專利名稱：薄膜去除裝置及薄膜去除方法
技術領域：
本發明涉及一種薄膜去除裝置及薄膜去除方法，例如涉及能夠高效率地進行用于去除玻璃基板上薄膜的剝離、收集、體積減量(或壓縮)等一系列工序的薄膜去除裝置及薄膜去除方法。
背景技術：
眾所周知，在TFT-LCD(薄膜晶體管驅動彩色液晶顯示器)、PDP(Plasma Display Panel等離子顯示面板)、EL(Electroluminescence電致發光)等平面顯示器(Flat Display)的制造領域中采用的玻璃基板是，將用玻璃熔化爐熔化的水玻璃(硅酸鈉)供給熔液成形器，制成玻璃基板后，按原始標準切斷，并在其表面被覆保護用薄膜之后，運到玻璃基板加工線上。在玻璃基板加工線，從玻璃基板剝離了薄膜之后，將玻璃基板再切斷成符合平面顯示器規格的尺寸。并且，在其后的被覆工序中，在玻璃基板的表面，例如作為絕緣膜被覆二氧化硅(SiO2)膜，作為導電膜被覆ITO(Indium tinoxide，銦錫氧化物)膜。
在一般的玻璃基板的薄膜去除裝置中，利用滾筒式輸送機，一邊傳送玻璃基板，一邊在具有粘性的氨基甲酸乙酯滾筒的表面上粘附傳送的玻璃基板的薄膜，進行薄膜剝離。
另外，在專利文獻1中公開了一種從玻璃基板去除薄膜的技術，該技術是沿著加壓滾筒的外面卷取地供應粘著帶，一邊用加壓滾筒壓附玻璃基板的薄膜，一邊在粘著帶上粘附薄膜，然后，一邊移動加壓滾筒，一邊用與加壓滾筒連動的紙管從玻璃基板去除薄膜。
專利文獻1日本專利特開平4-189260號公報但是，如果在上述氨基甲酸乙酯滾筒的表面附著粉塵等異物，會降低氨基甲酸乙酯滾筒的粘著力，失去其功能。因此必須周期性地停止薄膜去除裝置的運轉，周期性地清掃氨基甲酸乙酯滾筒的表面，這樣就存在大大降低生產率的問題。特別是，為了再生氨基甲酸乙酯滾筒的粘著力，必須使用對人體有害的如甲基乙基甲酮等溶劑進行清洗，因此，還存在損害作業環境的弊端。而且，利用氨基甲酸乙酯滾筒從玻璃基板剝離的廢薄膜，需要作業者另外收集、廢棄，費工費時，通過減小廢薄膜的體積進行廢棄處理，需要投入較多的時間和努力，存在增加生產費用的問題。一般，作業者為了高效率地收走廢薄膜，大約1小時進行一次收集作業，在作業者不收走廢薄膜，原封不動地放在加工線上的情況下，廢薄膜散落在加工線的周圍，不僅損害作業環境，還有進入加工線設備中引發事故的危險。
此外，上述專利文獻1的技術在粘著帶的連續性供給方面還存在許多難題。即使在該技術中，操作者也必須手工去除貼附在加壓滾筒的粘著帶上的薄膜，由于廢棄廢薄膜需要收走及壓縮或體積減量的作業，不僅使生產效率降低，還存在增加生產費用的問題。
發明內容
本發明是為解決上述現有技術的種種問題而提出的，其目的是提供一種可高效率地進行為從玻璃基板上去除薄膜的剝離、收集、體積減量等一系列工序、能夠提高生產率、且能夠大大降低生產費用的薄膜去除裝置及薄膜去除方法。
本發明的另一目的是提供一種可立即收集從板狀部件上剝離并排出廢薄膜，從而能夠改善工作環境的薄膜去除裝置及薄膜去除方法。
此外，本發明的另一目的是提供一種能使容易減少廢薄膜的體積、并可降低廢棄費用的薄膜去除裝置及薄膜去除方法。
為達到上述目的，本發明的薄膜去除方法包括如下工序傳送工序，其利用傳送裝置向去除位置傳送被覆有薄膜的板狀部件；薄膜剝離工序，在傳送裝置的去除位置，向上述板狀部件的傳送方向前端噴射壓縮空氣，從而從上述板狀部件剝離薄膜；廢薄膜排出工序，利用真空吸附滾動裝置的真空吸附，從傳送裝置的去除位置排出從上述板狀部件剝離的廢薄膜；廢薄膜收集工序，利用收集裝置吸入并收集由真空吸附滾動裝置排出的廢薄膜；壓縮工序，壓縮從收集裝置排出的廢薄膜。
圖1是表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中滾筒式輸送機、空氣噴射器、真空吸附滾動裝置及驅動裝置的結構的斷面圖。
圖2是表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中滾筒式輸送機、空氣噴射器、真空吸附滾動裝置及驅動裝置的結構的正視圖。
圖3是表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中滾筒式輸送機、空氣噴射器、真空吸附滾動裝置及驅動裝置的結構的側面圖。
圖4是表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中真空吸附滾動裝置及第1空氣吸引裝置的結構的正視圖。
圖5是部分放大表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中真空吸附滾動裝置結構的斷面圖。
圖6是沿圖5所示的I-I線的斷面圖。
圖7(A)及(B)是說明本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中空氣噴射器工作的側面圖。
圖8(A)及(B)是說明本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中真空吸附滾動裝置工作的斷面圖。
圖9是表示本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中收集裝置的吸入罩、旋渦收塵器、第1及第2空氣吸引裝置以及自動壓縮機結構的系統圖。
圖10是表示安裝在本發明的優選實施方式的薄膜去除裝置中旋渦收塵器出口上的翻轉閘門的結構的斜視圖。
圖11是說明本發明的優選實施方式中玻璃基板的薄膜去除方法的流程圖。
圖12是說明本發明的優選實施方式中玻璃基板的薄膜去除方法的接續圖11的流程圖。
具體實施例方式
以下，根據附圖詳細說明本發明的薄膜去除裝置及去除方法的最佳實施方式。
首先，如參照圖1～圖3，本發明的薄膜去除裝置，具有作為傳送裝置的滾筒式輸送機10。這種滾筒式輸送機10，將厚度為0.5～1mm左右的薄板狀部件玻璃基板1，向去除其表面被覆的薄膜2的去除位置P1傳送，此時使薄膜2朝下。另外，玻璃基板1的縱向(mm)×橫向(mm)的尺寸可在如370×470～1150×1300左右。
如圖1及圖3所示，在滾筒式輸送機10的框架11上，按規定的間隔排列有通過轉動運動傳送玻璃基板1的多個傳送滾筒(供料滾筒)12。滾筒式輸送機10的傳送滾筒12通過共知的電機和傳遞該電機驅動力的動力傳遞用鏈條、動力傳遞用皮帶等傳送裝置，一邊轉動一邊沿傳送方向13傳送玻璃基板1。此外，如圖1所示，在滾筒式輸送機10的框架11上設置有傳感器14，該傳感器14檢測玻璃基板1的傳送方向前端是否到達滾筒式輸送機10的去除位置P1。傳感器14由發射光信號的發光傳感器14a和接收從該發光傳感器14a發送的光信號的受光傳感器14b構成。在本實施例中，傳感器14也可以由非接觸式的傳感器構成。
如參照圖1～圖3、圖7(A)及圖7(B)，在滾筒式輸送機10的去除位置P1，作為通過向玻璃基板1的傳送方向前端噴射壓縮空氣，從而從玻璃基板1剝離薄膜2的空氣噴射裝置，設置了空氣噴射器20。空氣噴射器20與滾筒式輸送機10的傳送滾筒12平行配置。空氣噴射器20由與空氣供應裝置21連接形成空氣通路的中空型通氣管22和多個空氣噴頭23構成，該多個空氣噴頭23安裝在通氣管22外面，使其可向玻璃基板1的傳送方向的前端噴射壓縮空氣。空氣供應裝置21可以由產生壓縮空氣的空氣壓縮機、控制來自該空氣壓縮機的空氣供應的空氣控制器、以及控制空氣壓力和流量的閥門及壓力表等附屬裝置構成，該閥門及壓力表安裝在連接通氣管22和空氣控制器的進氣管上。在本實施例中，也可以用鼓風機代替空氣供應裝置21的空氣壓縮機。
此外，通過作為工作裝置的一對第1氣缸24的工作，空氣噴射器20在滾筒式輸送機10的去除位置P1和允許傳送玻璃基板1的待機位置P2(參照圖7(B))之間進行升降運動。一對第1氣缸24通過固定托架25分別配置在框架的兩上部。在第1氣缸24的氣缸桿24a上連接有連接托架26。
在連接托架26的側端安裝有第2氣缸27，其使空氣噴射器20，相對于位于去除位置P1上的玻璃基板1的傳送方向前端，在水平方向上運動而接近或分隔。第2氣缸27的氣缸桿27a連接在通氣管22的側端。
在連接托架26的下面，通過軸承29可轉動地安裝有夾送滾筒28的側端。夾送滾筒28由具有柔軟性的材料如氨基甲酸乙酯制作，以防止損傷玻璃基板1。
如圖7(A)所示，通過第1氣缸24的工作，空氣噴射器20一從待機位置P2降到去除位置P1，夾送滾筒28就留出沿滾筒式輸送機10的傳送滾筒12傳送的玻璃基板1可通過的間隔，靠近真空吸附滾動裝置30(后述)。如圖7(B)所示，如果空氣噴射器20處于待機位置P2，夾送滾筒28就脫離真空吸附滾動裝置30，以能夠通過滾筒式輸送機10的動作自由傳送玻璃基板1。
如果參照圖1～圖6，在滾筒式輸送機10的去除位置P1設置真空吸附滾動裝置30，該真空吸附滾動裝置30利用空氣噴射器20的動作吸附從玻璃基板1剝離的廢薄膜2a(參照圖8(B))，使其脫離玻璃基板1，并從框架11的下部排出。真空吸附滾動裝置30具有中空型主滾筒31，其可轉動地與傳送滾筒12平行地設置在滾筒式輸送機10的去除位置P1。在該主滾筒31上設有多個吸引孔31a，該吸引孔31a通過吸入空氣吸附從玻璃基板1剝離的薄膜2a，并沿長度方向及圓周方向按規定的間隔整齊排列，形成群體。主滾筒31的吸引孔31a沿長度方向形成細長的長方形槽。在主滾筒31的兩側端各自連接有嵌合了軸承32的中空型連軸器31b。
此外，在主滾筒31的內側安裝有中空型吸引管33。在靠近滾筒式輸送機10的去除位置P1的吸引管33的上部，連通主滾筒31的吸引孔31a等來形成空氣通路的吸引孔33a等，沿吸引管33的長度方向形成為一列。在吸引管33的兩端安裝有接合器33b。接合器33b貫通固定在滾筒式輸送機10的框架11上的固定托架34被固定。安裝在主滾筒31的連軸器31b上的軸承32被支承在接合器33b的外面。此外，吸引管33插入于主滾筒31的內側，使至少形成有吸引孔33a的吸引管33的外面與主滾筒31的內面相隔離。
如圖4詳細所示，吸引管33的接合器33b通過進氣管35a與第1空氣吸引裝置35連接。第1空氣吸引裝置35由通過吸引管33吸入、排出空氣的鼓風機36構成。第1空氣吸引裝置35也可以由真空泵代替鼓風機36構成。在主滾筒31的外面，以按規定間隔圍住主滾筒31的吸引孔31a的方式，安裝有多個副滾筒37等，該副滾筒37由摩擦系數大的材料如氨基甲酸乙酯、橡膠、具有柔軟性的聚酯等制成，用于保護玻璃基板1，增大對廢薄膜2a的吸附力。
在副滾筒37上，與主滾筒31的吸引孔31a各自對應地形成有吸引孔37a。并且，在相鄰的副滾筒37之間分別設置有保持副滾筒37間隔的隔離環38a。位于主滾筒31的左右側端部的副滾筒37，安裝為能夠利用各自具有不同長度的隔離環38b，與主滾筒31的端部保持適當的間隔。
另外，如圖8(A)及圖8(B)所示，通過運轉驅動裝置40(參照圖3)，真空吸附滾動裝置30的主滾筒31向玻璃基板1的傳送方向單方向轉動。如圖3所示，驅動裝置40由固定在滾筒式輸送機10的框架11上、提供驅動力的電機41，和向主滾筒31傳遞該電機41的驅動力的動力傳遞用皮帶42構成。動力傳遞用皮帶42由安裝在電機41的驅動軸41a上的驅動皮帶輪(driving pulley)42a、安裝在主滾筒31的一側端的從動皮帶輪(driven pulley)42b和套在驅動皮帶輪42a及從動皮帶輪42b上的皮帶42c構成。
如參照圖9，本發明的薄膜去除裝置具有收集裝置50，該收集裝置50利用真空吸附滾動裝置30的真空吸附，收集從滾筒式輸送機10的去除位置P1排出的廢薄膜2a。該收集裝置50由吸入罩(進氣)51和旋渦收塵器53構成。吸入罩51通過真空吸附滾動裝置30收容從玻璃基板1剝離、脫落并從去除位置P1排出的廢薄膜2a。旋渦收塵器53通過第1薄膜傳送管道52與吸入罩51連接。在該旋渦收塵器53上，上下形成有吸入廢薄膜2a的入口53a及排出廢薄膜2a的出口53b。
吸入罩51的入口51a配置為靠近真空吸附滾動裝置30的下部。在吸入罩51的一側端形成的出口51b上連接有第1薄膜傳送管道52。在旋渦收塵器53的入口53a及出口53b上連接有第1薄膜傳送管道52。垂直配置旋渦收塵器53的入口53a及出口53b。旋渦收塵器53的入口53a通過第1薄膜傳送管道52與吸入罩51的出口51b連接。
在圖9中示出了一個吸入罩51，但是，可僅提供與在多個玻璃基板加工線上構成的滾筒式輸送機10的去除位置P1對應數目的吸入罩51，吸入罩51也可通過第1薄膜傳送管道52連接在旋渦收塵器53的入口53a上。在本實施方式中，也可以利用旋渦收塵器53的入口53a直接吸入并收集廢薄膜2a，來代替采用吸入罩51和第1薄膜傳送管道52。
如參照圖9，在旋渦收塵器53的出口53b上安裝有從旋渦收塵器53排出廢薄膜2a的翻轉閘門54。如圖10所示，該翻轉閘門54由提供驅動力的電機55、可轉動地靠近旋渦收塵器53的出口53b的相互平行地安裝的第1葉輪56及第2葉輪57、向第1葉輪56及第2葉輪57中一個如第1葉輪56傳遞電機55的驅動力的動力傳遞用皮帶58、以及向第2葉輪57傳遞第1葉輪56的轉動力的齒輪組59構成。
第1葉輪56及第2葉輪57各自具有圓筒型滾筒56a、57a，在壓縮滾筒56a、57a的外面，沿長度方向放射狀地形成有多個翼翅56b、57b，其相互合作送出廢薄膜2a。在滾筒56a、57a的兩端側，貫通旋渦收塵器53的兩側壁可突出地延長設置有軸56c、57c。第1葉輪56及第2葉輪57各自的軸56c、57c，被已知的軸承可轉動地支承在旋渦收塵器53的兩端側壁上。動力傳遞皮帶58由安裝在電機55的驅動軸55a上的驅動皮帶輪58a、安裝在第1葉輪56的軸56c上的從動皮帶輪58b和套在驅動皮帶輪58a及從動皮帶輪58b上的皮帶58c構成。齒輪組59由驅動齒輪59a和從動齒輪59b構成，驅動齒輪59a安裝在與驅動皮帶輪58a相反位置的第1葉輪56的軸56c上，從動齒輪59b安裝在第2葉輪57的軸57c上，可與驅動齒輪59a咬合轉動。
如果利用動力傳遞皮帶58傳遞電機55的驅動力來轉動第1葉輪56，則由齒輪組59將第1葉輪56的轉動力傳遞給第2葉輪57，第2葉輪57向與第1葉輪56相反的方向轉動，第1葉輪56及第2葉輪57的翼翅56b、57b從旋渦收塵器53的出口53b送出廢薄膜2a。
如再參照圖9，第2空氣吸引裝置60的第1渦輪鼓風機61通過空氣管道60a連接在靠近旋渦收塵器53的入口53a的位置。在第2空氣吸引裝置60的空氣管道60a上，并列連接具有與第1渦輪鼓風機61相同結構的第2渦輪鼓風機62。在本實施方式中，第1渦輪鼓風機61及第2渦輪鼓風機62的各自風量設定為14m3/min、風壓設定為250mmAg。
在運轉本發明的薄膜去除裝置時，可只運轉第2空氣吸引裝置60的第1渦輪鼓風機61及第2渦輪鼓風機62中的一個如第1渦輪鼓風機61。第2渦輪鼓風機62是為在第1渦輪鼓風機61發生故障時，不中斷地連續運行廢薄膜2a的收集而準備的。在靠近旋渦收塵器53的出口53b的位置，通過空氣管道63a連接有第3空氣吸引裝置63的鼓風機64。在本實施方式中，鼓風機64的風量設定為23m3/min、風壓設定為190mmAg。第1渦輪鼓風機61、第2渦輪鼓風機62及鼓風機64也可以各自由真空泵構成。
此外，旋渦收塵器53的出口53b通過第2薄膜傳送管道71連接有自動壓縮機70，自動壓縮機70壓縮、捆扎(binding)并排出由旋渦收塵器53供給的廢薄膜2a。自動壓縮機70由市售的德國Ancove公司(Ancove enterprise limited)生產的Welger SB2000系列自動壓縮機構成，第1薄膜傳送管道52和第2薄膜傳送管道71各自由管道構成。
如圖1所示，本發明的薄膜去除裝置具有滾筒式輸送機10、控制空氣噴射器20、第1空氣吸引裝置35的鼓風機36、驅動裝置40、翻轉閘門54、第2空氣吸引裝置60及第3空氣吸引裝置63等控制運轉的控制器80。控制器80上連接有傳感器14，根據從傳感器輸入的信號控制空氣噴射器20的運作。控制器80可以由能夠按定序程序控制各裝置運作的可程序化的控制器(可編程序的控制器)或計算機構成。
以下，根據圖11及圖12說明利用具有上述構成的本發明的玻璃基板薄膜去除裝置的薄膜去除方法。
如參照圖1、圖4及圖9，首先，利用控制器80的控制，使第1空氣吸引裝置35的鼓風機36、翻轉閘門54的電機55、第2空氣吸引裝置60的第1渦輪鼓風機61及第3空氣吸引裝置63的鼓風機64運轉，準備收集從玻璃基板剝離、排出的廢薄膜2a(S100)。
如圖3及圖7(A)所示，通過第1氣缸24的動作使氣缸桿24a前進，使得空氣噴射器20從待機位置P2下降到滾筒式輸送機10的去除位置P1，作準備(S101)。通過降下空氣噴射器20，夾送滾筒28分開，形成相對于真空吸附滾動裝置30的副滾筒37能夠通過玻璃基板1的間隔。
如參照圖1及圖4，在薄膜2朝下向滾筒式輸送機10的傳送滾筒12供給玻璃基板1后，一旦運轉滾筒式輸送機10，玻璃基板就通過傳送滾筒12的轉動運動，沿傳送方向13傳送到去除位置P1(S102)。
利用滾筒式輸送機10的動作傳送的玻璃基板1被傳感器14檢測，傳感器14將玻璃基板1的檢測信號輸入給控制器80，控制器80根據從傳感器14輸入的傳感信號判斷玻璃基板1的傳送方向的前端是否到達去除位置P1(S103)。
如果控制器80判斷為玻璃基板1的傳送方向的前端到達去除位置P1(YES)，則停止滾筒式輸送機10的工作(S104)。在本實施方式中，如圖7(A)所示，滾筒式輸送機10的停止設定在玻璃基板1的傳送方向的前端通過夾送滾筒28和真空吸附滾動裝置30的副滾筒37之間的時刻。
如再參照圖3及圖7(A)，如果控制器80停止滾筒式輸送機10的運作，通過運轉第2氣缸27使氣缸桿27a前進，使空氣噴射器20的空氣噴頭23靠近玻璃基板1的傳送方向的前端(圖7(A)中用虛線表示)，通過空氣噴射器20的空氣噴頭23噴射壓縮空氣，從玻璃基板1剝離薄膜2(S105)。在用空氣噴射器20的空氣噴頭23向玻璃基板1的傳送方向的前端噴射壓縮空氣時，有時因壓縮空氣的噴射力，產生玻璃基板1的傳送方向的前端從真空吸附滾動裝置30的副滾筒37浮起的情況，但如圖7(A)所示，由于位于副滾筒37的上方的夾送滾筒28壓住玻璃基板1的上面，可防止產生玻璃基板1的浮起現象。
然后，如圖7(B)所示，在剝離薄膜2后，利用第2氣缸27的動作使氣缸桿27a后退，以使被傳送的玻璃基板1不干擾空氣噴射器20。之后，使得空氣噴射器20的空氣噴頭23離開玻璃基板1的傳送方向前端，利用第1氣缸24的動作使氣缸桿24a后退，以使空氣噴射器20從去除位置P1恢復到待機位置P2(S106)。
空氣噴射器20一恢復到待機位置P2，就通過運轉滾筒式輸送機10再次傳送玻璃基板1，從去除位置P1排出(S107)。
如參照圖3、圖4、圖8(A)及圖8(B)，在通過運轉滾筒式輸送機10排出玻璃基板1時，通過運轉空氣噴射器20從玻璃基板1被剝離的廢薄膜2a，被通過副滾筒37的吸引孔37a等、主滾筒31的吸引孔31a等以及吸引管33的吸引孔33a等傳遞的吸入力，吸附在副滾筒37的表面。利用動力傳遞用皮帶42傳遞電機41的驅動力的真空吸附滾動裝置30的主滾筒31向玻璃基板1的傳送方向轉動，通過轉動主滾筒31，吸附在副滾筒37的表面的廢薄膜2a從玻璃基板1脫落，并從滾筒式輸送機10的去除位置P1排出(S108)。此外，如圖8(B)所示，通過轉動主滾筒31，吸附了廢薄膜2a的副滾筒37的吸引孔37a一旦遠離吸引管33的吸引孔33a，作用于該副滾筒37的吸引孔37a的吸引力就被減弱，吸附在副滾筒37的表面上的廢薄膜2a順利地從副滾筒37脫落。通過這樣運轉滾筒式輸送機10，可連續傳送被覆有薄膜2的玻璃基板1，利用空氣噴射器20的動作向玻璃基板1的傳送方向前端噴射壓縮空氣，在剝離掉玻璃基板1上被覆的薄膜2后，通過運轉真空吸附滾動裝置30迅速地從玻璃基板1排出從玻璃基板1剝離的廢薄膜2a，從而能夠大幅提高生產率，能夠容易實現自動化去除薄膜2，降低生產費用。并且，通過采用真空吸附滾動裝置30的真空吸附方式迅速自動排出廢薄膜2a，能夠改善作業環境，并能有效地防止因廢薄膜2a殘留在玻璃基板加工線上而誘發的加工線故障。
如圖9及圖10所示，被副滾筒37剝離、排出的廢薄膜2a收集在收集裝置50的吸入罩51內。此時，在吸入罩51的入口51a，由于第1渦輪鼓風機61的運轉產生的吸引力經過第1薄膜傳送管道52作用于旋渦收塵器53，從真空吸附滾動裝置30的副滾筒37剝離的廢薄膜2a立即收集在吸入罩51的入口51a內。并且，廢薄膜2a經過吸入罩51的出口51b、第1薄膜傳送管道52及旋渦收塵器53的入口53a，被吸入收集在旋渦收塵器53的內側(S109)。由鼓風機64運轉產生的2次吸引力控制作用于旋渦收塵器53的入口53a及出口53b的內壓，以能夠在出口53b排出旋渦收塵器53的入口53a吸入的廢薄膜2a。即，利用鼓風機64在旋渦收塵器53的出口53b一側產生的內壓比在入口53a產生的內壓變小。隨之，相對于旋渦收塵器53的入口53a一側，在出口53b一側產生低內壓，因此，能夠將在旋渦收塵器53的入口53a吸入的廢薄膜2a順利轉移到出口53b并排出。
接著，通過利用動力傳遞用皮帶58傳遞電機55的驅動力來轉動第1葉輪56和第2葉輪57的翼翅56a、57a的作用，在旋渦收塵器53的出口53b排出傳送到旋渦收塵器53的出口53b的廢薄膜2a，從旋渦收塵器53的出口53b排出的廢薄膜2a，經過第2薄膜傳送管道71供給自動壓縮機70(S110)。
自動壓縮機70將廢薄膜2a壓縮成塊狀(S111)。
將被壓縮的廢薄膜塊2b，用結束裝置例如金屬絲捆扎后排出(S112)。此時，供給的廢薄膜2a一達到規定的數量，自動壓縮機70便會自動進行壓縮，減少體積，通過自動壓縮機70的動作結束的廢薄膜塊2b重約40～60kg，體積(m3)約為500×400×600～1200。因此，作業者很容易廢棄從自動壓縮機70排出的廢薄膜塊2b。
此外，在本實施方式中，對玻璃基板進行了說明，但也同樣適用于其他材質如塑料材質等基板。
以上，說明了本發明的優選實施方式，但在不脫離本發明的宗旨及權利要求范圍的情況下，可進行種種變更和修正，這對本領域技術人員應該是能夠理解的。
綜上所述，根據本發明的薄膜去除裝置及薄膜去除方法，能夠高效率地進行為從玻璃基板上去除薄膜的剝離、收集、體積減量等一系列工序，能夠提高生產率，降低生產費用。此外，能夠立即收集從板狀部件上剝離、排出的廢薄膜，改善作業環境，能夠有效地減小廢薄膜塊的體積，大大降低廢棄處理費用。
權利要求
1.一種薄膜去除裝置，其特征在于，具有傳送被覆了薄膜的板狀部件的傳送裝置；氣體噴射裝置，其在上述板狀部件到達去除位置時，向上述板狀部件的前端噴射氣體，將上述薄膜從上述板狀部件剝離；吸附滾動裝置，其吸附從上述板狀部件剝離的上述薄膜，使上述薄膜脫離上述板狀部件。
2.如權利要求1記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述氣體噴射裝置具備與空氣供應裝置連接而形成空氣通路的中空型管，以及能夠向上述板狀部件的前端噴射氣體地安裝在上述管外面的多個噴頭。
3.如權利要求1記載的薄膜去除裝置，其特征在于還包括相對于上述板狀部件的表面沿水平方向傳送上述氣體噴射裝置的第1動作裝置，和相對于上述板狀部件的表面沿垂直方向傳送上述氣體噴射裝置的第2動作裝置。
4.如權利要求1記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述吸附滾動裝置具有中空型滾筒，在上述中空型滾筒的周圍，形成有用于吸引從上述板狀部件剝離的上述薄膜的多個孔。
5.如權利要求4記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述吸附滾動裝置還至少具有一個以上的結合在上述中空型滾筒的外周并形成了多個孔的副滾筒，在形成在上述副滾筒上的孔中至少一部分與形成在主滾筒上的至少一部分孔連通。
6.如權利要求5記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述吸附滾動裝置還具有插入于上述中空型滾筒內部的、形成了沿中空型滾筒的長度方向配置成一列的多個孔的吸引管，形成在上述吸引管上的多個孔，設置成朝向被覆在上述板狀部件上的上述薄膜，與形成在上述主滾筒上的多個孔中的朝向被覆在上述板部件上的上述薄膜的孔連通；上述吸引管被固定，上述吸引管的兩端中至少一端與空氣吸引裝置連接。
7.如權利要求6記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述吸引管的外面插入在上述中空型滾筒的內側，以防止與上述中空型滾筒的內面接觸。
8.如權利要求4～7中任何一項記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述傳送裝置包括在上述板狀部件的前端到達上述中空型滾筒上部時停止傳送上述板狀部件的停止裝置。
9.如權利要求8記載的薄膜去除裝置，其特征在于還包括將位于上述中空型滾筒上部的上述板狀部件，向上述中空型滾筒按壓的加壓裝置，上述氣體噴射裝置，在上述板狀部件通過上述加壓裝置被固定在上述中空型滾筒的上部之后，噴射氣體。
10.如權利要求1記載的薄膜去除裝置，其特征在于還包括收集從上述板狀部件脫離的上述薄膜的收集裝置。
11.如權利要求10記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述收集裝置具有吸入并收集從上述板狀部件剝離的上述薄膜的旋渦收塵器。
12.如權利要求11記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述旋渦收塵器具有第1葉輪及第2葉輪，上述第1葉輪及第2葉輪具有各自的圓筒型滾筒和在該圓筒型滾筒的外面沿長度方向放射狀地形成、并相互協作動作向上述旋渦收塵器的外部送出上述被剝離的薄膜的多個翼翅。
13.如權利要求12記載的薄膜去除裝置，其特征在于上述旋渦收塵器具有從上述板狀部件剝離的上述薄膜進入的入口及送出收集的上述薄膜的出口，上述入口的內壓比上述出口的內壓高。
14.如權利要求12記載的薄膜去除裝置，其特征在于還包括將從上述收集裝置排出的上述薄膜進行壓縮及捆扎之后排出的自動壓縮器。
15.一種薄膜去除方法，其特征在于，具有如下工序傳送被覆了薄膜的板狀部件的工序；在上述板狀部件到達去除位置時，向上述板狀部件的前端噴射氣體，從上述板狀部件剝離上述薄膜的工序；吸附從上述板狀部件剝離的上述薄膜，使上述薄膜從上述板狀部件脫離的工序。
16.如權利要求15記載的薄膜去除方法，其特征在于包括在向上述板狀部件噴射空氣期間固定上述板狀部件的工序。
17.如權利要求16記載的薄膜去除方法，其特征在于包括一邊使從上述板狀部件剝離的上述薄膜脫落，一邊繼續傳送上述板部件的工序。
18.如權利要求15記載的薄膜去除方法，其特征在于包括用吸力收集從上述板狀部件脫離的薄膜的工序。
全文摘要
本發明提供一種用于去除被覆在板狀部件上的薄膜的薄膜去除裝置及薄膜去除方法。利用傳送裝置將被覆了薄膜的玻璃基板傳送到去除位置，在傳送裝置的去除位置，向玻璃基板的傳送方向的前端噴射壓縮空氣，從玻璃基板上剝離薄膜。用真空吸附滾動裝置，從傳送裝置的去除位置排出從玻璃基板上剝離的廢薄膜，利用收集裝置吸入并收集由吸附滾動裝置排出的廢薄膜，然后壓縮處理從收集裝置排出的廢薄膜。
文檔編號B08B5/02GK1486916SQ03154559
公開日2004年4月7日 申請日期2003年8月15日 優先權日2002年9月5日
發明者李昌夏, 曹其成, 金圣撤 申請人:三星康寧精密琉璃株式會社