專(zhuān)利名稱(chēng)：輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)將被輸送物夾持在一對(duì)輥之間并使一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸 送被輸送物的裝置。技術(shù)背景以往，己知有通過(guò)將被輸送物夾持在一對(duì)輥之間并使一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸 送被輸送物的裝置。此類(lèi)輸送裝置設(shè)置于例如在印刷基板等的制造工序中 除去附著在基板表面上的灰塵用的清洗裝置中(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。 該印刷基板的清洗裝置(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為"基板清洗裝置")具備上下相對(duì)配置的一對(duì)具有粘附性的清理輥(cleaning roller)和向該清理輥傳遞動(dòng)力的 動(dòng)力傳遞裝置，通過(guò)將基板夾持在一對(duì)清理輥之間并使一對(duì)清理輥旋轉(zhuǎn)， 從而在輸送基板的同時(shí)將附著在基板上的灰塵吸附在清理輥表面。 專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)2000 — 84514號(hào)公報(bào)再有，在上述那樣的基板清洗裝置中，使用通過(guò)驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而繞軸心 旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)側(cè)齒輪和連接到清理輥上的從動(dòng)側(cè)齒輪所構(gòu)成的齒輪機(jī)構(gòu)等， 來(lái)作為向清理輥傳遞驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)力用的機(jī)構(gòu)。但是，在現(xiàn)有的伴隨著機(jī) 械接觸的齒輪機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)方式中，有可能出現(xiàn)因齒輪的磨損、摩擦而產(chǎn)生 灰塵并且該灰塵附著在基板上，或者因齒輪的潤(rùn)滑油氣化而污染基板等情 況，因而會(huì)發(fā)生盡管是清洗基板用的裝置也不能在清潔狀態(tài)下輸送基板的 情況。此外，在上述基板清洗裝置中，上下相對(duì)配置的清理輥中上側(cè)的清理 輥成為可隨著在基板表面上安裝電子部件等的凹凸而上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。即， 在將厚度比預(yù)先設(shè)定的兩輥間的間隔大的基板的凸部夾持在兩輥之間時(shí)， 會(huì)因該凸部而將上側(cè)的清理輥向上方推起。在現(xiàn)有的伴隨機(jī)械接觸的齒輪 機(jī)構(gòu)的情況下，在上側(cè)清理輥向上移動(dòng)時(shí)，利用其它裝置來(lái)應(yīng)對(duì)以便使與上側(cè)清理輥連接的從動(dòng)側(cè)齒輪的嚙合狀況不變，因而存在機(jī)構(gòu)變復(fù)雜的問(wèn) 題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題，其目的是提供不產(chǎn)生作為向輥傳遞動(dòng)力的裝置 的齒輪因磨損、摩擦等所致的灰塵的輸送裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明方案l的輸送裝置，該輸送裝置具備向 一對(duì)輥傳遞旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力傳遞裝置，且通過(guò)將被輸送物夾持在上述一對(duì)輥之 間并使上述一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送被輸送物，其特征在于，上述動(dòng)力傳遞裝置 具備圓盤(pán)，其由驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而繞軸心旋轉(zhuǎn)，并且具有通過(guò)在其端面上將 永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈放射狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成 的第一磁面；和一對(duì)圓筒，它們分別與上述一對(duì)輥連接，并且具有通過(guò)在 其外周使永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈螺旋狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè) 置而形成的第二磁面；將上述一對(duì)圓筒以與上述圓盤(pán)之間留有預(yù)定間隔， 并且使上述第二磁面與上述第一磁面相對(duì)的方式配置；并利用上述永磁鐵 的磁吸引力及反作用力來(lái)將動(dòng)力從上述圓盤(pán)向上述一對(duì)圓筒傳遞。根據(jù)本發(fā)明方案2的輸送裝置，在上述方案l中，其特征在于，在并 排設(shè)置多對(duì)上述輥的情況下，將上述圓盤(pán)配置在同一軸心上。根據(jù)本發(fā)明的輸送裝置，在分別與驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的圓盤(pán)及與一對(duì) 輥連接的圓筒上分別安裝設(shè)置的磁鐵的磁吸引力及反作用力，來(lái)將動(dòng)力從 驅(qū)動(dòng)側(cè)的圓盤(pán)向從動(dòng)側(cè)的圓筒傳遞，通過(guò)該結(jié)構(gòu)，可將動(dòng)力以非接觸的方 式從驅(qū)動(dòng)側(cè)向從動(dòng)側(cè)傳遞，且不會(huì)像現(xiàn)有的齒輪機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)方式那樣因齒 輪的機(jī)械嚙合而產(chǎn)生灰塵等，并可將被輸送物在保持清潔狀態(tài)的狀態(tài)下輸 送。此外，根據(jù)本發(fā)明的輸送裝置，由于通過(guò)在上述圓盤(pán)的端面上將永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈放射狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成第一 磁面，并且通過(guò)在上述一對(duì)圓筒的外周使永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈螺旋狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成第二磁面，且將一對(duì)圓筒以與上 述圓盤(pán)之間留有預(yù)定間隔且使上述第二磁面與上述第一磁面相對(duì)的方式配置，所以即使從動(dòng)側(cè)的圓筒相對(duì)于驅(qū)動(dòng)側(cè)的圓盤(pán)向上移動(dòng)或向下移動(dòng)也可 將與圓盤(pán)的空隙保持為一定，因而傳遞到圓筒的力矩不會(huì)變得極端小。其 結(jié)果是，與在一對(duì)輥之間夾持的被輸送物的凹凸無(wú)關(guān)，可保持期望的轉(zhuǎn)矩， 且可確保穩(wěn)定的輸送功能。
圖1是概要地表示具備本發(fā)明實(shí)施方式的輸送裝置的基板清洗裝置的 一部分的立體圖。圖2是表示基板清洗裝置的清理輥及膠帶輥的支撐結(jié)構(gòu)的圖。 圖3是從正面觀察圖1中清理輥及動(dòng)力傳遞裝置的圖。圖4是表示基板清洗裝置的動(dòng)力傳遞裝置的主視圖及動(dòng)力傳遞-裝置的磁力嚙合的示意圖。圖5是說(shuō)明圓盤(pán)型磁力齒輪的磁力齒的外形曲線的圖。 圖6是表示配置多套動(dòng)力傳遞裝置的狀態(tài)的圖。 圖7是示意性表示清理輥根據(jù)被輸送物表面的凹凸而上下移動(dòng)的狀態(tài) 的圖。圖8是表示圓筒形磁力齒輪相對(duì)于圓盤(pán)型磁力齒輪的位置的圖。 符號(hào)說(shuō)明1:電動(dòng)機(jī)(驅(qū)動(dòng)源)；10:動(dòng)力傳遞裝置；11:圓盤(pán)型磁力齒輪；12:磁性盤(pán)；13:轉(zhuǎn)軸；15:磁力齒(永久磁鐵)；16:(圓盤(pán)型磁力齒輪的)端面;17:第一磁面；21、22:圓筒型磁力齒輪；23、24:磁性圓筒；25、26:轉(zhuǎn)軸；27:磁力齒(永久磁鐵)；28:(圓盤(pán)型磁力齒輪的)外周面；29:第二磁面；30:基板清洗裝置；31:上側(cè)清理輥(輥)；32:下側(cè)清理輥(輥)；50:基板(被輸送物)。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的輸送裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。再有， 本發(fā)明并不限于該實(shí)施方式。圖1是概要地表示具備本發(fā)明實(shí)施方式的輸送裝置的基板清洗裝置的 一部分的立體圖。再有，在本實(shí)施方式中，作為對(duì)象的"基板"表示在表 面上安裝有電子部件的印刷基板、安裝電子部件前的印刷基板、液晶基板、 等離子顯示基板等。該基板清洗裝置30具備由硅橡膠等粘附性的彈性橡膠材料構(gòu)成的一對(duì)清理輥31、 32;由粘附性比該清理輥31、 32強(qiáng)的材料構(gòu)成的膠帶輥 33、 34;以及向一對(duì)清理輥31、 32傳遞動(dòng)力的動(dòng)力傳遞裝置10。再有， 雖然實(shí)際的基板清洗裝置30是將上述各輥并排設(shè)置多組的結(jié)構(gòu)，但在圖1 中，為便于說(shuō)明而僅表示出一對(duì)而省略其它輥的圖示。一對(duì)清理輥31、 32留有預(yù)定間隔而上下相對(duì)地配置，并經(jīng)轉(zhuǎn)軸25、 26而可旋轉(zhuǎn)地支撐于側(cè)壁板(在圖1中省略圖示)上。如圖1所示，各轉(zhuǎn) 軸25、26的一個(gè)端部分別連接到后述的動(dòng)力傳遞裝置10的從動(dòng)側(cè)圓盤(pán)21 、 22上。以下，將清理輥31稱(chēng)為"上側(cè)清理輥31"，將清理輥32稱(chēng)為"下 側(cè)清理輥32"。此外，膠帶輥33、 34在接觸上側(cè)及下側(cè)清理輥31、 32的 狀態(tài)下分別配置于清理輥31、 32的外側(cè)，并經(jīng)轉(zhuǎn)軸而可旋轉(zhuǎn)地支撐于側(cè) 壁板上。在具有上述結(jié)構(gòu)的基板清洗裝置30中，如圖1所示，通過(guò)將基板50 夾持在清理輥31、 32之間并由后述的動(dòng)力傳遞裝置10來(lái)使清理輥31、 32旋轉(zhuǎn)而將基板50在水平方向上輸送，與此同時(shí)，將附著在基板50上的灰 塵吸附到清理輥31、 32的表面，并從基板50的表面除去灰塵。再有，附 著在清理輥31、 32上的灰塵轉(zhuǎn)移到與清理輥31、 32接觸并旋轉(zhuǎn)的膠帶輥 33、 34上。此外，在本實(shí)施方式中，將下側(cè)清理輥32及膠帶輥34相對(duì)于側(cè)壁板 可旋轉(zhuǎn)地固定，另一方面，將上側(cè)清理輥31及膠帶輥33如圖2所示那樣 相對(duì)于側(cè)壁板在上下方向上可滑動(dòng)地支撐。更詳細(xì)說(shuō)明為，如圖2所示， 上側(cè)清理輥31的轉(zhuǎn)軸25及膠帶輥33的轉(zhuǎn)軸35分別經(jīng)軸承41而支撐于 側(cè)壁板40上。軸套43可上下移動(dòng)地嵌入到在側(cè)壁板40上設(shè)置的長(zhǎng)孔44 中，且將軸承部41固定到側(cè)壁板40上的多個(gè)螺栓42可上下移動(dòng)地嵌入 到螺栓用長(zhǎng)孔45中，從而該軸承部41可在支撐各輥的狀態(tài)下沿上下方向 滑動(dòng)。此外，在膠帶輥33的軸承部41上，由未圖示的汽缸施加預(yù)定的空 氣壓力，而成為使膠帶輥33總是緊密接觸清理輥31的結(jié)構(gòu)。通過(guò)成為上 述結(jié)構(gòu)，在輸送例如像安裝電子部件的基板那樣的在表面上形成凹凸的被 輸送物的情況下，可隨著被輸送物的凹凸而使上側(cè)清理輥31及膠帶輥33 上下移動(dòng)。其次，對(duì)向上側(cè)及下側(cè)清理輥31、 32傳遞旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力傳遞裝置IO進(jìn) 行說(shuō)明。圖3是從正面觀察圖1中上側(cè)及下側(cè)清理輥31、 32以及動(dòng)力傳 遞裝置i0的圖。再有，圖3省略作為被輸送物的基板50進(jìn)行表示。如圖 3所示，動(dòng)力傳遞裝置IO具備由作為驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)(參照?qǐng)D7)驅(qū)動(dòng)而 繞軸心旋轉(zhuǎn)的圓盤(pán)11和經(jīng)轉(zhuǎn)軸25、 26而與上側(cè)及下側(cè)清理輥31、 32連 接的一對(duì)圓筒21、 22。再有，在以下的說(shuō)明中，為便于說(shuō)明，而將驅(qū)動(dòng)側(cè) 的圓盤(pán)ll稱(chēng)為圓盤(pán)型磁力齒輪ll，并將從動(dòng)側(cè)的圓筒21、 22分別稱(chēng)為圓 筒型磁力齒輪21、 22。圖4是概要地表示動(dòng)力傳遞裝置10的圖，上圖是動(dòng)力傳遞裝置10的 主視圖，中圖及下圖是表示圓盤(pán)型磁力齒輪11和圓筒型磁力齒輪21、 22 的磁力嚙合的示意圖。圓盤(pán)型磁力齒輪11的結(jié)構(gòu)包括由磁性體(例如軟 鐵材)構(gòu)成的圓盤(pán)形狀的磁性盤(pán)12;將該磁性盤(pán)12和電動(dòng)機(jī)連接的轉(zhuǎn)軸 13;以及第一磁面17，其通過(guò)在磁性盤(pán)12的端面16上用粘接劑等適當(dāng)方法等間隔地呈放射狀安裝設(shè)置永磁鐵而形成。再有，磁性盤(pán)12的端面16 表示磁性盤(pán)12的單面部分(平面部分)。在下面，將構(gòu)成第一磁面17的各個(gè)永磁鐵稱(chēng)為磁力齒15。如圖5所示，該磁力齒15以相鄰的磁力齒的 磁極為N極(15N)、 S極(15S)交錯(cuò)的方式配置。另一方面，作為從動(dòng)側(cè)的圓筒型磁力齒輪21、 22的結(jié)構(gòu)包括由磁 性體構(gòu)成的磁性圓筒23、 24;將該磁性圓筒23、 24與上側(cè)及下側(cè)清理輥 31、 32連接的轉(zhuǎn)軸25、 26;以及第二磁面29，其通過(guò)在磁性圓筒23、 24 的各外周面28的一周范圍內(nèi)將永磁鐵等間隔地呈螺旋狀安裝設(shè)置而形成。 在下面，將構(gòu)成第二磁面29的各個(gè)永磁鐵稱(chēng)為磁力齒27。該磁力齒27以 相鄰的磁力齒的磁極為N極(27n)、 S極(27s)交錯(cuò)的方式配置。再有， 作為構(gòu)成上述磁力齒15、 27的永磁鐵，可使用具有例如40MGOe的高能 積的稀土類(lèi)材料。該圓筒型磁力齒輪21、 22配置為在與圓盤(pán)型磁力齒輪11之間留有預(yù) 定空隙g且使第二磁面29與圓盤(pán)型磁力齒輪11的第一磁面17相對(duì)。圓 筒型磁力齒輪21、 22的軸線方向長(zhǎng)度形成為與第一磁面17的半徑大體相 同的長(zhǎng)度，其軸線相對(duì)于第一磁面17大體平行。在使圓盤(pán)型磁力齒車(chē)侖11 的第一磁面成為圖4的中圖所示的XY坐標(biāo)平面的情況下，上側(cè)的圓筒型 磁力齒輪21配置為與圓盤(pán)型磁力齒輪11的第一磁面17的第一象限相對(duì)。 另一方面，下側(cè)的圓筒型磁力齒輪21配置為與第一磁面17的第三象限相 對(duì)。這里，使用圖5來(lái)對(duì)圓筒型磁力齒輪的磁力齒的外形為螺旋曲線的情 況下的圓盤(pán)型磁力齒輪的磁力齒的外形曲線式進(jìn)行說(shuō)明。在圖5中，1"12是 圓盤(pán)型磁力齒輪110外周的半徑，ru是圓盤(pán)的軸部分的外周的半徑。這里， 設(shè)r!2—ru^h。此外，將連接圓盤(pán)型磁力齒輪110的中心O和圓盤(pán)外的定 點(diǎn)Q的直線設(shè)為O—Q，且在該直線上存在曲線的起點(diǎn)A點(diǎn)。如圖5所示， 使從直線O—Q繞順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)e的點(diǎn)的從中心O到曲線的距離為！ ，從作為起點(diǎn)的A點(diǎn)(e=o)到作為終點(diǎn)的B點(diǎn)(e-e》的曲線可表示為r=h (e/e!) +r 式1另一方面，圓筒型磁力齒輪(未圖示)旋轉(zhuǎn)92的情況下螺旋曲線前進(jìn)長(zhǎng)度h。于是，在將圓盤(pán)型磁力齒輪110的角速度設(shè)定為CO"將圓筒型磁力齒輪的角速度設(shè)定為co2時(shí)，在圓盤(pán)型磁力齒輪iio旋轉(zhuǎn)e,期間，圓筒型磁力齒輪必須旋轉(zhuǎn)02，所以式2成立。C02/(01 = 02/01 式2再有，將圓盤(pán)型磁力齒輪110的磁力齒數(shù)設(shè)為p,，將圓筒型磁力齒輪 的磁力齒數(shù)設(shè)為p2。此時(shí)，在圓盤(pán)型磁力齒輪110中，磁力齒以360° /p, 的間隔配置，在圓筒型磁力齒輪中，磁力齒以360。 /p2的間隔配置。于是， 在圓盤(pán)型磁力齒輪110旋轉(zhuǎn)360。 /p,期間，圓筒型磁力齒輪旋轉(zhuǎn)360。/p2， 所以式3成立。 2/03,= (360° /p2) / (360° /p。 式3 如果將式2和式3代入到式1中，則式1可由式4表示。 r=h (e/e。
(Pi/p2) +ru 式4 該式4是圓盤(pán)型磁力齒輪110的磁力齒的外形曲線的式子。 在上述的磁力齒輪中，通過(guò)將圓盤(pán)型磁力齒輪和圓筒型磁力齒輪的磁 力齒數(shù)(極數(shù))適當(dāng)?shù)卦O(shè)定而得到期望的轉(zhuǎn)動(dòng)比。例如，在本實(shí)施方式中， 如圖4所示，圓盤(pán)型磁力齒輪11的齒數(shù)設(shè)定為16，圓筒型磁力齒輪21、 22的齒數(shù)分別設(shè)定為8。因此，在從圓盤(pán)型磁力齒輪11向圓筒型磁力齒 輪21、 22傳遞旋轉(zhuǎn)時(shí)，與圓盤(pán)型磁力齒輪ll相比，圓筒型磁力齒輪21、 22的角速度增加二倍。在具有上述結(jié)構(gòu)的動(dòng)力傳遞裝置10中，通過(guò)圓盤(pán)型磁力齒輪11的磁 力齒15和圓筒型磁力齒輪21、 22的磁力齒27的磁力嚙合，即相對(duì)的磁 鐵的N極和S極之間的吸引力以及N極與N極和S極與S極之間的反作 用力，可從圓盤(pán)型磁力齒輪11向圓筒型磁力齒輪21、 22以非接觸方式傳 遞轉(zhuǎn)矩。例如，在使圓盤(pán)型磁力齒輪11如圖4的中圖及下圖所示那樣在逆 時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)在與圓筒型磁力齒輪21、 22之間作用的磁鐵的 吸引力和反作用力來(lái)使圓筒型磁力齒輪21、 22在圓盤(pán)型磁力齒輪11的旋 轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)。即，圓筒型磁力齒輪21、 22將分別在圖4所示的箭頭方 向上旋轉(zhuǎn)，且上側(cè)的圓筒型磁力齒輪21和下側(cè)的圓筒型磁力齒輪22的旋 轉(zhuǎn)方向相反。上述的與上側(cè)的圓筒型磁力齒輪21連接的上側(cè)清理輥31和與下側(cè)的圓筒型磁力齒輪22連接的下側(cè)清理輥32，如圖l所示那樣，上側(cè)和下側(cè) 清理輥31、 32旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橄喾捶较?。這樣，作為被輸送物的基板50被夾 持在上側(cè)和下側(cè)清理輥31、 32之間并將在水平方向上被輸送。圖6是表示配置多組上述動(dòng)力傳遞裝置10的狀態(tài)的圖。在并排設(shè)置 多個(gè)上述清理輥31、 32的情況下，如圖6所示，多個(gè)圓盤(pán)型磁力齒輪ll 配置在電動(dòng)機(jī)1的同一軸心上，并保持與各圓盤(pán)型磁力齒輪11的預(yù)定空隙 而配置多個(gè)圓筒型磁力齒輪21、 22。即，在電動(dòng)機(jī)1的轉(zhuǎn)軸13上配置多 組動(dòng)力傳遞裝置10。多個(gè)圓盤(pán)型磁力齒輪11的配置間隔可根據(jù)上側(cè)和下 側(cè)清理輥31、 32的配置位置來(lái)自由設(shè)定。此外，圖7是示意性表示上側(cè)清理輥31按照基板50的表面的凹凸而 上下移動(dòng)的狀態(tài)的圖，圖8是表示上側(cè)的圓筒型磁力齒輪21向上方移動(dòng) 情況下的相對(duì)于圓盤(pán)型磁力齒輪11的位置的圖。如圖7所示，在由具有厚 度比預(yù)先設(shè)定的上側(cè)和下側(cè)清理輥31、 32的間隔大的的凸部51將上側(cè)清 理輥31向上方推起時(shí)，與之相伴，與上側(cè)清理輥31連接的圓筒型磁力齒 輪21也被向上方推起。如圖8的上圖所示，在圓筒型磁力齒輪21從通常 位置向上方移動(dòng)時(shí)，雖然與圓盤(pán)型磁力齒輪11的嚙合面積與位于通常位置 的情況相比變小，但如下圖所示，圓筒型磁力齒輪21與圓盤(pán)型磁力齒輪 11之間的空隙(氣隙)保持一定。因此，即使圓筒型磁力齒輪21向上方 移動(dòng)，向上側(cè)清理輥31傳遞的轉(zhuǎn)矩也不會(huì)極端變小。如以上說(shuō)明那樣，根據(jù)本實(shí)施方式的基板清洗裝置30，通過(guò)成為利用 在圓盤(pán)型磁力齒輪11及圓筒型磁力齒輪21 、 22上安裝設(shè)置的磁鐵的磁吸 引力及反作用力來(lái)將動(dòng)力從圓盤(pán)型磁力齒輪11向圓筒型磁力齒輪21、 22 傳遞的結(jié)構(gòu)，可從驅(qū)動(dòng)側(cè)以非接觸方式向從動(dòng)側(cè)傳遞動(dòng)力，且不會(huì)如以往 那樣產(chǎn)生因齒輪的機(jī)械嚙合所致的灰塵等，并可將作為被輸送物的基板50 在保持清潔狀態(tài)的狀態(tài)下輸送。此外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)在圓盤(pán)型磁力齒輪ll的端面16上將永 磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈放射狀地異極排列而形成第一磁面17，并 且通過(guò)在圓筒型磁力齒輪21、 22的各外周面28上使永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈螺旋狀地異極排列并安裝設(shè)置而形成第二磁面29，且將圓筒型磁力齒輪21、 22以與圓盤(pán)型磁力齒輪11之間留有預(yù)定間隔且使第二磁面與上述第一磁面相對(duì)的方式配置。通過(guò)成為上述結(jié)構(gòu)，即使圓筒型磁力齒輪21、 22相對(duì)于圓盤(pán)型磁力齒輪11向上移動(dòng)或向下移動(dòng)也可將圓筒型 磁力齒輪21、 22與圓盤(pán)型磁力齒輪11的空隙保持為一定，因而傳遞到圓 筒型磁力齒輪21、 22的轉(zhuǎn)矩不會(huì)極端變小。其結(jié)果是，與在一對(duì)輥之間 夾持的被輸送物的凹凸無(wú)關(guān)，可保持期望的轉(zhuǎn)矩，且可確保穩(wěn)定的輸送功 能。再有，根據(jù)本實(shí)施方式的基板清洗裝置30，由于在并排設(shè)置多對(duì)清理 輥31、 32的情況下，成為將多個(gè)圓盤(pán)型磁力齒輪ll配置在驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī) 的同一軸心上的結(jié)構(gòu)，所以起到了對(duì)于多組動(dòng)力傳遞裝置10， 一個(gè)作為驅(qū) 動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)1便可驅(qū)動(dòng)的效果。此外，在將多個(gè)圓盤(pán)型磁力齒輪11配置 在同一軸心上的情況下，可自由設(shè)定其配置間隔，其結(jié)果是，起到了可自 由設(shè)定多對(duì)清理輥的設(shè)置間隔的效果。還有，在上述實(shí)施方式中，雖然構(gòu)成為僅可使上側(cè)清理輥31上下移 動(dòng)，但即使使上側(cè)和下側(cè)清理輥兩者皆可上下移動(dòng)也能得到與上述實(shí)施方 式相同的效果。如上所述，本發(fā)明的輸送裝置，可有效地用于以上述實(shí)施方式中所示 的基板清洗裝置為首，在根據(jù)夾持在一對(duì)輥之間的被輸送物的凹凸使輥上 下移動(dòng)的同時(shí)使輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送被輸送物的輸送裝置。
權(quán)利要求
1.一種輸送裝置，該輸送裝置具備向一對(duì)輥傳遞旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力傳遞裝置，且通過(guò)將被輸送物夾持在所述一對(duì)輥之間并使所述一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送被輸送物，其特征在于，所述動(dòng)力傳遞裝置具備圓盤(pán)，其由驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而繞軸心旋轉(zhuǎn)，并且具有通過(guò)在其端面上將永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈放射狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成的第一磁面；和一對(duì)圓筒，它們分別與所述一對(duì)輥連接，并且具有通過(guò)在其外周使永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈螺旋狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成的第二磁面；將所述一對(duì)圓筒以與所述圓盤(pán)之間留有預(yù)定間隔，并且使所述第二磁面與所述第一磁面相對(duì)的方式配置；利用所述永磁鐵的磁吸引力及反作用力來(lái)將動(dòng)力從所述圓盤(pán)向所述一對(duì)圓筒傳遞。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送裝置，其特征在于， 在并排設(shè)置多對(duì)所述輥的情況下，將所述圓盤(pán)配置在同一軸心上。
全文摘要
本發(fā)明提供輸送裝置，該輸送裝置不產(chǎn)生作為向輥傳遞動(dòng)力的裝置的齒輪因磨損、摩擦等所致的灰塵。本發(fā)明的輸送裝置具備向一對(duì)輥傳遞旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力傳遞裝置，且通過(guò)將被輸送物夾持在一對(duì)輥之間并使一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送被輸送物。動(dòng)力傳遞裝置具備圓盤(pán)，其由驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)而繞軸心旋轉(zhuǎn)，并且具有通過(guò)在其端面上將永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈放射狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成的第一磁面；和一對(duì)圓筒，它們分別與一對(duì)輥連接，并且具有通過(guò)在其外周使永磁鐵以N極、S極交錯(cuò)的方式呈螺旋狀地異極排列進(jìn)行安裝設(shè)置而形成的第二磁面；將一對(duì)圓筒以與圓盤(pán)之間留有預(yù)定間隔且使第二磁面與第一磁面相對(duì)的方式配置；利用磁吸引力及反作用力來(lái)將動(dòng)力從圓盤(pán)向一對(duì)圓筒傳遞。
文檔編號(hào)B08B1/04GK101309042SQ20071012693
公開(kāi)日2008年11月19日 申請(qǐng)日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月16日
發(fā)明者操谷欽吾, 早坂大祐 申請(qǐng)人:株式會(huì)社松榮工機(jī)