專利名稱：自動連續超聲清洗裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種自動連續超聲清洗裝置，特別是在半導體二極管清洗工藝中適用于被清洗物料傳送過程中的自動連續多次超聲波清洗。
背景技術：
半導體器件的清洗工序，對產品的品質起著非常關鍵的作用。為了加強清洗效果，采用超聲波清洗技術是很必要的。當前，在半導體二極管清洗工藝中涉及的超聲清洗裝置具有放置被清潔物料的托盤，這些托盤放置于托盤軌道上，在托盤軌道的下方或一側設置有超聲波清洗缸，用于發生超聲的超聲振子就固定于超聲波清洗缸的側壁。操作者手工取托盤軌道上的托盤放入超聲波清洗缸進行清洗。用這種手工操作方式來清潔物料會帶來很多沾污，同時手工拿取操作托盤會浪費工時使效率低下。
發明內容
本實用新型的目的是提供一種自動連續超聲清洗裝置，其可以實現半導體器件的超聲波清洗過程自動化。
為達上述目的，本實用新型是這樣實現的一種自動連續超聲清洗裝置，其具有放置被清潔物料的托盤，所述托盤放置于托盤軌道上，所述托盤軌道的下方設置有超聲波清洗缸，所述的超聲波清洗缸側壁固定有超聲振子，其特征在于所述托盤軌道上設置有數個機架，在每個機架內的托盤軌道分為左托盤軌道、中托盤軌道、右托盤軌道；所述的中托盤軌道固定在吊籃上，所述吊籃與固定在機架上的大氣缸相連接，所述大氣缸推動吊籃上下運動使放置被清潔物料的托盤進出超聲波清洗缸；所述托盤軌道上方設置有水平拉桿，所述水平拉桿朝下的一面固定設置有多個拔叉；所述水平拉桿的一端與固定在機架上的小氣缸相連接，所述小氣缸推動水平拉桿水平運動。
更佳的是，本實用新型所述托盤軌道上設置有3個機架，每一機架內含有一個超聲波清洗缸。托盤中物料經過3個機架的超聲波清洗達到良好的清洗效果。
本實用新型中所述水平拉桿朝下一面的拔叉與所述托盤的間隙相對應，并可推動所述托盤只向一端移動。更佳的是，所述中托盤軌道的長度依據其上托盤的工位數而定。超聲波清洗托盤中物料時需要一定的清洗時間，為了滿足清洗時間在一個超聲波清洗缸中可以一個托盤清洗達到設定時間，也可以一個托盤數次清洗其清洗時間累計達到設定時間，此時，清洗次數等于托盤的工位數。為了同時滿足超聲振子對于托盤物料的超聲作用，本實用新型所述中托盤軌道上的托盤工位數為3時效果更好。
本實用新型還可以配置自動控制系統，自動控制系統控制大小氣缸的運動使得吊籃的上下運動與托盤在托盤軌道上的水平運動相配合，使自動連續多次超聲波清洗得以實現。
本實用新型的有益效果是運用自動連續多次超聲清洗方式替代手工操作方式來清潔物料，大大減小了沾污，同時避免了手工操作托盤時的工時浪費提高了效率。
圖1為本實用新型的剖面示意圖。
圖標1，2，3，4，5托盤6 左托盤軌道7 右托盤軌道8 中托盤軌道9 水平拉桿 10 拔叉 11 小氣缸12 超聲波清洗缸 13 大氣缸14 吊籃15 機架具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下參照附圖并舉出實施案例，對本實用新型進一步詳細說明。
如圖1所示，一種自動連續超聲清洗裝置，具有放置被清潔物料的托盤1～5，托盤1放置于左托盤軌道6上，托盤2、托盤3、托盤4放置于中托盤軌道8上，托盤5放置于右托盤軌道7上，在托盤軌道的下方設置有超聲波清洗缸12，超聲波清洗缸12側壁固定有超聲振子，所述的左托盤軌道6、右托盤軌道7、中托盤軌道8設置在機架15之內，所述的中托盤軌道8固定在吊籃14上，所述吊籃14與固定在機架15上的大氣缸13相連接，所述大氣缸13推動吊籃14上下運動使放置被清潔物料的托盤進出超聲波清洗缸12；所述托盤軌道上方設置有水平拉桿9，所述水平拉桿9朝下的一面固定設置有多個拔叉10；所述水平拉桿9的一端與固定在機架15上的小氣缸11相連接，所述小氣缸11推動水平拉桿9水平運動。
操作時，當托盤1、2、3、4、5行進至托盤軌道上時，大氣缸13帶動吊籃14向下移動，從而使吊籃14內固定的中托盤軌道8下移動，放置在中托盤軌道8上的托盤2、托盤3、托盤4即可在超聲波清洗缸12內實現清洗。超聲振子固定在超聲缸內使超聲波得以發生。清洗完畢后，大氣缸13帶動吊籃14向上移動，使固定在吊籃14內的中托盤軌道8與左托盤軌道6、右托盤軌道7接軌。此時固定在水平拉桿9上的撥叉10在小氣缸11的帶動下，將托盤向右移動一個工位，使托盤1進入吊籃14，托盤4走出吊籃14，托盤1、2、3在吊籃14內由大氣缸13帶動進行第2次超聲波清洗，原來托盤1的位置放置新的托盤，周而復始，從而實現自動超聲波清洗。
以上為一個機架單元，將多個機架單元，例如3個機架連接后就成為自動連續多次超聲波清洗裝置。
權利要求1.一種自動連續超聲清洗裝置，其具有放置被清潔物料的托盤，所述托盤放置于托盤軌道上，所述托盤軌道的下方設置有超聲波清洗缸，所述的超聲波清洗缸側壁固定有超聲振子，其特征在于所述托盤軌道上設置有數個機架，在每個機架內的托盤軌道分為左托盤軌道、中托盤軌道、右托盤軌道；所述的中托盤軌道固定在吊籃上，所述吊籃與固定在機架上的大氣缸相連接，所述大氣缸推動吊籃上下運動使放置被清潔物料的托盤進出超聲波清洗缸；所述托盤軌道上方設置有水平拉桿，所述水平拉桿朝下的一面固定設置有多個拔叉；所述水平拉桿的一端與固定在機架上的小氣缸相連接，所述小氣缸推動水平拉桿水平運動。
2.根據權利要求1所述的自動連續超聲清洗裝置，其特征在于所述托盤軌道上設置有3個機架，每一機架內含有一個超聲波清洗缸。
3.根據權利要求1所述的自動連續超聲清洗裝置，其特征在于所述水平拉桿朝下一面的拔叉與所述托盤的間隙相對應，并可推動所述托盤只向一端移動。
4.根據權利要求3所述的自動連續超聲清洗裝置，其特征在于所述中托盤軌道的長度依據其上托盤的工位數而定。
5.根據權利要求4所述的自動連續超聲清洗裝置，其特征在于所述中托盤軌道上的托盤工位數為3。
6.根據權利要求1至5任一所述的自動連續超聲清洗裝置，其特征在于所述的自動連續超聲清洗裝置還配置有自動控制系統。
專利摘要一種自動連續超聲清洗裝置，包括放置被清潔物料的托盤，托盤軌道，托盤軌道下方的超聲波清洗缸，所述的超聲波清洗缸側壁固定有超聲振子，其特征在于所述托盤軌道上設置有數個機架，在每個機架內有左、中、右托盤軌道；中托盤軌道固定在吊籃上，所述吊籃與固定在機架上的大氣缸相連接，所述大氣缸推動吊籃上下進出超聲波清洗缸；所述托盤軌道上方設置有水平拉桿，所述水平拉桿朝下的一面固定設置有多個撥叉；所述水平拉桿的一端與固定在機架上的小氣缸相連接，所述小氣缸推動水平拉桿水平運動。本實用新型的有益效果是運用自動連續多次超聲清洗方式替代手工操作方式來清潔物料，大大減小了沾污，提高了效率。
文檔編號B08B3/12GK2701543SQ20042002077
公開日2005年5月25日 申請日期2004年3月12日 優先權日2004年3月12日
發明者吳靜, 俞有為, 沙全林 申請人:上海旭日電子有限公司