專利名稱：濕式清洗裝置的冷卻結構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種濕式清洗裝置的冷卻結構，尤其涉及可防止用于劃分處 理槽之間的隔壁的變形和破損的濕式清洗裝置的冷卻結構。
背景技術：
一般來講，為了制造半導體元件需反復執(zhí)行平版印刷(lithography),蒸 鍍和蝕刻等工程。在執(zhí)行這些工程的過程中，在基板(例如硅片)上會殘留 各種微粒(particle )、金屬不純物、有機物等。由于這些污染物會對產(chǎn)品的收 率和可信度帶來惡性影響，因此在半導體制造工程中執(zhí)行用來清除基板上殘 留的污染物的清洗工程，以及清洗工程后執(zhí)行對晶片的烘干工程。
如此，清洗基板的方式根據(jù)處理方式可分成千式(Dry)清洗方式和濕式 (Wet)清洗方式。其中濕式清洗方式是指在盛放有處理液的處理槽內將基板 沉浸一定時間而對基板清洗的方式，其中所述處理液由多種藥液以預定比例 混合而成。
一般來講，在濕式清洗裝置中，用來處理基板的多個處理槽之間是通過 隔壁而被劃分，而所述隔壁由例如PVC等常用的合成樹脂構成。
然而，為了處理基板而容納在處理槽的處理液需要保持高溫，因此存在 著處理液所產(chǎn)生的熱量使隔壁變形或破損的問題。例如，硫酸和過氧化氳相 混合的處理液在處理槽內能保持120度左右的溫度，因此由于處理液所產(chǎn)生 的熱量，隔壁會發(fā)生變形或破損。并且，隔壁的變形或破損會引發(fā)事后更大 的事故。
鑒于此，最近廣泛進行著對冷卻結構的各種研究，以防止隔壁的劣化和 隨之的隔壁的變形及破損。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種可有效防止用于劃分處理槽之間的隔壁的劣 化，從而防止隔壁的變形及破損的濕式清洗裝置的冷卻結構。為了達到如上所述目的的本發(fā)明，其濕式清洗裝置的冷卻結構包括用
于劃分處理槽之間的隔壁；以及布置于隔壁的上端的冷卻水供應部，該冷卻 水供應部具有從隔壁的側面相隔離的部位朝隔壁傾斜地噴射冷卻水的噴射孔。
在本發(fā)明中，處理槽是指用于盛放處理液的容器，該處理槽以可容納用 于清洗的基板的大小形成，而該處理槽的形狀及結構根據(jù)所需的條件及設計 可進行多種變更。并且，處理槽可包含處理槽蓋，通過處理槽蓋可選擇地開 閉處理槽的上端開口。
冷卻水供應部布置在隔壁的上端，并具有從隔壁的側面相隔離的部位朝 隔壁傾斜地噴射冷卻水的噴射孔。噴射孔的數(shù)量及結構可根據(jù)所需的條件及 設計進行多種變更。例如，冷卻水供應部包括第一噴射孔，該第一噴射孔 從隔壁的一側面相隔離的部位朝隔壁的一側面傾斜地噴射冷卻水；以及第二 噴射孔，該第二噴射孔從隔壁的另 一側面相隔離的部位朝隔壁的另 一側面傾 斜地噴射冷卻水。
由于噴射孔相對于隔壁傾斜一定角度而形成，因此被供給到冷卻水供應 部的冷卻水可以朝隔壁傾斜地噴射，而這種噴射孔的角度可以根據(jù)所需的條
件及設計進行多種變更。例如，噴射孔相對于隔壁可以傾斜10° ~80°而形成。
另外，冷卻水供應部應當優(yōu)選地面接觸于隔壁。這種冷卻水供應部可通 過通常的粘貼或附著的方式被固定到隔壁上，也可以根據(jù)情況通過常用的連 接部件安裝到隔壁上。當然也可以采用不同的方式，即冷卻水供應部滑動結 合到隔壁上，或者隔壁中的 一部分被插入到冷卻水供應部上。
冷卻水供應部的截面可以大致呈四邊形，根據(jù)情況冷卻水供應部的邊緣 可以被倒圓處理或倒角處理，以防止處理槽蓋與冷卻水供應部之間發(fā)生干涉。
根據(jù)本發(fā)明實施例所提供的濕式清洗裝置的冷卻結構，由于可從設在隔 壁上部的冷卻水供應部向隔壁的側面噴射冷卻水，因此可有效防止隔壁的劣 化，以及防止因劣化所導致的隔壁的變形及破損。
并且，才艮據(jù)本發(fā)明的實施例，由于可通過設在隔壁上部的一個冷卻水供 應部同時冷卻隔壁的兩側面，因此能夠筒化整體的結構及制作工程。
并且，根據(jù)本發(fā)明的實施例，在冷卻水供應部不被變形及扭曲的情況下， 用于冷卻隔壁的冷卻水可穩(wěn)定地噴射到隔壁上。并且，根據(jù)本發(fā)明的實施例，可事先防止因隔壁的變形及破損所導致的 2次事故，例如可事先防止變形的隔壁與處理槽之間的相互干涉以及變形的 處理槽與移送裝置之間的相互干涉。
圖1為示出適用了根據(jù)本發(fā)明的冷卻結構的濕式清洗裝置的結構的立體
圖2至圖4示出了本發(fā)明濕式清洗裝置的冷卻結構，即為冷卻水供應部 的變形例的剖視圖。
<主要附圖標記說明〉
100:隔壁 200:處理槽
210:處理槽蓋 300:冷卻水供應部
310:噴射孔
具體實施例方式
以下，參照附圖詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本發(fā)明不受實施例的 限制。作為參考，本說明書中同樣的符號意指相同的要素，且根據(jù)所述規(guī)則， 可引用不同附圖中的內容進行說明，并可以省略對于本領域的技術人員來講 顯而易見或重復的內容。
圖1是示出適用了本發(fā)明冷卻結構的濕式清洗裝置的結構的立體圖。圖 2至圖4示出了本發(fā)明濕式清洗裝置的冷卻結構，即為冷卻水供應部的變形 例的剖視圖。
如圖l所示，適用了根據(jù)本發(fā)明的冷卻結構的濕式清洗裝置包括處理槽 200、隔壁100以及冷卻水供應部300。
所述處理槽200為用于盛放處理液的容器，其以可容納用于清洗的基板 的大小形成，處理槽200的形狀及結構根據(jù)所需要的條件和i殳計可進行各種 變更。并且，處理槽200由與處理液不反應的材料構成，而這種處理槽200 的材料可根據(jù)所需要的條件進行適當?shù)淖兏?。例如，所述處理?00可以由 常用的石英(quartz )構成，也可以使用其他材料。
所述處理槽200的結構根據(jù)所需的條件及設計可以進行各種變更。例如， 所述處理槽200可以由內槽(未圖示)以及沿著內槽的周圍所形成的外槽(未圖示)構成，其中所述外槽用于盛放從內槽溢出(overflow)來的處理液。本 發(fā)明所說的處理液是指用于清洗殘留在基板上的污染物的化學溶液，可包含 單個或多個化學溶液。
并且，所述處理槽200可以包括處理槽蓋210,適過處理槽蓋210可以 有選擇地開閉處理槽200的上端開口。在此，處理槽200的上端開口是指用 于投放/取出基板的開口 ，通過用所述處理槽蓋210蓋住處理槽200的上端開 口 ，以防止當處理基^反時處理液賊到處理槽的外部或處理液所產(chǎn)生的煙
所述隔壁100用來劃分各處理槽200之間，以使各處理槽200可布置到 相互獨立的空間里。這種隔壁100根據(jù)所需的條件可由多種材料構成。例如， 所述隔壁100可由PVC等常用的合成樹脂構成。
所述冷卻水供應部300布置在隔壁100的上端，且包括多個噴射孔310， 以用于在與隔壁100的側面相隔的部位朝隔壁IOO傾斜地噴射冷卻水。被供 給到所述冷卻水供應部300的冷卻水可通過各噴射孔310朝隔壁100噴射， 被噴射到隔壁100的冷卻水順著隔壁100流下的同時冷卻隔壁100。
以下，以所述冷卻水供應部300包含第一噴射孔312和第二噴射孔314 的情況為例進行說明。其中所述第一噴射孔312從隔壁100的一側面相隔離 的部位向隔壁100的一側面傾斜地噴射冷卻水，而所述第二噴射孔314從所 述隔壁100的另 一側面相隔離的部位向隔壁100的另 一側面傾斜地噴射冷卻 水。這種結構通過一個冷卻水供應部300可以冷卻隔壁IOO的兩側面。4艮據(jù) 情況，可以單獨提供第一噴射孔312和第二噴射孔314中的某一個，或者在 冷卻水供應部300可以形成3個以上的噴射孔(未圖示)。
由于所述噴射孔310相對于隔壁100傾斜預定角度a而形成，因此被供 給到冷卻水供應部300的冷卻水可朝隔壁100傾斜地噴射。對于這種結構而 言，用于冷卻隔壁100的冷卻水不會噴射到其他方向而只朝隔壁100噴射， 從而極大提高冷卻水對隔壁100的冷卻效率。
優(yōu)選地，所述噴射孔310可相對于隔壁IOO傾斜10° ~80。而形成。即， 若相對于隔壁100的噴射孔310的角度a大于80。，則存在從噴射孔噴射出 的冷卻水與隔壁100碰撞之后飛濺到處理槽200側的隱患，與此相反，若相 對于隔壁100的噴射孔310的角度a小于10° ，則從噴射孔噴射出的冷卻水 只作用到隔壁100的下端而難以冷卻直接被加熱的隔壁100的上方部分。因此噴射孔優(yōu)選地相對于隔壁IOO傾斜10° ~80°而形成。
所述冷卻水供應部300的材料和特性可根據(jù)所需的條件及設計進行各種 變更。例如，所述冷卻水供應部300可以由常用的透明材料構成，而這種結 構能使工作人員迅速而準確判斷冷卻水供應部300的異常與否。
并且，所述冷卻水供應部300優(yōu)選地面接觸結合于隔壁100。這種結構 可降低冷卻水供應部300的變形及扭曲，從而使冷卻水穩(wěn)定地朝隔壁100噴 射。
如此，冷卻水供應部300可通過通常的粘貼或附著的方式被固定到隔壁 100上，根據(jù)情況，也可通過常用的連接部件將冷卻水供應部300安裝到隔 壁100上。
在如上所述及圖示的本發(fā)明的實施例中，以冷卻水供應部300筒單附著 在隔壁100上的情況為例進行了說明，但根據(jù)情況，也可采用將具有噴射孔 的冷卻水供應部300滑動結合到隔壁100的結構，或者隔壁100中的一部分 被插入到冷卻水供應部300的結構。在此，與前述的結構相同或相當?shù)牟糠?使用相同或相當?shù)膮⒖挤枺⑹÷詫ζ湓敿氄f明。
即，如圖2所示，在冷卻水供應部400與隔壁100的相互接觸面中的一 側可形成導向凸起420,在冷卻水供應部400與隔壁100的相互接觸面中的 另一側形成可滑動收容導向凸起420的導向槽110。通過所述導向凸起420 及導向槽110,冷卻水供應部400可滑動結合到隔壁100上，導向凸起及導 向槽的結構及形狀可以根據(jù)所需的條件及設計進行多種變更。
另外，如圖3所示，在冷卻水供應部500上可形成收容隔壁100的上端 的收容槽502，通過將隔壁100的上端插入到收容槽502,可使冷卻水供應部 500固定到隔壁100上。
另外，雖然在前述及圖示的本發(fā)明的實施例中，以冷卻水供應部的截面 呈四邊形為例進行了說明，但根據(jù)情況冷卻水供應部的邊緣可以進行倒圓或 倒角處理。
即，如圖4所示，冷卻水供應部600的邊《彖可以進4亍倒圓或倒角處理， 而對于這種結構而言，可事先防止當打開用于開閉處理槽上端開口的處理槽 蓋210時，處理槽蓋210與冷卻水供應部600之間的干涉。
在本發(fā)明的實施例中，雖然以冷卻水供應部600的邊緣被倒圓處理之后 冷卻水供應部600的截面大致呈半圓形為例進行了說明，但根據(jù)情況冷卻水供應部的邊緣被倒角處理之后，其截面也可以呈多邊形結構。本發(fā)明并非局 限在所述冷卻水供應部的形狀及結構。
如上所述，雖然參照本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行了說明，但本領域的技術 人員應當能夠理解在不脫離記載于權利要求書的本發(fā)明的思想及領域的情況 下，對本發(fā)明可以進行多種修改及變更。
權利要求
1、一種濕式清洗裝置的冷卻結構，包括用于劃分處理槽之間的隔壁；以及布置于所述隔壁的上端的冷卻水供應部，該冷卻水供應部具有從所述隔壁的側面相隔離的部位朝所述隔壁傾斜地噴射冷卻水的噴射孔。
2、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述冷 卻水供應部包括第一噴射孔，該第一噴射孔從所述隔壁的一側面相隔離的部位朝所述隔 壁的一側面傾斜地噴射冷卻水；以及第二噴射孔，該第二噴射孔從所述隔壁的另 一側面相隔離的部位朝所述 隔壁的另 一側面傾斜地噴射冷卻水。
3、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述噴 射孔相對于所述隔壁傾斜10° 80°而形成。
4、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述冷 卻水供應部面4妄觸于所述隔壁。
5、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述冷 卻水供應部滑動結合到所述隔壁。
6、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述冷 卻水供應部包含用于收容所述隔壁的上端 一部分的收容槽。
7、 根據(jù)權利要求1所述的濕式清洗裝置的冷卻結構，其特征在于所述處 理槽包含用于開閉上端開口的處理槽蓋，所述冷卻水供應部的邊》彖^皮倒圓處理或倒角處理，以防止與所述處理槽蓋發(fā)生干涉。
全文摘要
本發(fā)明公開一種可防止用于劃分多個處理槽之間的隔壁的變形和破損的濕式清洗裝置的冷卻結構。所述濕式清洗裝置的冷卻結構包括用于劃分處理槽之間的隔壁；和安裝在隔壁的上端的冷卻水供應部，該冷卻水供應部具有從隔壁的側面相隔離的部位向隔壁傾斜地噴射冷卻水的噴水孔。
文檔編號B08B3/08GK101419909SQ20081017061
公開日2009年4月29日 申請日期2008年10月22日 優(yōu)先權日2007年10月22日
發(fā)明者李東性, 李泰雨 申請人:K.C.科技股份有限公司