠槽9、脫膠支架4、分隔板11、硅片盒12、提升機5、加熱管13、定滑輪2、綱繩 1和偏心輪及組件8，上滑動軌道6通過導向輪7活動設在直立軌道3上；定滑輪2固定在 直立軌道3上，提升機5通過綱繩1和定滑輪2與上滑動軌道6相連接；硅片盒12位于脫 膠槽9內，硅片盒12固定設置在上滑動軌道6上；脫膠槽9內安裝有加熱管13 ；偏心輪及 組件8設置在脫膠槽9的下部，與下滑動軌道14連接在一起。使用時，啟動提升機5，收緊綱繩1，上滑動軌道6沿直立軌道3上升，將硅片盒12 提起即停止提升機，把脫膠支架4連同帶膠的硅片10 —同放入硅片盒12里，并采用分隔板 11隔開硅片10 ；然后，啟動提升機，放松綱繩1，把帶膠的硅片10連同硅片盒12 —起放入 脫膠槽9的水中，浸沒硅片10，開始通過加熱管13對脫膠槽9中的水加熱至60度，然后，擺動偏心輪及組件8，使下滑動軌道；,上下運動，從而帶動上滑動軌道6上下運 ,‘使硅片 盒12在水中同步上下擺動，但不能使硅片10露出水面，擺動時間保持十分鐘左右，之后，升 起硅片盒12，取下脫膠支架4，取出硅片10即可。 按照上述，可以通過加熱管13保持脫膠槽9內的水恒溫，而且采用機械化操作方 式，控制穩定，減少硅片10在脫膠過程中產生的崩邊、毛邊、氧化現象，提高成品率。
權利要求一種硅片脫膠機，它包括直立軌道、滑動軌道、導向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特征在于滑動軌道通過導向輪活動設在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機通過綱繩和定滑輪與滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內，脫膠槽和硅片盒固定設置在滑動軌道上；脫膠槽內安裝有加熱管；偏心輪及組件設置在滑動軌道的下部。
專利摘要本實用新型涉及一種硅片脫膠機，該硅片脫膠機的滑動軌道通過導向輪活動設在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機通過綱繩和定滑輪與滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內，脫膠槽和硅片盒固定設置在滑動軌道上；脫膠槽內安裝有加熱管；偏心輪及組件設置在滑動軌道的下部。采用本實用新型，可以通過加熱管保持脫膠槽內的水恒溫，而且采用機械化操作方式，控制穩定，減少硅片在脫膠過程中產生的崩邊、毛邊、氧化現象，提高成品率。
文檔編號B08B3/10GK201678767SQ20102015606
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月4日 優先權日2010年4月4日
發明者余城偉, 徐增宏, 王土軍 申請人:浙江硅宏電子科技有限公司