專利名稱：一種用于生物信息采樣的微陣列電極的制作方法
技術領域：
本發明屬于醫療器械，尤其涉及一種用于生物信息采樣的微陣列電極。
背景技術：
醫用腦電圖電極是醫學檢測中常用的一種傳感器.采用腦電圖機對人體進行檢 查時必須通過適當的醫用電極與人的機體接觸，目的在于引出人體生物電并通過適當的放 大處理來觀察、記錄，測量生物電變化達到診斷病情之目的.可見，醫用電極的好壞直接影 響到心腦電信號的檢測結果，其重要性不容忽視。腦電圖機所配套的醫用電極選用新舊不 一、規格不一、觸頭松緊不一、表面干凈差異等組合對人體進行腦電圖測量。結果導致腦電 圖機測量過程記錄干擾大、圖形失真、計量不準、診斷結果不可靠。因此，醫用電極的好壞對 腦電圖機測量結果影響很大。
發明內容
本發明的目的在于提供一種結構簡單，加工方便，測量過程記錄干擾小、圖形不失 真、計量準確、診斷結果可靠的生物信息采樣的微陣列電極。本發明是通過以下技術方案實現的一種用于生物信息采樣的微陣列電極，包括硅片體，硅片體上設有陣列電極，所述 電極為圓錐形針頭，針頭頂部的直徑小于10微米，針頭的高度H為350 650微米，圓錐形 針頭的底面直徑L為50 80微米，在針頭與硅片體的外表面包覆有金屬層；位于硅片體底 面上的金屬層上設有引出線。所述相鄰針頭之間的間距M為50 200微米。所述針頭內設有針孔，針孔的下端與硅片體相連。本發明的優點是1、解決了電極與皮膚的接觸電阻問題。2、不需要在皮膚上涂抹導電物質。3、不受被測量機體的幾何形狀限制，可以在任意位置上保證良好的接觸面和極小 的接觸電阻。
圖1為本發明結構示意圖；圖2為圖1中A-A向截面視圖。
具體實施例方式實施例如圖所示的用于生物信息采樣的微陣列電極，在硅片體1上設有陣列電 極，所述電極為圓錐形針頭2，針頭2頂部的直徑小于10微米，針頭2的高度H為350 650 微米，圓錐形針頭2的底面直徑L為50 80微米，在針頭2與硅片體1的外表面包覆有金屬層4 ；位于硅片體1底面上的金屬層4上設有引出線5。所述相鄰針頭2之間的間距M為 50 200微米。所述針頭2內設有針孔3，針孔3的下端與硅片體1連接。所述針頭2的高度、底面直徑及相鄰距離在上述范圍內可根據具體情況而定，由 此來確定單位面積內針頭2的數量。加工時先在在單位面積的硅片體1上，刻蝕出由多個針頭2組成的微陣列電極，再 在其內外側通過表面蒸發金屬工藝(硬度大的如鎳、鉻等)實現，形成內心是硅片體1、外 層包裹一層金屬層4的結構。在硅片體1上包裹一層金屬層4的結構，既保證針頭2的硬度 也要金屬的韌性和導電性能，保證存入針頭2刺入皮膚角質層的同時防止針頭2斷裂。針 頭2刺入角質層，達不到神經末稍深度，因此不會引起疼痛，針頭2刺入角質層可以構成良 好的接觸面和極小的接觸電阻，解決了電極與皮膚的接觸電阻問題。
權利要求
1.一種用于生物信息采樣的微陣列電極，包括硅片體，硅片體上設有陣列電極，其特征 是所述電極為圓錐形針頭，針頭頂部的直徑小于10微米，針頭的高度H為350 650微 米，圓錐形針頭的底面直徑L為50 80微米，在針頭與硅片體的外表面包覆有金屬層；位 于硅片體底面上的金屬層上設有引出線。
2.根據權利要求1所述的用于生物信息采樣的微陣列電極，其特征是所述相鄰針頭 之間的間距M為50 200微米。
3.根據權利要求1所述的用于生物信息采樣的微陣列電極，其特征是所述針頭內設 有針孔，針孔的下端與硅片體相連。
全文摘要
本發明公開了一種用于生物信息采樣的微陣列電極，包括硅片體，硅片體上設有陣列電極，所述電極為圓錐形針頭，針頭頂部的直徑小于10微米，針頭的高度H為350～650微米，圓錐形針頭的底面直徑L為50～80微米，在針頭與硅片體的外表面包覆有金屬層；位于硅片體底面上的金屬層上設有引出線；所述相鄰針頭之間的間距M為50～200微米；所述針頭內設有針孔，針孔的下端與硅片體相連。本發明解決了電極與皮膚的接觸電阻問題，不需要在皮膚上涂抹導電物質，不受被測量機體的幾何形狀限制，可以在任意位置上保證良好的接觸面和極小的接觸電阻。
文檔編號A61B5/0478GK102068252SQ200910172668
公開日2011年5月25日 申請日期2009年11月23日 優先權日2009年11月23日
發明者關方霞, 吳建春, 吳迪, 楊波 申請人:鄭州大學