專利名稱：藍寶石襯底清洗方法
技術領域：
本發明涉及清洗方法，更具體地說，涉及一種藍寶石襯底清洗方法。
背景技術：
對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該采用哪 種合適的襯底，需要根據設備和LED器件的要求進行選擇。目前市面上一般采 用藍寶石襯底。通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。 藍寶石襯底有許多的優點首先，藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好； 其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機 械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底。傳 統的藍寶石襯底清洗方法中，采用有毒性的三氯乙烯進行清洗，這不僅會造成 人員中毒，而且會污染環境；而且由于在操作過程中，未使用超聲使得清洗時 間長，影響清洗效率，并且需要在密閉的環境中，進行高溫清洗， 一般會在 125°C條件下進行清洗。
發明內容
本發明要解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種藍寶 石襯底清洗方法。
本發明解決其技術問題所采用的技術方案是:構造一種藍寶石襯底清洗方 法，包括以下步驟在正常室溫下異丙醇超聲清洗和丙酮超聲清洗以及加熱條 件下丙酮浸泡清洗。
在本發明所述的藍寶石襯底清洗方法中，依次包括以下步驟
a、 在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波 作用，清洗大約1 3分鐘；
b、 在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1 5分鐘；
C.在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中1 2分鐘；
d.將清洗完的藍寶石襯底取出，進行加熱烘干。
在本發明所述的藍寶石襯底清洗方法中，在所述步驟a中，在正常室溫下，
將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約3分鐘；
在本發明所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步驟b中，在 正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大
約3分鐘。
在本發明所述的藍寶石襯底清洗方法中，在所述步驟c中，在沸騰狀態下， 將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中大約1. 5分鐘。
在本發明所述的藍寶石襯底清洗方法中，所述超聲波的頻率為10 200KHz。
實施本發明的藍寶石襯底清洗方法，具有以下有益效果取消了傳統清洗 方法中使用的三氯乙烯試劑，減少了環境污染，避免人員中毒；在清洗過程中， 使用超聲波和加熱清洗，可節省清洗時間，提高清洗效率和清洗質量；工藝簡 單，操作方便，滿足環保要求。
具體實施例方式
以GaN為代表的第三代半導體材料無論在光學特性還是在電學特性方面 都很好的彌補了傳統半導體材料本身固有的缺點，因而在近幾年發展異常迅 速。
本發明藍寶石襯底的清洗方法是指后段制程的清洗，即研磨后的清洗。 本發明的藍寶石襯底清洗方法中，在正常室溫下，使用異丙醇有機溶劑和 丙酮有機溶劑，在超聲波的配合下，進行清洗。在實施中，異丙醇超聲清洗和 丙酮超聲清洗的清洗順序可以變更。在完成超聲清洗后，接著在加熱條件下， 將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，作進一步處理。
在一優選的實施例中，藍寶石襯底清洗方法中，依次包括以下步驟
a、在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1 3分鐘；
b、在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作
用，清洗大約1 5分鐘。
C、在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，加熱清洗大約
1 2分鐘。
d、將清洗完的藍寶石襯底取出，放在提籃上，然后放在加熱板上烘干， 清洗完成。
優選的，在所述步驟a中，清洗大約3分鐘；
在實施中，可將丙酮清洗分為兩步驟，即C、在正常室溫下，將藍寶石
襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約2或2.5分鐘；b2、 在沸騰狀態下,將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，浸泡清洗大約1. 5分鐘。 在本發明中所使用的超聲波發生器的功率為100w 300w、頻率為10 200KHz
權利要求
1、一種藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，包括以下步驟在正常室溫下，有機溶劑超聲清洗；以及在加熱條件下，丙酮浸泡。
2、 根據權利要求1所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，所述有機 溶劑是異丙醇和丙酮。
3、 根據權利要求2所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，依次包括 以下步驟a、 在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1 3分鐘；b、 在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1 5分鐘；C.在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中1 2分鐘；d.將清洗完的藍寶石襯底取出，進行加熱烘干。
4、 根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步 驟a中，在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲 波作用，清洗大約3分鐘。
5、 根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步 驟b中，在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波 作用，清洗大約3分鐘。
6、 根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步 驟c中，在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中大約1. 5分鐘。
7、 根據權利要求1 6任一所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于， 所述超聲波的頻率為10 200KHz。
全文摘要
本發明涉及一種藍寶石襯底清洗方法，包括以下步驟在正常室溫下，有機溶劑超聲清洗；以及在加熱條件下，丙酮浸泡。實施本發明的藍寶石襯底清洗方法，取消了傳統清洗方法中使用的三氯乙烯試劑，減少了環境污染，避免人員中毒；在清洗過程中，使用超聲波和加熱清洗，可節省清洗時間，提高清洗效率和清洗質量；工藝簡單，操作方便，滿足環保要求。
文檔編號B08B3/12GK101468352SQ20071030583
公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月27日 優先權日2007年12月27日
發明者謝雄略 申請人:深圳市方大國科光電技術有限公司